【課題】
プラズマの閉じ込め効率が改善されたプラズマ閉じ込め容器を提供する。
【解決手段】
プラズマ閉じ込め容器４は、容器外壁の表面から離間する方向に沿って一対の極性を有するカスプ磁場生成用の複数の永久磁石１２が互いに隙間を空けて容器外壁に沿って配置されたプラズマ閉じ込め容器４である。また、複数の永久磁石１２の少なくとも一部は隣り合う永久磁石同士のプラズマ閉じ込め容器４側の極性が同極性となる永久磁石組であって、プラズマ閉じ込め容器４内には、永久磁石組を構成する各永久磁石の一部と永久磁石組間に形成された隙間に亘って、プラズマ閉じ込め容器４の壁面を介して対向配置された磁性体１５が設けられている。
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【課題】プラズマ生成容器への防着板の取り付け、取り外しに係る作業効率を改善する。
【解決手段】プラズマ処理装置やイオンビーム照射装置で用いられるプラズマ生成容器４内に防着板２０を防着板支持部材１５により取り付ける。この防着板支持部材１５は、プラズマ生成容器４の内壁に少なくとも一部が当接する本体部と、本体部より延設された端部を有するとともに、プラズマ生成容器４に防着板支持部材１５を組み付けたとき、端部はプラズマ生成容器４の内壁より離間している。 （もっと読む）

【課題】従来のイオン源に比べて、フィラメント（カソード）の断線が少なく、安定して、大型かつ大電流のイオンビームを生成する。
【解決手段】イオン源８は、スリット状開口部１１を有し、内部に突出した先端部がプラズマ３に接触しない位置に配置された少なくとも１つのカソード２を備えたプラズマ生成容器Ｕ１１〜Ｕ４２を複数備えている。さらに、スリット状開口部１１の長手方向に沿って各プラズマ生成用器内Ｕ１１〜Ｕ４２に磁場を発生させる磁場生成手段１２と、スリット状開口部１１を通して、断面形状が略長方形状のリボン状のイオンビーム１９を引き出す引出電極６とを備えている。そして、略長方形状断面の短手方向から見たとき、各プラズマ生成容器Ｕ１１〜Ｕ４２から引き出されたリボン状のイオンビーム１９の略長方形状断面の長手方向における一端部が互いに重なっている。 （もっと読む）

【課題】有機金属ガスを用いることなくガリウムイオンを含むイオンビームを発生させるとともに、被スパッタ面の面積を可及的に大きくすると同時に、被スパッタ部材の取り付け構造を簡単化するだけでなく、反射電極構造体をコンパクトにしつつ、陰極から射出される電子の反射効率を向上させる。
【解決手段】反射電極構造体４が、プラズマによりスパッタリングされて所定のイオンを放出するものであり、被スパッタ面４１Ａとその裏面とを貫通する貫通孔４１１を有する被スパッタ部材４１と、被スパッタ部材４１の貫通孔４１１に挿入されて被スパッタ部材４１を支持するとともに、貫通孔４１１を介して被スパッタ面側に露出した反射電極面４２Ｘを有する電極本体４２とを備えており、被スパッタ部材４１の材質が、酸化ガリウム、窒化ガリウム、リン化ガリウム、砒化ガリウム又はフッ化ガリウムである。 （もっと読む）

【課題】複数のフィラメントを有するイオンガンにおいて、イオンビームの電流密度を均一にする。
【解決手段】カソードが長手方向に延在する複数のフィラメントからなり、グリッドが長手方向に延在するイオンビーム引出し孔を有するイオンガンにおいて、イオンビーム引出し孔の周辺に配置された複数の主磁石であって、各々がＳ極をイオンビーム出射方向に、Ｎ極をその逆方向に向けて配置された主磁石、複数の主磁石の端部に長手方向及び幅方向に関して対称配置された少なくとも４個の第１の補助磁石であって、各々がＳ極を長手方向内向きに、Ｎ極をその逆方向に向けて配置された第１の補助磁石、及び複数のフィラメント間の離隔部分に対応する位置に幅方向に対称配置された第２の補助磁石であって、各々がＮ極をイオンビーム出射方向に、Ｓ極をその逆方向に向けて配置された第２の補助磁石を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】防着板への電子の衝突を低減し、プラズマの生成効率を向上させる。
【解決手段】イオン源１は、プラズマ生成容器４と、プラズマ生成容器４内に配置された少なくとも１つのフィラメント１０と、プラズマ生成容器４に対向配置され、当該プラズマ生成容器４よりイオンビーム３を引き出す少なくとも１つの電極５〜８と、プラズマ生成容器４の外側に設けられていて、当該プラズマ生成容器４の内側領域にカスプ磁場を形成する複数の永久磁石１２と、プラズマ生成容器４の内壁に沿って配置された防着板１３とを備える。そして、防着板１３には、プラズマ生成容器の壁面を介して永久磁石１２と対向する位置に凹部１４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】いわゆるバケット型イオン源においてプラズマ生成効率を向上させる。
【解決手段】直方体形状をなし、一の側壁２１ａにイオン引き出し口２１Ｈが形成されたプラズマ生成容器２１と、イオン引き出し口２１Ｈが形成された側壁２１ａ以外の他の側壁２１ｂ〜２１ｆの外面に沿って設けられ、プラズマ生成容器２１内部にカスプ磁場を形成する複数の磁石２２と、プラズマ生成容器２１の隣接する側壁間に形成される角部２１Ｋから内部に挿入して設けられた１以上のフィラメント２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】被スパッタ面の面積を可及的に大きくすると同時に、被スパッタ部材の取り付け構造を簡単化するだけでなく反射電極構造体をコンパクトにしつつ、陰極から射出される電子の反射効率を向上させる。
【解決手段】プラズマ生成容器２内に設けられ、陰極３に対向配置されて電子を陰極３側に反射する反射電極構造体４であって、プラズマによりスパッタリングされて所定のイオンを放出するものであり、被スパッタ面４１Ａとその裏面とを貫通する貫通孔４１１を有する被スパッタ部材４１と、被スパッタ部材４１の貫通孔４１１に挿入されて被スパッタ部材４１を支持するとともに、貫通孔４１１を介して被スパッタ面４１Ａ側に露出した反射電極面４２Ｘを有する電極本体４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】負イオンの引出効率を向上させ電流密度のより高い負イオンビームを出射できる負イオン源を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る負イオン源１０は、プラズマ容器１２と、熱電子を放出するフィラメント１６と、カスプ磁場を形成する複数の磁石Ｍ１と、プラズマから負イオンを引き出す引出電極２６と、プラズマ容器１２の内部空間を放電空間Ｓ１と引出空間Ｓ２とに分割するフィルタ磁場ＭＦを形成するフィルタ磁場形成手段Ｍ２と、プラズマ容器１２内に配置され、放電空間Ｓ１から引出空間Ｓ２への正イオンの移動を妨げるためのバリア電極３０とを備え、バリア電極３０は、ビーム軸Ｃ方向において引出電極２６との間にフィルタ磁場ＭＦを挟むような位置に配置され、この位置に正電位の等電位空間を形成し励起分子等の移動を許容するような複数の空間部３５を形成する形状を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アークチェンバー内のプラズマからフィラメントをシールドする機能を果たすカソードイオン源に使用されるカソード組立体を提供する。
【解決手段】間接的に加熱されるカソードイオン源が、アークチェンバーを定めるアークチェンバーハウジング、間接的に加熱されるカソードおよびカソードを加熱するフィラメントを含む。カソードは、正面、背面および周囲を有する放出部分、放出部分の背面に取り付けられる支持ロッド、ならびに放出部分の背面から伸長するスカートを含む。カソード組立体がカソード、フィラメントおよびカソードとフィラメントとを固定した空間関係で取り付けるため、さらにカソードおよびフィラメントに電気的エネルギーを伝えるクランプ組立体を含む。フィラメントは、放出部分およびカソードのスカートにより定められる空洞内に配置される。 （もっと読む）