国際特許分類[H01J37/02]の内容

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【課題】透過型電子顕微鏡(TEM)、走査透過型電子顕微鏡(STEM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、集束イオン・ビーム(FIB)システムなどの集束粒子ビーム・システム用の荷電粒子源を提供すること。
【解決手段】この源は、荷電粒子システムの軸を中心とすることができる小さな領域内にある独立してアドレス指定可能な多数の放出器を使用する。1つのチップから放出させ、または2つ以上のチップから同時に放出させることを可能にするため、これらの放出器は全て、個別に制御することができる。1つの放出器だけが活動化されるモードは高輝度に対応し、複数の放出器が同時に活動化されるモードは、高い角強度およびより低い輝度を提供する。単一の放出器を逐次的に使用することによって源の寿命を延ばすことができる。全ての放出器に対する機械/電気組合せアラインメント手順が記載される。 (もっと読む)


【課題】 真空中における絶縁構造体の沿面での絶縁耐力を向上させた真空機器を提供するとことを目的とする。
【解決手段】 絶縁体を介して電位差のある複数の導体が接続された構造を有する5×10−2Pa以下の圧力下で使用される絶縁構造体において、少なくとも低電位となる前記導体の絶縁体に隣接する表面が、米国材料試験協会(ASTM:American Society for Testing and Materials)の規格D570に規定された23℃吸水率が0.3%以下の、エポキシ樹脂、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、イミド系樹脂からなる絶縁物皮膜で被覆される。 (もっと読む)


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