【課題】ビーム断面形状が一方向に長い、幅広形状のイオンビームをターゲット基板に照射して、ターゲット基板にイオンを均一に注入するイオン注入装置であって、イオンビームのビーム幅をターゲット基板のサイズに応じて自在に調整する。
【解決手段】イオン注入装置１は、イオン源１０、イオン分析器１２及び多極子レンズ１４を介して拡がり角度を有するイオンビームＸを生成するとともに、生成されたイオンビームＸの幅方向の拡がりを４重極子デバイス１６により抑制することにより、イオンビームＸを略平行ビームにして幅広形状のイオンビームとする。４重極子デバイス１６は、イオンビームの経路に沿って上流側又は下流側方向に移動して位置決めされて固定される。この後、イオンビームＸの幅方向の拡がりを抑制するようにイオンビームの収束強度が調整される。 （もっと読む）

【課題】 装置の大型化を回避しながら、高電圧発生部と密閉容器との間の耐電圧の確保を図ることができ、更には、加速部構造の簡素化をも図ることができる高電圧発生回路の絶縁方法及び荷電粒子加速器を提供する。
【解決手段】 高電圧発生部２０，２１と、荷電粒子を加速する加速部１９Ａ，１９Ｂとが、それぞれ密閉容器１８の内部空間に配置されており、加速部１９Ａ，１９Ｂが高電圧発生部２０，２１と密閉容器１８の内壁との間に配置された荷電粒子加速器３０に用いられ、密閉容器１８の内部空間を、荷電粒子が通る加速部１９Ａ，１９Ｂの内部と同一の真空度に維持して、高電圧発生部２０，２１と密閉容器１８との間を電気的に絶縁する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ面内の反りの影響を排除して特定の位置に精度良く移動する傾斜荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】基準点として予めステージ平面と同じ水平と高さを決めた視野合せ調整用マーク４７を形成した部位４６をウェーハホールダ上に設けた。試料上の観察点の高さをマーク４７の高さに調整し、その時の傾斜カラムと垂直カラムの視野の既知のオフセットを用いることにより、傾斜カラムと垂直カラムの視野を一致させる。 （もっと読む）

【課題】 セラミック部材に強固にネジ止めしてもセラミック部材を破損させることがなく、セラミック部材にネジにより強固に締結できるセラミック複合体を提供すること。
【解決手段】 本発明のセラミック複合体は、セラミック基体１の表面に凹部４を形成するとともに、凹部４内に、厚み方向に貫通するネジ穴を有した金属製のネジ受け部材３を嵌挿して、ネジ受け部材３と凹部４内面との当接部をロウ付けし、ネジ穴の下端側開口部に切り欠き３ａを設けて成る。 （もっと読む）

イオンビームのプロファイルを測定する方法と装置が提供される。この装置は、各々がイオンビームの入射されたイオンに応答して検知信号を生成するビーム電流検出器のアレイと、イオンビームに関する移動経路に沿ってビーム電流検出器のアレイが移動するように構成される移動機構と、移動経路に沿って複数の位置でビーム電流検出器によって生成される検知信号を取得し、取得した検知信号がイオンビームの二次元プロファイルを表わすように構成されるコントローラとを具える。
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【課題】 イオンを荷電変換部へ導くためのビームライン調整を容易かつ適正に行うことができるタンデム型イオン加速装置及びイオンビーム調整方法を提供する。
【解決手段】 一対の加速管１９Ａ，１９Ｂと、これら一対の加速管が前段側と後段側とに接続される高電圧ターミナル２０と、この高電圧ターミナル２０の内部に配置され、前段側の加速管１９Ａで加速されたイオンの極性を反転し当該イオンを後段側の加速管１９Ｂへ導くストリッパカナル（荷電変換部）２０１とを有するタンデム型イオン加速装置１０において、ストリッパカナル２０１のイオンビーム導入端側に、当該ストリッパカナル２０１を通るビームラインから外れて加速されたイオンの照射を受けて発光する発光部材３１を設置し、この発光部材が発光しない位置にビームラインを調整する。発光部材３１の発光は、ビームラインと同軸的に設置した監視窓３５で監視する。 （もっと読む）

【課題】 加速管のコストダウン及び作動効率の向上を図ることができる加速管用電圧分割抵抗体、加速管、及び加速器を提供する。
【解決手段】 イオン（荷電粒子）Ｉを加速電圧Ｖの印加により加速する加速管１であって、円管状に形成された合成樹脂製の加速管本体２と、この加速管本体２の内周面２ａに互いに所定の間隔を開けて加速管本体２の軸心方向に一列に並んで設けられたリング状の複数の加速電極３と、加速管本体２の外周面２ｂに螺旋状に巻き付けられた複数の電圧分割抵抗体（加速管用電圧分割抵抗体）５と、加速管本体２の径方向に貫通しかつ加速管本体２に密着して設けられて、先端（前端）４ａが加速電極３と電気的に接続され、頭部（後端）４ｂが電圧分割抵抗体５の各コネクタ（接続点）１６と電気的に接続された複数の端子ボルト（端子部材）４と、を備えた加速管１。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームの水平、垂直方向の外径を調整し、低エネルギー、大電流でも比較的小さなスポットサイズのイオンビームを安定して得ることができるイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 イオンＢを生成するイオン源１１０からイオンＢを引き出し、質量分離器１２０により所望のイオン種を選定し、この質量分離器１２０の下流側に配置された質量分離スリット１３０を透過したイオン種を加減速管１４０により所望のエネルギーに加速又は減速し、加減速管１４０の下流側に配置された四重極レンズによりイオンＢを収束させて、基板の注入面に所望のイオンＢを注入するイオン注入装置１０において、質量分離スリット１３０と加減速管１４０との間に、イオンビームＢの外径を調整する調整用静電四重極レンズ２０を配置した。 （もっと読む）

帯電粒子ビームの角状変位を判断し、高い側壁角度均一性の側壁を含むテストオブジェクトの複数の測定値に基づく帯電粒子ビームシステムを較正する為のシステムおよび方法を提供する。帯電粒子ビームの経路は、複数のビーム制御パラメータにより制御される。方法は、角状変位を実質的に減少させるパラメータを判断し、これらを適用して帯電粒子ビームシステムを較正する。
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【課題】 低コストのイオンビーム分布測定装置を備えると共に、イオン注入のスループットを向上したイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 イオンを生成するイオン源から所望のイオン種を引き出し、所望のエネルギーに加速又は減速し、イオンを走査器により基板の注入面にイオンを走査して注入するイオン注入装置において、基板の下流側に配置され、イオンビームの電流値を計測するファラデーカップ２０と、基板とファラデーカップ２０との間に配置され、イオンビームＢの走査方向と同一方向に移動可能で、かつ、単一のスリット３２を有する遮蔽板３０とを具備したイオンビーム分布測定装置１０を備えた構成とした。 （もっと読む）