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国際特許分類[H01J37/04]の内容

電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 電子管または放電ランプ (32,215) | 放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの (7,637) | 細部 (4,344) | 電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置 (2,068)

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冷却式荷電粒子源及び方法を開示する。いくつかの実施形態では、荷電粒子源を、固体窒素等の固体クライオジェンに熱結合する。熱結合は、荷電粒子源を所望の低温で維持するための良好な熱伝導率を提供するよう設計することができる。 (もっと読む)








【課題】本発明は、人為的な判断基準を定量化し、当該定量化された判断基準に基づいて、荷電粒子線の軸調整の要否判断を行う荷電粒子線の光軸調整方法、及び装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、荷電粒子線を調節する光学素子の調整条件を変化させ、当該異なる調整条件にて複数の画像を取得し、取得された複数の画像の中から、その画質を許容できる画像、或いは許容できない画像を選択し、選択された画像に基づいて第1の画質評価値を取得し、当該取得された第1の画質評価値と、前記荷電粒子ビームの走査によって得られる画像から求められる第2の画質評価値とを比較し、当該第2の画質評価値が、第1の画質評価値以下、或いは当該第1の画質評価値を下回ったときに、光軸調整を行う方法、及び装置を提案する。 (もっと読む)




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