本発明は、入射面と出射面とを有するトロイダルエネルギアナライザ、好ましくは半球アナライザを有する荷電粒子用結像エネルギフィルタに関する。位置及び角度の解像度レベルがより高く、より大きい受光角で動作可能な結像エネルギフィルタ、又は結像エネルギフィルタを有する分光器を提供するために、本発明によれば、荷電粒子用のミラー素子が設けられ、前記出射面を経て前記トロイダルエネルギアナライザから出射する荷電粒子が前記ミラー素子によって前記トロイダルエネルギアナライザへと反射されることによって、前記荷電粒子が反対の進行方向に前記トロイダルエネルギアナライザを再度通過するように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】１つの実施形態は、荷電粒子エネルギー分析器装置に関する。第１のメッシュは、第１の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第２の側部に受け渡すように配列され、第１の電極は、第１のキャビティが第１のメッシュの第２の側部と第１の電極との間に形成される。第２のメッシュは、第２の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第１の側部に受け渡すように配列され、第２の電極は、第２のメッシュの第１の側部と第２の電極との間に第２のキャビティが形成される。最後に、第３のメッシュは、第１の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第２の側部に受け渡すように配列され、位置検知荷電粒子検出器は、荷電粒子が第３のメッシュを通過した後に、荷電粒子を受け取るように配列される。 （もっと読む）

【課題】液体金属イオン・ビームのミリングに対するビーム品質を向上させる。
【解決手段】イオン源からのイオンの非対称エネルギー分布によって、処理時間をあまり短縮することなく、低エネルギー・ビーム・テール中のイオンをフィルタによって除去することによって色収差を低減させることが可能になる。一実施形態は、イオン・ビーム・カラム内に、低エネルギー・イオンをビームから除去するフィルタを含む。 （もっと読む）

【課題】イオン化したガスクラスターを適切に偏向することが可能な荷電粒子選別装置を提供する。
【解決手段】イオン化したガスクラスターを選別するための荷電粒子選別装置において、前記ガスクラスターの進行方向に配列された電界を印加するための電界印加部と、前記ガスクラスターを選別するためのスリットと、を有し、前記電界印加部は２枚の電極から構成されており、前記電極に交流電圧を印加することにより、イオン化したガスクラスターを偏向させるものであって、前記電極は、開口部又は間隙を有することを特徴とする荷電粒子選別装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ガスクラスターをイオン化価数ごと選別する荷電粒子選別装置を提供する。
【解決手段】イオン化したガスクラスターを選別するための荷電粒子選別装置において、前記ガスクラスターの進行方向に配列された電界を印加するための３つ以上の電界印加部と、前記ガスクラスターを選別するためのスリットと、を有し、前記電界印加部は２枚の電極から構成されており、前記電極に交流電圧を印加することにより、イオン化したガスクラスターを偏向させるものであって、隣接する前記電界印加部においては、異なる位相の交流電圧が印加されており、前記スリットは、前記ガスクラスターが入射した方向の延長線上に開口部を有するものであることを特徴とする荷電粒子選別装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源１４・６と、該試料を保持する試料ステージ１４・２２と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器１４・４と、該検出器１４・４に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット１４・５と、電子源１４・６から試料ステージ１４・２２への１次電子光学系と試料ステージ１４・２２から検出器１４・４への２次電子光学系を分離するウィーンフィルタ１４・３と、を備え、電子銃１４・６から放出された電子線はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成し、１次電子光学系と２次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ１４・３上で異なっている。 （もっと読む）

【課題】磁気手段を備える粒子光学装置において、公知の装置の欠点を克服し、コイルにおける熱発生を低減および／または安定化させ、コイルから極プレートへの熱移動を低減したものを提案する。
【解決手段】粒子光学装置は、少なくとも１本の荷電粒子ビームを生成するための粒子源と、２つの極プレートを有する磁気手段であって、作動時に荷電粒子が極プレート間を通過するように極プレートを相互に離間して配置し、極プレートに溝を設け、溝にコイルワイヤを配置した磁気手段とを備える。溝の延在方向に対する横断面で見て、溝が、極プレートの表面領域において、表面から離間した領域におけるよりも狭い幅を有している。 （もっと読む）

【課題】
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成されスペクトル像において、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成される二次元の電子線位置像から算出される電子線位置を基準電子線位置と比較し、各電子線位置の相違点に基づき、歪み量を算出することにより、分析対象試料のスペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する。
【解決手段】
エネルギー損失量と位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する方法および装置を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】負及び正に荷電された粒子を同時に検出するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば、荷電粒子ビーム装置に使用する検出装置は、正及び負に荷電された二次粒子を分離する分離フィールドを発生する分離フィールド発生部分２２０と、正に荷電された粒子を検出する第１検出器２１２と、負に荷電された粒子を検出する第２検出器２１４とを備え、正に荷電された二次粒子を第１検出器で且つ負に荷電された二次粒子を第２検出器で同時に検出する。更に、負及び正に荷電された粒子を同時に検出する本発明の方法は、分離フィールドを用意し、第１と第２の検出器を用意し、分離フィールドにおいて負に荷電された粒子を正に荷電された粒子から分離し、正に荷電された粒子を第１検出器で且つ負に荷電された粒子を第２検出器で同時に検出することを含む。 （もっと読む）

【課題】 磁場偏向型エネルギー分析器及びイオン散乱分光装置に関し、簡単な機構によりエネルギースペクトルのノイズレベルを低減して、高分解能で分析試料の構成元素を分析する。
【解決手段】磁場偏向型エネルギー分析器の壁面に、壁面に入射したＨｅ或いはＨのいずれかの並進エネルギーを減衰させる突起を設ける。 （もっと読む）