１つ又は複数のサンプルからの電子を検出するシステム及び方法を開示する。いくつかの実施形態では、本システム及び方法は、サンプル表面からの二次電子を偏向させるための１つ又は複数の磁場源を含む。
（もっと読む）

【課題】粒子源のエネルギー分散を減少させる。
【解決手段】レンズ107を介して荷電粒子103のビームを偏心させるように進行させ、像中にエネルギー分散が生じ、この像をエネルギー選択ダイアフラム108内のスリット109上に投影することによって、エネルギー選択が可能となり、通過したビーム113のエネルギー発散は減少する。偏向ユニット112は、前記ビームを光軸101に近づくように偏向させる。エネルギー分散スポットは偏向器111によって前記スリット上で結像する。前記スリット上の前記エネルギー分散スポットの位置設定を行うとき、中心ビーム105は前記軸から偏向され、該ビームは前記エネルギー選択ダイアフラムによって止められ、続く領域において、ビームから生じる反射及び汚染は防止される。また偏向器112の領域内でのエネルギーでフィルタリングされたビームと相互作用する中心ビームの電子-電子相互作用も防止される。 （もっと読む）

【課題】低エネルギーの荷電粒子の静電偏向器への流入を減らすことができ、描画精度の向上をはかる。
【解決手段】荷電粒子源から放出された荷電ビームを試料上の所望の位置に照射することでパターン形成を行う荷電ビーム描画装置であって、荷電粒子源１０と試料５０との間に設けられ、偏向を受けない荷電ビームの軌道である光軸方向に沿って２段以上の小偏向器を設置して構成され、荷電ビームを電場によって偏向するための静電偏向器３２と、静電偏向器３２の光軸方向に隣接する小偏向器の間に設けられ、光軸方向の下流側の小偏向器の光軸方向と直交する方向の対向距離よりも開口径が短いアパーチャを有し、静電偏向器３２で偏向すべき荷電ビームよりも低いエネルギーの荷電粒子を取り除くためのアパーチャマスク６０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】分解能の向上、又は分解能が従来と同じであれば測定時間の短時間化を図ることができる散乱イオン分析装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、引出開口２１が設けられた引出部材２０と、散乱イオンの進行方向を偏向面Ｓに沿って偏向させる磁場形成手段３０と、散乱イオンの位置を検出するイオン検出器４０と、引出部材２０と磁場形成手段３０との中間位置に設けられ、偏向面Ｓにおいて、引出開口２１の開口中心と試料Ｔにおけるイオンビームの照射位置とを結ぶ線Ｃに直交する方向に沿って引出開口２１を通過した散乱イオンを発散又は集束させる磁気レンズ５０とを備え、磁気レンズ５０は、磁場形成手段３０を通過した散乱イオンのうち試料Ｔの同じ深さで散乱した散乱イオンがイオン検出器４０で集束するように、引出開口２１を通過した散乱イオンを発散又は集束させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２つの異なる方向から入射する荷電粒子ビームを１本の光路に集約でき、両ビームの透過率が高く、且つ加工が容易なセクターマグネットを備える荷電粒子ビーム偏向器を提供する。
【解決手段】入射側端面２１と出射側端面２２を有する二重集束型のセクターマグネット２０を備える。入射側端面２１の角度αと出射側端面２２の角度βは、セクターマグネット２０の出射側端面２２から荷電粒子ビーム１０の集束点Ｑまでの距離をＶとするとき、それぞれ、ｄＶ／ｄα＝０を満たす値α_０、ｄＶ／ｄβ＝０を満たす値β_０の近傍に設定する。セクターマグネット２０の背面には、直進する荷電粒子ビーム４０を集束させる磁界レンズ２７を設ける。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡使用のためのモノクロメータに関する。
【解決手段】望ましいエネルギー幅（７）の荷電粒子を選別するための選別アパーチャー（６）の面（５）に散乱（４）を作成するための静電偏向フィールド（２’，３’）を備えた、少なくとも１つの第１の偏向エレメント（２，３）と、前記少なくとも１つの第１の偏向フィールド（２’，３’）の散乱（４）を打ち消す、静電偏向フィールド（８’，９’）を備えた、少なくとも１つの第２の偏向エレメント（８，９）とを有する、荷電粒子光学のための、特に、電子顕微鏡使用のためのモノクロメータに関する。 （もっと読む）

【課題】
二次粒子を所望のエネルギー領域でバンドパス弁別し，なおかつ高収量で検出できる走査電子顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】
対物レンズ１８より電子源側にレンズ２３を設け，このレンズより電子銃側で一次電子線がいかなる光学系を形成していた場合でも，一次電子線を特定の位置である収束点２４に収束させるように動作させる。一次電子線の収束点２４には，試料２から発生する二次粒子の軌道に作用する場を供給する検出部用ExB１６を設け，特定のエネルギー範囲の二次粒子のみを検出部１３に導く。二次粒子の軌道に作用する場が供給される位置が一次電子線１９の収束点であるため，一次電子線１９の収差を拡大させずに所望のエネルギーの二次粒子のみを検出部に導くこと，更にはエネルギーのバンドパス弁別を効果的に行うことが可能になり，観察目的に応じた信号電子を弁別して検出することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、電子ビームを走査することによって、試料の帯電量、或いは焦点調整量を測定するに際し、電子ビーム走査による帯電蓄積に基づく帯電量誤差、或いは焦点ずれを抑制可能な方法及び装置の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、試料上の電子ビームの走査個所を移動しつつ、エネルギーフィルタへの印加電圧を変化させることで、帯電量を測定、或いは試料への印加電圧を制御する帯電測定方法、焦点調整方法、或いは走査電子顕微鏡を提案する。 （もっと読む）

走査荷電粒子ビーム装置が説明される。走査荷電粒子ビーム装置は、一次電子ビームを放出するためのビームエミッタと、試料上にビームを走査させるための第１の走査段と、一次電子ビームから信号電子ビームを分離するように適応されたアクロマチックビームセパレータと、信号電子を検出するための検出ユニットと、を含む。 （もっと読む）

【課題】イオンビーム装置を提供する。
【解決手段】イオンビーム装置は第１軸１４２に沿って放射されるイオンビーム１７０を発生させるためのイオンビーム源１１０と、イオンビームを整形するよう適合された開口ユニットと、所定の質量のイオンビームのイオンを偏向角でもって偏向するよう適合された収差補正型偏向ユニット１６２を含む。収差補正型偏向ユニットは電場を発生させるための電場発生コンポーネントと、実質的に電場に直交する磁場を発生させるための磁場発生コンポーネントを含む。装置は所定の質量とは異なる質量のイオンをブロックし、かつ既定の質量を有するイオンがその内部に侵入可能となるよう適合された質量分離開口部１５４と、第１軸に対して傾斜した第２光軸を有する対物レンズ１２４を更に含む。 （もっと読む）