【課題】荷電粒子ビームの無球面収差化・色消し化・エネルギー単色化を回転対称構造のレンズのみを使って行う荷電粒子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】１９から出た種々のエネルギー値を有するイオン線は１０に入射し、つぎに、３に入射する。３を出たイオン線のうち１８の中心孔を通り抜けたイオン線のみが４に入射し、４で集束されて２を照射する。３の励起電圧を調節することで無球面収差化がなされる。１０の励起電圧を調節することで色消し化、もしくは、エネルギーの単色化がなされる。本発明の解決手段は、（１）２つ以上のレンズを使って１９の像を２の上に投影すること、（２）１９と２との間には、１９と２を含めて少なくとも３つ以上のビームクロスオーバーを産むようにレンズを励起すること、（３）クロスオーバーの少なくとも１つはレンズの作用領域の内部に設けること、である。各レンズの励起強度は荷電粒子線の軌道計算を行って決める。 （もっと読む）

【課題】本発明はオメガ型エネルギーフィルタに関し、ｎ個の磁極に対して（ｎ−１）個の電子線検出器を用意し、それらが電子線の軌道の邪魔にならないように配置することができるオメガ型エネルギーフィルタを提供することを目的としている。
【解決手段】複数の扇形磁極３２より構成され、それぞれの磁極により電子線の軌道が曲げられ、オメガ型の軌道を形成するようにしたオメガ型エネルギーフィルタにおいて、各磁極３２の軌道の接線方向に設けられた電子線を検出する電子線検出器３３と、電子線が理想的な軌道をとった時のみ該電子線を通過させる絞り穴２５と、を含み、該絞り穴２５を通過した電子線が前記電子線検出器３３に到達するように構成される。 （もっと読む）

【課題】入射したイオンビームの全電流量、イオン種比率、中性粒子量の正確な測定ができ、イオン種比率の測定をイオン注入中にでき、励磁、電界形成および２次電子抑制のための電源を不要にして小電力で作動でき、装置全体を小型化できるイオン注入装置用の質量分析器を提供する。
【解決手段】イオン源２と対向しかつ基板６の周囲を通過したイオンビーム５の一部が入射する位置に設置されており、入射したイオンビームに直交する方向に磁場を形成する永久磁石１３と、磁場で曲げられたイオンビームが全て入射し総イオン量と各イオン種量を測定可能なイオン量測定器と、磁場で曲がらない中性粒子が全て入射するように配置された中性粒子測定器１７とを備える。イオン量測定器は、ファラデーカップ１５と可動式遮蔽板１６からなる。 （もっと読む）

【課題】
エネルギー幅の小さい電子線を提供できるエネルギーフィルタ装置及び、試料面上の電子線プローブ径が小さい電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】
スリットの開口部中央から電子線がずれた場合、試料等から発生する２次電子の強度変化を基に、そのずれを高精度に補正する。スリットの開口部中央を透過した電子線を用いて試料を観察する。
【効果】
対物レンズの収差の影響を小さく抑えることができるため、空間分解能の高い電子顕微鏡像を観察することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の多極子型ウィーン・フィルターを有し、荷電粒子線光学系の収差を補正できる収差補正光学装置を提供する。
【解決手段】本発明による荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置１ａは、二つの同じ大きさの多極子型ウィーン・フィルターであって、その収差補正光学装置の物面−像面間の１／４面位置と３／４面位置にそれぞれの中心が一致するように配置された多極子型ウィーン・フィルター２、２′と、その収差補正光学装置の物面位置、中間結像面位置及び像面位置に配置された二方向集束性を有する光学要素３ａと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｃ６０クラスターを含む重イオンが得られるイオンビーム用質量フィルタを提供し、また重イオンビームのイオンビーム装置を小型で経済的に製作できるようにする。
【解決手段】イオン源側に、光軸に垂直な面内で回転する所定の偏向角の回転電界を作る第一の偏向電極１１を配置すると共に、イオンビームＩＢの放出側には前記第一の偏向電極１１の回転電界と同じ周波数で所定の偏向角の回転電界を作る第二の偏向電極１２を配置している。第一及び第二の偏向電極１１、１２間には、複数の円筒状電極１４から１６よりなるレンズシステム１３を設けて回転電場型の質量フィルタ１０を構成する。第一の偏向電極１１のイオン源側及び第二の偏向電極１２のイオンビーム放出側に、それぞれアパーチャ２０を配置し、また、レンズシステム１３の略軸方向の中間部には、イオンビーム通路の中央部分を遮蔽する遮蔽手段１７を配置する。 （もっと読む）

【課題】 収差補正カソード・レンズ顕微鏡機器を提供すること。
【解決手段】 収差補正顕微鏡機器が提供される。機器は、第１の非分散電子回折パターンを受け取るように配置された第１の磁気偏向器を有する。第１の磁気偏向器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に第１のエネルギー分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に配置された静電レンズ、並びに、第１の磁気偏向器と実質的に同一の第２の磁気偏向器を有する。第２の磁気偏向器は、静電レンズからの第１のエネルギー分散電子回折パターンを受け取るように配置される。第２の磁気偏向器はまた、第２の磁気偏向器の第１の出射面に第２の非分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器は、１つ又は複数の収差を補正するように構成された電子鏡も有する。電子鏡は、第２の磁気偏向器の第２の出射面に第２のエネルギー分散電子回折パターンを投射するために第２の非分散電子回折パターンを第２の磁気偏向器へ反射するように配置される。 （もっと読む）

電磁石と、アクティブフィールド閉じ込めを含む関連のイオン注入システムを開示する。この電磁石は、最小限の歪み及び強度の劣化で、高く大きいギャップに双極子磁場を供給する。一実施形態では、イオンビームを変更する電磁石は、６つの側面を含む強磁性ボックス構造と、イオンビームを通過させるべく強磁性ボックス構造の第１の側面及び第２の対向側面のそれぞれにある開口と、強磁性ボックス構造の内面に沿った経路を有する複数の通電ワイヤとを含み、内面は、第１の側面、第２の対向側面、第３の側面、及び第４の対向側面を含み、複数の通電ワイヤは、第１の側面及び第２の対向側面の開口のそれぞれの周りを通過するよう位置付けられる。 （もっと読む）

【課題】多重周回可能な周回軌道を利用してイオン等の荷電粒子の運動エネルギーを高い分解能で以て測定する。
【解決手段】複数のトロイダル電場Ｅ１、Ｅ２を用いてイオンが２周回する毎に、イオンの初期位置及び初期角度について時間的に収束する一方、イオンが持つ運動エネルギーについて時間的に収束しない周回軌道を形成する。また、周回軌道を含む水平面内でイオンを初期位置、初期角度及び初期運動エネルギーに拘わらず２周回毎に空間収束させるとともに、垂直面内でも発散しない軌道とすることにより高いイオン透過率を達成する。これにより、飛行時間は運動エネルギーにのみ依存し、周期軌道を周回させるほどエネルギー分解能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子の飛行経路に沿った所定長さの静磁場空間を確保しつつ、コイルが配設される間隙部分が大きなエネルギーフィルタを実現する。
【解決手段】コア３２の飛行経路９０に沿った長さが、ポールピース３１よりも短くされ、間隙３７、３８が、コイル３６を構成するループ状の金属導体の断面の大きさと比較して大きなものとされるので、コイル３６が周囲のポールピース３１およびコア３２等に接することなく電流容量の大きなコイルを配設することができると共に、コイル３２で発生される熱の周囲への拡散を防止することを実現させる。また、加工の工数が軽減される、コア３２およびポールピース３１を一体化した構造のポールピース＆コア４１を用いても同様のことを実現させる。 （もっと読む）