【課題】荷電粒子の飛行経路に沿った所定長さの静磁場空間を確保しつつ、コイルが配設される間隙部分が大きなエネルギーフィルタを実現する。
【解決手段】コア３２の飛行経路９０に沿った長さが、ポールピース３１よりも短くされ、間隙３７、３８が、コイル３６を構成するループ状の金属導体の断面の大きさと比較して大きなものとされるので、コイル３６が周囲のポールピース３１およびコア３２等に接することなく電流容量の大きなコイルを配設することができると共に、コイル３２で発生される熱の周囲への拡散を防止することを実現させる。また、加工の工数が軽減される、コア３２およびポールピース３１を一体化した構造のポールピース＆コア４１を用いても同様のことを実現させる。 （もっと読む）

リボン状イオンビームのイオン注入システムのためのアーキテクチャが開示される。一実施形態では、アーキテクチャは、扇形リボン状イオンビームを受け、該扇形リボン状イオンビームを少なくとも平行化し、（そしてことによると加速または減速もし得る）ことにより実質的に平行なリボン状イオンビームにする加速／減速平行化レンズシステムと、加速／減速平行化レンズシステムの下流であって、実質的に平行なリボン状イオンビームが注入されるワークピースの前に配置されるエネルギーフィルタシステムとを備える。加速／減速平行化レンズシステムは、扇形リボン状イオンビームを少なくとも平行化する（そしてことによると加速または減速もし得る）レンズと、実質的に平行なリボン状イオンビームを加速または減速する加速／減速レンズとを含む。平行化レンズは、およそ２００ｅＶまでに下げることができるエネルギーにより、高電流リボン状イオンビームをワークピースに供給することができる。エネルギーフィルタシステムは、実質的にエネルギーコンタミネーションを含まない実質的に平行なリボン状イオンビームを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、モノクロメータに入射する電子ビームの調整及びモノクロメータの動作条件の調整を自動的に行うことを可能にする。
【解決手段】モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、電子源及びモノクロメータの間に、モノクロメータに入射する電子ビームの集束を調整する第１集束レンズと、モノクロメータに入射する電子ビームの非点収差を補正する第１非点補正レンズとを備え、モノクロメータ内の電子ビームを集束させる位置に配置された電子ビームの調整用試料の画像を取得し、取得された画像に基づいて、モノクロメータに入射する電子ビームの集束及び非点収差を調整するよう第１集束レンズ及び第１非点補正レンズを駆動する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 補正用多極子により、球面収差と、必要があれば軸上色収差の両方を補正することのできる収差補正装置を提供する。
【解決手段】 多極子構造の２π型ウィーンフィルタを少なくとも一つ用いたものであって、各ウィーンフィルタの光軸近傍における電場及び磁場の４極子、６極子及び８極子の成分の、双極子の成分に対する比率を別途定式で定められた範囲に規定した、収差補正装置。 （もっと読む）

イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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【課題】電子顕微鏡は、電子銃（２）の高圧電界の前方に設けられたエネルギー選択性フィルタ（１０）により構成される。フィルタは高圧電位を伝達し、ＳＦ_６ガスにより充填された銃スペース（１４）内に設けられているので、フィルタに対する電気的及び機械的な通路に関する問題が生じる。特に、フィルタのセンタリングが問題である。
【解決手段】（電流制限及びフィルタによりビームに導入される光収差を回避するため）それにも係わらず、フィルタの適当なアパーチャ調整を行うため、フィルタ部品、特に、フィルタの磁極面又は磁界画成密閉部品（４８ａ）に固定的に連結されたエントランスダイヤフラム（３０）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は荷電粒子線偏向装置に関し、個々の偏向コイルを個別に軌道修正することができる荷電粒子線偏向装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数の偏向コイルを組み合わせて荷電粒子の軌道を曲げることが可能となるように構成された荷電粒子線偏向装置において、それぞれの偏向コイルをパスさせるためのスイッチ４ａ〜４ｃと、パスされた偏向コイルのインピーダンスを等しくした疑似負荷５ａ〜５ｃと、偏向方向を微調整することが可能な調整コイル３ａ〜３ｄを設け、これら偏向コイルにビーム検出器２ａ〜２ｃを設け、このビーム検出器２ａ〜２ｃの検出出力が最大値となるように、前記調整コイル３ａ〜３ｄを調整する。 （もっと読む）

【課題】 高強度のゼロロス電子を効率よく遮蔽できて且つエネルギー分散スリット開口部の散乱電子やコンタミネーションによる影響を軽減するエネルギー選択スリットを提供する。
【解決手段】 スリット開口部３３を挟んで、スリット部材３１のスリット構成辺３４とスリット部材３２のスリット構成辺３５が対面するように配置する。スリット部材３２をスリット部材３１よりも薄くし、スリット構成辺３４の側壁下部をテーパー部３６のように、上方から下方に向かって広くする。高強度のゼロロス電子側がスリット部材３１で遮蔽されるようにエネルギー選択スリット３０を配置する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ（イオン）を発生させて、これを高電圧で加速してイオン流を形成し、これを基板に照射し、更に基板に線状レーザー光を照射するドーピング装置において、特に大面積基板を処理するのに適した装置を提案する。
【解決手段】被ドーピング材を前記イオン流断面の長尺方向と概略垂直な方向に移動させドーピングを行い、ドーピング室において基板に対して線状レーザー光を照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電磁界発生素子及び複数のこのような電磁界発生素子を含む多極素子を提供する。
【解決手段】磁極片（１０）と、磁極片（１０）が取り付けられたヨーク（１２）と、少なくとも１つのコイル（２０）と、この少なくとも１つのコイル（２０）を収容する真空気密容器（２１）と、真空気密容器（２１）が磁極片（１０）及びヨーク（１２）から離間するように真空気密容器（２１）を保持するようになったホルダ（４０、２３）とを含む電磁界発生素子（１）。 （もっと読む）