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国際特許分類[H01J37/05]の内容

電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 電子管または放電ランプ (32,215) | 放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの (7,637) | 細部 (4,344) | 電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置 (2,068) | 電子またはイオンをそれらのエネルギーに応じて分離するための電子光学的またはイオン光学的装置 (95)

国際特許分類[H01J37/05]に分類される特許

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【課題】 特定のイオン種からなる大面積のイオンビーム束を出力する。
【解決手段】 イオンビーム発生装置20は、イオン源1と、イオンビーム引出手段10と、イオンビームの質量分離機2への入射位置が外径側であるほど、イオンビームの軌道半径が大きくなるようにイオンビームの湾曲度を変化させるビーム湾曲度変化手段5、6を有する質量分離機2と、質量分離機2の出口部2aにおいて特定の傾斜角を有するイオンビームを優先的に通過させるケーシング部材7とを備えている。 (もっと読む)


【課題】約45度以上、約110度以下の角度で高アスペクト比のリボンイオンビームを曲げることができ、質量分析のために分析スリットを通してその焦点を合わせることのできる、イオン注入装置用の高分解能磁気アナライザを提供する。
【解決手段】高分解能磁気アナライザは、弓形ヨーク110と、ループ形状コイル120と121を鏡面対称に位置合わせされたアレイとを備える。そして、弓形ヨークの出入口両方においてループ形状コイルのそれぞれは伸長され、それぞれの丸みを帯びた端部でサドルコイルとして知られる曲線状の形状を有する。この構造により、漏れ磁場を低減し、磁場領域内に均一な磁場を生成するので高品質の集束を実現し、それにより高分解能、高アスペクト比、および軽量化を実現する。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、試料から放出される電子の検出効率と、エネルギーフィルタのエネルギー弁別能力の両立を実現することを目的とする。
【解決手段】
本発明では、上記目的を達成するために、エネルギーフィルタを、少なくとも2つの円筒を含むように構成し、この2つの円筒を、電子ビームの光軸方向に延びる電極とし、その2つの電極の少なくとも一部が、試料からみて同じ高さに位置付けられるように構成した。このような構成によれば、試料から放出される電子の検出効率の向上と、エネルギーフィルタのエネルギー弁別能力向上の両立を図ることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 ウィーンフィルタの持つ収差補正の特性を十分に生かし、アナライザで損失する電子を低減して感度の低下を抑えることができるウィーンフィルタ型アナライザの提供を目的とする。
【解決手段】 ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、電極13とヨークレスコイル14による磁極を12極にしている。このため、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、2次収差、3次の開口収差までを消去できるような電場Eと磁場Bを発生することができるようになった。ヨークレスコイル14は、磁極をコイルのみに置き換えたものであり、コイル受け台15上に配設されている。磁極をヨークレスコイルに置き換えたことにより、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、アナライザの内径を大きくすることができ、感度を向上させることができた。また、磁性体を用いていないため、磁性体のヒステリシスを考慮しなくて良く、再現性の良い磁場を得ることができた。 (もっと読む)


【課題】軸上色収差以外の収差を低減し、かつ、軸上色収差補正手段の長さを小さく内径を大きくしても軸上色収差を十分に低減する。
【解決手段】試料9上に長方形の視野で1次電子ビームが照射されることにより試料から放出された2次電子は、2次電子光学系により、写像投影光学系で拡大しかつ面検出器又は線検出器に導かれる。2次電子光学系は、試料から放出された2次電子による像を形成する結像手段を構成するレンズ8及び12と、その後段に設けられ、拡大像の球面収差を補正するウィーンフィルタ13と、ウィーンフィルタを経た電子ビームを拡大レンズ14及び15とを備えている。レンズ18は、焦点距離を調整可能で軸上色収差の大きさを可変とし、これにより、該軸上色収差の大きさをウィーンフィルタの軸上色収差の大きさと一致させることができる。これにより、球面収差及び軸上色収差の両方を低減させることができる。 (もっと読む)


【課題】 モノクロメータのオンオフを、取得データの劣化を押さえ、信頼性の低下を伴うことなく速やかに行う電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 モノクロメータ12のオンオフ動作を、電源のオンオフ動作を繰り返し行うことなく、駆動電圧源36の出力電圧調整および3端子スイッチ41の切り換え動作のみで行うこととしているので、電源のオンオフに伴う出力電圧の安定化までの時間を設けること無く、確実で信頼性の高いモノクロメータ12のオンオフ動作を行うことを実現させる。 (もっと読む)


【課題】改善された検出方式を有する分析システムおよびこのシステムを備える荷電粒子ビームデバイスの提供。
【解決手段】荷電粒子のビーム(2)を分析する分析システムは、荷電粒子のビーム(2)をその粒子のエネルギーに応じて低エネルギービーム(18)と高エネルギービーム(19)に分割するためのディバイダ(16)と、高エネルギービーム(19)を検出するための前方検出器(17)と、低エネルギービーム(18)を検出するための少なくとも一つの後方検出器(15)とを有する。ディバイダは、前方検出器と少なくとも一つの後方検出器との間に配置され、そして前方検出器(17)および/または少なくとも一つの後方検出器(15)はセグメントに分割されている。 (もっと読む)


【課題】 低エネルギーのイオンビームでも、多量にかつ平行性良く取り出すことができる装置を提供する。
【解決手段】 このイオン照射装置は、複数のイオン引出しスリットを有するイオン源20と、それから引き出されたイオンビーム30を曲げて質量分離を行う質量分離電磁石32とを備えている。質量分離電磁石32は、平面形状が湾曲しているビーム偏向領域40を有していて、当該領域40における磁束密度Bは、入口部42からのビーム進行方向への角度が大きくなるに従って大きくなり、かつ湾曲の外側方向へ行くに従って小さくなるように設定されており、それによって質量分離電磁石32は、ビーム偏向領域40の入口部42に複数箇所から互いに平行に入射したイオンビーム30を、出口部44において集束させ、かつ互いに平行な状態で出射させるよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】短い作用距離、コンパクトなデザインで、試料の高速かつ高品質な撮像を可能にすると同時に、画像コントラストの増強をもたらす分析システム及び荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの荷電粒子を偏向及びエネルギー選択する荷電粒子ユニットに関する。荷電粒子ビームを偏向及び焦点合わせするための二重焦点セクターユニット425,445及び電位を形成するためのエネルギーフィルタ460が設けられ、これにより荷電粒子ビームの荷電粒子は、荷電粒子のエネルギーに応じて電位鞍点において方向を転換される。 (もっと読む)


【課題】 高分解能RBS装置等のイオンビーム分析機器一般において、磁場型のエネルギー分析器を使用する場合に、分析管内で散乱した低エネルギーイオンに由来するノイズを低減することが可能なイオンビーム分析装置を提供する。
【解決手段】 高エネルギーイオンビームを照射する加速ユニット10からイオンビームを試料23に照射して、試料23表面の元素分析を行うイオンビーム分析装置100において、イオン検出器34を移動可能に保持する検出器移動部35を設け、静電型偏向器33の電圧を所定の値に設定することにより、ノイズを大幅に低減することができ、精密な分析が可能となる。 (もっと読む)


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