【課題】装置の動作時においてダウンタイムを短縮できる電子銃、電子ビーム描画装置および電子銃の脱ガス処理方法を提供する。
【解決手段】電子銃２０は、電子を放出する電子源４と、電子源４との間で加速電圧が印加されるアノード６と、電子源４とアノード６との間に配置され、電子源４から放出された電子を収束させるウェネルト５と、ウェネルト５に向けて熱電子を放出する電子放出部１２とを有する。電子放出部１２から放出される熱電子をウェネルト５に衝突させて、ウェネルト５の温度を上昇させる方法に従い、効率の良い電子銃２０の脱ガス処理を実現する。電子ビーム描画装置８０は電子銃２０を用いて構成し、脱ガス処理に伴う装置のダウンタイムを低減する。 （もっと読む）

【課題】真空容器内でベーキングが必要な高真空領域に配置できる電磁レンズを提供すること。
【解決手段】電磁レンズは円筒状の焼結セラミックスまたはガラス等の絶縁体からなるボビンを使用したコイルからなり、そのコイルは複数のボビンからなり、ボビンは同心円状の構造であり、導電線をボビンの軸に対して垂直な溝，平行な溝，切り欠き部を使用しコイル内を一本の金属線で配線する構造にする。 （もっと読む）

【課題】カソードの寿命を向上させることのできる電子銃およびその電子銃を使用した電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】電子を放出するエミッタ１０を有する電子銃において、エミッタ１０を、電子放射特性を有する第１の材料からなる第１の部材１１と、第１の材料より仕事関数が大きい第２の材料からなる、第１の部材１１を被覆する第２の部材１２とを有するように構成し、さらに、第１の部材１１と第２の部材１２との間に溝１５を設ける。溝の長さ（Ｈ＋Ｗ）は５０μｍ以上であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】導電性碍子を使用する加速管において、表面のドーパント濃度が不均一となるため、導電性碍子の表面抵抗が不均一になることがあるが、この場合でも、内面垂直方向の電位分布を円周方向によらず一定に保つことが課題である。
【解決手段】導電性碍子加速管の内面に円周状の溝を数段設け、溝の内部に沿って金属をメタライズする。加速管表面の特定の部分の抵抗が周囲と違う場合でも、加速管内面のメタライズ領域の電位は一定になるので、加速管内面の垂直方向電位分布を、円周方向によらずほぼ同一に保つことができる。この結果、中心軸上を通過する電子線に横方向の力が働かないとともに、電位勾配もほぼ一定に保つことができ収差を小さくすることが可能である。 （もっと読む）

【課題】 絶縁耐性が高く、かつ劣化しにくい碍子を提供する。
【解決手段】 碍子（２）は、一対の電極（４ａ，４ｂ）と該一対の電極（４ａ，４ｂ）間に設けられた基体（５）とを有する。基体（５）は、表面における一部の領域（５ａ）が半導電性であり、その他の領域（５ｂ）が絶縁性である結晶体からなる。上述の半導電性である一部の領域（５ａ）は、一対の電極（４ａ，４ｂ）に電気的に接続されている。また、基体（５）は、一部の領域（５ａ）の表面抵抗値が１０^６〜１０^１１Ω／□であり、その他の領域（５ｂ）の表面抵抗値が１０^１２Ω／□以上である。 （もっと読む）

【課題】角電流密度が高く、エネルギー幅が小さくて、しかもトータルエミッション電流を抑制した安定な電子ビームが得られる電子放射陰極を提供する。
【解決手段】軸方位が＜１００＞方位の高融点金属の単結晶からなるニードルに前記高融点金属の仕事関数を低減するための元素と酸素とからなる被覆層を設けた電子放射陰極であって、前記ニードルの少なくとも円錐部に（１００）面が形成されておらず、しかも前記高融点金属の単結晶からなるニードルの尖鋭部に内接する球の半径をＲ１、先端円錐部の全角をテーパー角θとするときに、先端半径Ｒ１が１．０μｍ以上１０μｍ以下であり、テーパー角θが２５゜以下であることを特徴とする電子放射陰極。 （もっと読む）

【課題】アークチェンバー内のプラズマからフィラメントをシールドする機能を果たすカソードイオン源に使用されるカソード組立体を提供する。
【解決手段】間接的に加熱されるカソードイオン源が、アークチェンバーを定めるアークチェンバーハウジング、間接的に加熱されるカソードおよびカソードを加熱するフィラメントを含む。カソードは、正面、背面および周囲を有する放出部分、放出部分の背面に取り付けられる支持ロッド、ならびに放出部分の背面から伸長するスカートを含む。カソード組立体がカソード、フィラメントおよびカソードとフィラメントとを固定した空間関係で取り付けるため、さらにカソードおよびフィラメントに電気的エネルギーを伝えるクランプ組立体を含む。フィラメントは、放出部分およびカソードのスカートにより定められる空洞内に配置される。 （もっと読む）

【課題】ピアス式電子銃の円盤状のカソード２を、カソード２より大径の外周リング２１に３本以上の支持ロッド２２を介して支持させるカソード支持構造において、カソード及び支持ロッドの熱膨張により支持ロッドの座屈を生ずることを防止できると共に、カソードからの熱引けを効果的に抑制できるようにする。
【解決手段】各支持ロッド２２を、カソード２と外周リング２１との間に、支持ロッド２２の軸線が該軸線と外周リング２１の内周面との交点とカソード２の中心とを結ぶ直線Ｌに対しカソード２の周方向一方に傾むくように配置する。また、支持ロッド２２の軸線に合致する直線とこの直線に平行でカソード２の中心を通る直線とをカソード２の軸線に直交する平面に射影したときの２直線間の距離を偏心量δとして、δが全ての支持ロッド２２で等しくなるようにする。 （もっと読む）

【課題】電子源あるいはイオン源において、ろう材を使用せず、引き出し電極と絶縁碍子との接合位置精度を向上させた部品を作製し、放出される荷電粒子のアライメントエラーを小さくし、更に、ろう材を使用しないことからコスト面で有利な荷電粒子装置用部品を提供する。
【解決手段】金属製部品と絶縁性部品からなる複数の部品から構成される荷電粒子装置用部品において、金属製部品と絶縁性部品を結合する筒状の嵌合部を有し、該勘合部の外筒が金属であり内筒が絶縁物であって、室温における該外筒の内寸が該内筒の外寸より僅かに小さく、該嵌合部が外筒と内筒を焼き嵌めにより結合されたことを特徴とする前記の荷電粒子装置用部品。 （もっと読む）

電子ビーム殺菌デバイスは、電子発生フィラメント（１１０）と、電圧源に接続されたグリッド（１１４ａ、ｂ）と、ビーム成形器（１２８）と、出力窓（１１８）とを備える。高電圧源が、電子の加速用に電子発生フィラメントと出力窓との間に高電圧を発生させる。本デバイスの利便性は、電子発生フィラメント及び／又はグリッドが、出力電子ビームの電流及び形状の変更用の少なくとも二つの動作部分を備えることによって高められている。
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