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国際特許分類[H01J37/077]の内容

国際特許分類[H01J37/077]に分類される特許

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【課題】FIB動作用のイオン・モードまたはSEM動作用の電子モードで動作するユーザが選択可能な構成を有する単一カラム誘導結合プラズマ源を提供すること。
【解決手段】X線検出器が装着されていれば、エネルギー分散型のX線分光分析が可能である。ユーザは、イオン・モードまたはFIBモードで試料を調製するようにICPを選択的に構成し、次いで電子モードまたはSEMモードを選択するスイッチを実際に動かし、EDSまたは他のタイプの分析を使用して試料を分析することができる。 (もっと読む)


【課題】被窒化処理物が持つ靭性等の特性を維持しつつ、表面の硬度を高めることができるとともに、耐久性を向上させることができる窒化処理方法を提供する。
【解決手段】窒化処理方法は、被窒化処理物16の表面に窒素プラズマを照射して窒化処理を行い、被窒化処理物16の表面に窒素原子の薄い拡散層を形成するものである。例えば、アルゴンプラズマ21から電子ビームを引き出し、該電子ビームにより窒素ガスから窒素プラズマ24を生成させ、該窒素プラズマ24により被窒化処理物16の表面から内部へ窒素原子を拡散させ、厚さが10μm以下の窒素原子の拡散層を形成する。窒化処理の温度は350〜600℃であることが好ましく、窒化処理の時間は1〜8時間であることが好ましい。また、被窒化処理物16に印加されるバイアス電圧は−50V〜−5Vであることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】コレクター電極、これを備えた電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射処理装置において、特別な機構及び処理を施すことなく安定した動作を有する装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置において、非磁性のニッケル系合金からなる筒状のコレクター電極及び前記コレクター電極に巻装された高周波誘導コイルを備えるように構成した。 (もっと読む)


【課題】コレクター電極、これを備えた電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射処理装置において、特別な機構を付加することなく安定した動作を有する装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置において、導電体から成る筒状のコレクター電極及びコレクター電極に巻装された高周波誘導コイルを備え、コレクター電極は側面に開口部を有し、開口部が高周波誘導コイルの高圧側端部に対応して配置されるように構成した。 (もっと読む)


【課題】高周波放電型のプラズマ発生装置において、PFG電流の減少が少なく、長寿命化を図る。
【解決手段】プラズマ生成容器内で高周波放電によってガスを電離させてプラズマを生成して、電子放出孔を通してプラズマよりの電子を外部に放出する装置であって、プラズマ生成容器内に設けられていて高周波を放射するアンテナとアンテナ全体を覆うものであって絶縁物から成るアンテナカバーとを備えており、前記電子放出孔のあるプラズマ電極材質が導電性材料であるプラズマ発生装置において、プラズマ電極の表面にプラズマによるスパッタリングによって絶縁物がプラズマ電極のプラズマ側に堆積することを防止し、導通を確保する筒状の枠体領域に枠体の内側または内側と外側に厚みの異なる突起部がある枠カバーをもっていることを特徴とするプラズマ発生装置。 (もっと読む)


【課題】多くの電子ビームを引き出すことが可能であると共に、長期間に渡って安定して稼動する小型のニュートラライザ及びこれを備えたイオンビーム装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを引出し可能な開口を一方の端部に有する放電管と、放電管内にガスを導入するガス導入管と、放電管内に配設されたカソード電極と、放電管の前記開口側に配設されたキーパ電極と、カソード電極よりも正電位となるようにキーパ電極に電圧を印加する引出し電源と、を備え、引出し電源に、カソード電極とキーパ電極の電圧極性を反転させる反転機構を設けたことを特徴とするニュートラライザ。 (もっと読む)


【課題】活性雰囲気で長時間の使用が可能な、簡単な構造でなる電子源、及びこの電子源が用いられた処理装置を提供する。
【解決手段】アノード電極1及びカソード電極2間に電圧が加えられ、カソード電極2から電子が放出される。主にカソード電極2の磁気ギャップ6の近傍から放出された電子は、磁気ギャップ6での磁界の作用によりホール運動を行う。この電子がガス導入部3により導入されたガスの分子に衝突することで、ガスの分子が効率よく電離される。これにより磁気ギャップ6の近傍でプラズマ16が発生する。発生したプラズマ16内にある電子は、アノード電極1及びカソード電極2間の電界により、アノード電極1の方向へ加速され、スリット4を介して照射対象物に照射される。つまり、アノード電極1及びカソード電極2間に電圧が加えられることで、プラズマ16の発生と電子の加速及び照射とが共に行われる。 (もっと読む)


【課題】プラズマ発生の機能が低下しない、簡単な構造でなる電子源を提供する。
【解決手段】プラズマ生成室1の内壁9とコレクター電極3との間に設けられた内部構造材4により、プラズマ生成室1の内壁9に導電性の物質が堆積することを防ぐことができる。従って、高周波アンテナ2からの高周波電界が遮蔽されないので、この高周波電界により容量結合型の初期プラズマを発生させることができる。また内部構造材4に導電性の物質が堆積して高周波電界が遮蔽された場合でも、堆積物は内部構造材4のコレクター電極3側に堆積するので、内部構造材4からプラズマ生成室1内への高周波電界は遮蔽されるが、内壁9から内部構造材4への高周波電界は遮蔽されない。内部構造材4と内壁9との間には距離dが設けられているので、内部構造材4と内壁9との間の領域で、高周波電界により容量結合型の初期プラズマを発生させることができる。 (もっと読む)


空洞(6)を有し、カソードとして機能するように構築される中空エレメント(5)を備える装置(1)と、前記中空エレメント(5)の空洞(6)内に少なくとも部分的に配置される前記主電極(7)と、前記主電極(7)を電気的に接地する抵抗(12)と、カソードの壁を通じて延伸する実質的に誘電体からなるチューブ状素子(21)と、 接地され、チューブ状素子(21)の周囲に配置されたリング形状アノード(25)と、カソード(5)に電気的に接続され、約10nsで少なくとも8KVのカソードの電位を減少可能な前記活性化グループ(11)とを備え、プラズマを生成しターゲット(3)に向かって電子流を導くための装置である。 (もっと読む)


カソード(2)と、カソードに対して環状に配置されそのカソードから離間して構成されたアノード(1)と、グロー放電によってカソードで電子を生成する手段と、少なくとも1つの開口(25)を内部に有する抽出プレート(3)であって、その開口を通じて、生成した電子を使用時に抽出できる抽出プレートとを備える、プラズマブリッジ中和装置(10)。
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