【課題】試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる光電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡において、前記対物レンズに、２以上の電極を備えさせ、２以上の前記電極を、前記光が２つの電極間を通るように設置する。このような構成をした光電子顕微鏡は、試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる。 （もっと読む）

【課題】
基板の面内に形成される不均一なドーズ量分布の形状によらず、不所望なドーズ量分布である遷移領域を小さくするとともに、イオン注入処理に要する時間を短縮させることのできるイオン注入方法を提供する。
【解決手段】
このイオン注入方法は、イオンビーム３と基板１１との相対的な位置関係を変更させることによって、基板１１へのイオン注入を実施するイオン注入方法である。そして、基板１１上に均一なドーズ量分布を形成する第一のイオン注入処理と基板１１上に不均一なドーズ量分布を形成する第二のイオン注入処理とを予め決められた順番に従って行うとともに、第二のイオン注入処理時に基板１１上に照射されるイオンビーム３の断面寸法が、第一のイオン注入処理時に基板１１上に照射されるイオンビーム３の断面寸法よりも小さい。
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【課題】本発明は、低加速電圧でのイオン電流の制御を容易にしつつ、カソードに付着するリデポジションによる影響を抑制することを目的とするイオンミリング装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、イオンガンの内部に配置され、正電圧が印加されるアノードと、当該アノードとの間に電位差を発生させることによってイオンを発生させるカソードを備えたイオンミリング装置において、カソードは、前記ガス供給源によってガスが供給される空間と、前記イオンが照射される試料側の空間を分圧すると共に、前記イオンを通過させる開口を備え、当該開口を通過したイオンを試料に向かって加速させる加速電極を備えたイオンミリング装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】精密機器が配設されたブース内の圧力の変動を防止して測定精度の低下を抑制しつつ、省エネをも実現できる温調装置を提供する。
【解決手段】精密機器Ｆが配設されたブース１内に温調用空気Ｐを供給して温調する温調手段２の運転を制御する制御手段３を備えた温調装置Ｅにて、ブース１内の圧力Ｋ₁を検出する圧力検出手段９をブース１内に備え、温調手段２が温調用空気Ｐをブース１内に送り込む送風手段４を備え、制御手段３が、送風手段４を運転させてブース１内に温調用空気Ｐを送り込みブース１内の圧力Ｋ₁を大気圧Ｋ₀よりも大きな圧力にし、精密機器Ｆの運転開始時ｔ１又は運転開始前に圧力検出手段９によりブース内１の圧力Ｋ₁である基準圧力Ｋ_1aを検出させ、送風手段４の運転を制御して、精密機器Ｆの運転開始時ｔ１から運転停止ｔ２までの間、ブース１内の圧力Ｋ₁を基準圧力Ｋ_1aに維持する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子顕微鏡等の荷電粒子光学系の可動絞り装置に関し、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換することを目的とする。
【構成】荷電粒子光学系を構成する鏡筒の側面に設けたフランジと、フランジに真空シールして軸方向に移動あるいは軸方向に回転あるいは両者の回転・移動を可能にして装着した２つのＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトと、Ｘ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に連動して絞りをある一定方向および一定方向にほぼ直角方向にそれぞれ移動させる移動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線による描画動作に支障を与えることなく、ストッピングアパーチャに堆積される汚染物質を効率よく除去する。
【解決手段】 荷電粒子線描画装置は、荷電粒子線を偏向するブランキング偏向器１８と、前記ブランキング偏向器で偏向された荷電粒子線を遮断するストッピングアパーチャ１９と、前記ストッピングアパーチャに堆積された堆積物を分解する活性種を気体から生成するための触媒２４と、前記触媒に前記気体を供給する供給機構２５と、を備える。前記堆積物を除去する除去動作では、前記荷電粒子線描画装置は、前記供給機構によって前記気体を前記触媒に供給しながら、パターンを描画する描画動作では前記荷電粒子線が照射されない領域に前記荷電粒子線を照射することによって、少なくとも前記領域に位置する前記触媒によって前記気体から前記活性種が生成され、該生成された活性種により前記堆積物を分解して除去する。 （もっと読む）

【課題】
絞りホルダの絞りを隔壁の電子ビーム通過口に密着させると共に、絞りホルダ移動による微粉末発生を抑える。
【解決手段】
本発明の電子顕微鏡用絞り機構は、絞りを保持する絞りベースと、該絞りベースを保持すると共に絞りが電子ビーム通過口に一致する位置と外れる位置とに選択的に配置されるよう、隔壁に沿って移動可能に設けられる絞りホルダと、該絞りホルダの周囲に移動方向に沿って配置される凹凸部を有するレールとから構成される。前記絞りベースは前記レールと接する上下ローラを備え、前記絞りホルダは、前記絞りホルダに対して独立に前記絞りベースが前記電子ビーム通過口との距離が変わる方向に移動可能に前記絞りベースを支持し且つ前記絞りベースを前記電子ビーム通過口から離れる方向に付勢する絞りベース付勢手段を備える。前記レールは、絞りが電子ビーム通過口に一致する位置で電子ビーム通過口を塞ぐように前記ローラに力を与える凹凸部を有する。 （もっと読む）

【課題】収差、有利には、より高次の収差を低減するためのよりよい補正を提供する。
【解決手段】軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の無収差中間像（９）が１番目の４極子要素（１）の４極子場（１’）に形成され、当該４極子場（１’）は、軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の非点中間像（１２、１３）が３番目の多極子要素（３）および４番目の多極子要素（４）の両４極子場（３’、４’）の中央領域に形成されるように設定され、当該領域において、２番目の４極子要素（２）の４極子場（２’）の設定により、両軸外基準軌道（ｘ_γ、ｙ_δ）の中間像（１２、１３）が位置するのと同じ面（ｘ、ｙ）の両軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）がそれぞれ最大を示す。 （もっと読む）

【課題】
高周波ノイズによる荷電粒子線への影響を抑制し、高性能で安定した制御が可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
偏向用コイル１０１に対して電流の向きが逆となるノイズキャンセル用コイル１０２を設け、ノイズキャンセル用コイル１０２にはハイパス用コンデンサ１０３を介して高周波ノイズ電流のみを通すことで、ノイズ電流と偏向コイル１０１によって生成される磁場１０５とノイズ電流とキャンセル用コイル１０２によって生成される磁場１０６とが互いに打ち消し合うように構成することで、高周波ノイズによる荷電粒子線１０７への影響を除去する。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源を用いたイオン顕微鏡に於いて、試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。又、電極先端の移動機構２０８や絞り開口径２２４の選択によりビーム径と電流量を制御し、試料１８０上で１０ｎｍ以下のスポットを実現する。 （もっと読む）