説明

国際特許分類[H01J37/09]の内容

国際特許分類[H01J37/09]に分類される特許

1 - 10 / 180



Notice: Undefined index: from_cache in /mnt/www/gzt_ipc_list.php on line 278


Notice: Undefined index: from_cache in /mnt/www/gzt_ipc_list.php on line 278




【課題】荷電粒子線の軌道の安定化に有利な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】この荷電粒子線装置は、荷電粒子線を被処理体に導く電子光学系の少なくとも一部を収容する第1の筐体10と、被処理体を保持して移動可能な基板保持部を収容する第2の筐体11と、第1の筐体10と第2の筐体11との接続部分に設けられ、第2の筐体11から第1の筐体10に流れる電流を低減する絶縁体31と、第1および第2の筐体10、11を通じた閉磁路を形成し、かつ、接続部分を介して第1および第2の筐体10、11の外部から内部に向かう電磁波を低減する機構20、30とを備える。 (もっと読む)






1 - 10 / 180