【課題】 像分解能を維持して装置のコンパクト化を図る。
【解決手段】 電子銃１、電子銃からの電子ビームを試料４上に集束させる集束レンズ２、電子ビームで試料４上を走査させる走査用偏向レンズ５、試料上の走査により試料４から発生した二次電子ビームを検出する検出器６、検出器で検出された二次電子ビームに基づいて、試料４に関する像若しくはスペクトルを表示する表示装置１２を備えており、試料４の直上に、４段の静電型４極子２１，２２，２３，２４と４段の静電型８極子２７，２８，２９，３０から成る静電型１２極子を配置させ、４段の静電型４極子２１，２２，２３，２４により電子ビームの試料４上のフォーカス調整を行わせ、４段の静電型８極子２７，２８，２９，３０で収差補正を行わせる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は収差補正器を備えた走査電子顕微鏡に関し、使用条件やノイズの影響を受けることなく、安定的にプローブ画像を得ることを目的としている
【解決手段】 ジャストフォーカス状態で撮影した画像とデフォーカス状態で撮影した画像を画像データとしてコンピュータに入力し（ステップ1）、入力データサイズと出力データサイズから相関窓画像のサイズを自動で決定して相関窓を作成し（ステップ2,3）、相関窓と参照領域の相互相関演算を行い（ステップ6）、参照領域をずらしながらこの演算を繰り返す（ステップ7〜10）ことで相互相関行列を得ることで（ステップ11）プローブ画像を得る。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】 ウィーンフィルタ内で静電偏向場、及び静磁偏向場に付随して発生する六極子場に対して、静電六極子場を積極的に発生させ、３回非点を補正する。
【解決手段】 静電場発生部４は、この１２極型ウィーンフィルタが適用されるモノクロメータにおいてスリット上でビームを絞るために、ユーザが操作部６を使って操作した指示にしたがって、各電源の印加電圧を調整し、静電偏向場、静電四極子場、静電六極子場のような多重極静電場を発生する。 （もっと読む）

【課題】
一次電子線の収差を増やさずに二次信号を効率よく検出することにより高分解能でかつ高コントラストな観察像を取得し、観察像により欠陥を検出することにより検査速度を高速・高感度にする荷電粒子ビーム装置を得る。
【解決手段】
試料の所望領域を一次荷電粒子ビームで走査し、一次荷電粒子ビームの照射により領域から二次的に発生する二次荷電粒子を二次電子変換電極33に衝突させた後、二次電子変換電極33の上記試料側の面に絶縁物を介して固定した第１のE×B偏向器31により発生する二次電子を検出器34に取り込む。同時に、第１のE×B偏向器31に固定した第２のE×B偏向器32により第１のE×B偏向器31で一次荷電粒子ビームに発生する偏向色収差を抑制し、高分解能かつ、シェーディングのない高コントラストな観察像を取得する。 （もっと読む）

【課題】本発明はロンチグラム中心の決定方法に関し、収差補正や軸調整のためのロンチグラム中心を決定することができるロンチグラム中心の決定方法を提供することを目的としている。
【解決手段】走査型透過電子顕微鏡の最終結像面に撮像手段を設け、形状を認識できる試料を配置し、ロンチグラムを観察できるような光学系にして十分なデフォーカスをとり、この状態で前記撮像手段でロンチグラム像１を撮影し、加速電圧を変化させ、既知の色収差により変化したデフォーカス量から拡大率変化を計算し、この状態で前記撮像手段によりロンチグラム像２を撮影し、前記ロンチグラム像１とロンチグラム像２を用いて所定の画像処理を行ない、該画像処理結果に基づき画像の不動点を求めるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 比較的少ない素子数で高次収差を補正できる収差補正装置を提供する。
【解決手段】 第１の場所１１での収差次数をＮ_１、対称性をＳ_１とし、第２の場所１２での収差次数をＮ_２、対称性をＳ_２とすると、生まれるコンビネーションアベレーションは、以下に示す＜条件１＞となる。
次数Ｎ_１＋Ｎ_２−１、対称性｜Ｓ_１＋Ｓ_２｜あるいは｜Ｓ_２−Ｓ_１｜ ・・・＜条件１＞
つまり、第１の場所１１及び第２の場所１２に相当する二つの補正子（収差導入素子）を用意して、コンビネーションアベレーションを利用し、＜条件１＞を持った収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡便な系で透過型電子顕微鏡の電子光学系の色収差補正を行うことができ、かつ高分解能観察を実現できる色収差補正装置を提供する。
【解決手段】 第１の四極子場発生多極子２１で凹レンズ効果を発生しても余分な２回非点が残留している。この余分な２回非点を２番目の四極子場のような第２の四極子場発生多極子２３を挿入することで除去する。第２の四極子場発生多極子２３は、その極性を第１の四極子場発生多極子２１と逆極性にする。すなわち、第１と第２の四極子場発生多極子の組み合わせにより、２回非点を相殺し、拡がりを持つ円筒対称型電子線に対して、凹レンズ効果による色収差補正が行える。 （もっと読む）

【課題】焦点および収差補正を可能にする電子線装置用試料台を提供する。
【解決手段】電子線が入射する面に、種々の寸法の複数の収差補正用穴を設け、好適には、前記収差補正用の穴は約１０ｎｍ乃至約１００ｎｍの種々のサイズの直径とし、観察試料から約１００μｍ以内の範囲に分布させる。収差補正用穴の収差補正用パターンの代わりに、収差補正用薄膜を電子線装置用試料台に設けてもよい。収差補正用薄膜は、非晶質膜上にアイランド状の結晶粒子が分布しているものである。できるだけ観察試料の近くになるように配置することが望ましく、例えば、観察試料から１００μｍ以内になるようにする。さらに、収差補正用穴の収差補正用パターンの代わりに、直径約１０ｎｍ〜約１００ｎｍサイズの蒸着された複数の金属微粒子を設けてもよい。観察試料から約１００μｍの範囲内に配置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は荷電粒子ビーム装置における非点補正・フォーカスの自動調整方法及び装置に関し、非点補正・フォーカスの自動調整を行なう方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】Ｘ，Ｙ方向に周期的なパターンを持つ調整用試料からの強度分布信号に対してトリミングを行なって第１のフーリエ級数展開を行ない周期パターンを求める手段２５と、この周期パターンに対してトリミング領域を決定して第２のフーリエ級数展開を行なう手段２５と、前記第１のフーリエ級数展開と第２のフーリエ級数展開の結果の差分を求める演算手段２５と、該演算手段２５により求めた差分と非点補正量及びフォーカス値を記憶する記憶手段２７と、該記憶手段２７に記憶されたものの中から差分が最小となる時の非点補正量とフォーカス値が最適になるものを読み出して荷電粒子ビーム装置の動作を調整する非点補正・フォーカス調整手段２８とを有して構成される。 （もっと読む）