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国際特許分類[H01J37/153]の内容

国際特許分類[H01J37/153]に分類される特許

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【課題】透過電子顕微鏡に適し、電気エネルギー供給における変動に感度を有しない補正器を提供する。
【解決手段】本発明は、6つの多極子(1、2、3,4、5、6)を有する、電子顕微鏡における色収差および開口収差を補正するための補正器(9)に関し、該6つの多極子(1、2、3,4、5、6)は、4極子場(1’、2’、3’,4’、5’、6’)および8極子場の生成のために、光学経路(7)に順に、対称平面(8)に関して対称に配置されており、全6つの多極子(1、2、3,4、5、6)の4極子場(1’、2’、3’,4’、5’、6’)は順に、互いに対して90°回転されており、軸上基準軌道(xα、yβ)の鏡面対象の交換対称性を形成する。 (もっと読む)


【課題】 AB効果を用いて電子ビームの位相を制御する回折収差補正の動作原理に基づき、ソレノイドコイルリングの多極子により構成される補正器の構造とビーム軸に対するベクトルポテンシャルの直交度と軸ずれを調整する機能により回折収差補正器を構成する。
【解決手段】 位相差を発生させるためにベクトルポテンシャルをビーム軸に直交し、かつビーム軸に対して直交面内で対称な分布で誘起する回折収差補正器を対物絞りと対物レンズの近くに設置し、ビーム軸から傾いて進行する回折波は磁束のリングをくぐることで上記ベクトルポテンシャルによるAB効果によりビーム径内の位相差を増大して試料上の電子ビームの強度を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】収差、有利には、より高次の収差を低減するためのよりよい補正を提供する。
【解決手段】軸上基準軌道(xα、yβ)の無収差中間像(9)が1番目の4極子要素(1)の4極子場(1’)に形成され、当該4極子場(1’)は、軸外基準軌道(xγ、yδ)の非点中間像(12、13)が3番目の多極子要素(3)および4番目の多極子要素(4)の両4極子場(3’、4’)の中央領域に形成されるように設定され、当該領域において、2番目の4極子要素(2)の4極子場(2’)の設定により、両軸外基準軌道(xγ、yδ)の中間像(12、13)が位置するのと同じ面(x、y)の両軸上基準軌道(xα、yβ)がそれぞれ最大を示す。 (もっと読む)


【課題】少なくとも三段の多極子に対する荷電粒子線の軸合わせ方法、及び当該軸合わせが可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】少なくとも3つの非点場を発生し、隣接する前記非点場の軸ずれによる同次数且つ同種の非点収差が相殺されるように、各前記荷電粒子線の軌道および各前記非点場の分布のうちの少なくとも1つの群内のそれぞれを、前記光軸に垂直な方向に沿って同時に平行移動する。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子線の状態が変化しても、容易に光軸の調整を可能とする荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法を提供する。
【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を調節する光学素子と、当該光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器を備えた荷電粒子線装置において、前記光学素子の条件を変化させた際に得られる2つの画像のパターンの重心を検出する手段と、前記2つのパターンの重心のずれを検出する手段と、前記2つのパターンの重心のずれに基づいて、前記アライメント偏向器の偏向量を算出する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置を提案する。 (もっと読む)


【課題】ロンチグラム法の簡易性を備えながら、反射・二次電子走査像を利用するSEMにおいても適用可能な、また特別に撮影用の検出器を必要としない収差測定法、或いは収差測定に供する収差情報の取得方法を提供する。
【解決手段】走査像を得る為のビーム走査を、通常対物レンズ直上に置かれる走査コイルで行うのではなく、収差被測定レンズである収差補正器ならびに対物レンズ上方置かれた走査コイルによって行うことによって、収差被測定レンズの持つ収差を反映した歪走査を試料面上で行い、これによって発生する散乱電子線、透過電位線、もしくは反射・二次電子線から走査像を形成することで、従来のロンチグラムと等価な収差情報パターンを、走査型で得られる手段を特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、一体化されたエネルギーフィルタを備える荷電粒子フィルタに関する。
【解決手段】 使用されている大抵のフィルタは、曲率の大きな光軸を有するので、作製の困難な形状の部品を用いるが、本発明による荷電粒子源は、まっすぐな光軸を取り囲む電極を使用する。驚くべきことに、本願発明者は、電極の一部(114、116、120、122)が120°/60°/120°/60°で構成されているとすると、エネルギー選択スリット108にて相当なエネルギー分散を示す、光軸104からかなり離れた荷電粒子ビーム106aを、補正不可能なコマ収差又は非点収差を導入することなく、偏向させることが十分可能であることを発見した。前記電極は、セラミックスの接着又は真鍮により、互いに取り付けられて良い。かなり同心円のボアの列が、たとえば電界放電によって形成されて良い。 (もっと読む)


【課題】 エネルギー幅の小さい電子ビームを造り、球面収差補正電子顕微鏡の分解能を更に向上させる。
【解決手段】 電子銃2と観察用試料11との間に電子線用プリズム3と分散角増幅用レンズ6とアパーチャ8とを設け、該プリズムによって電子線軌道のエネルギー分散を発生させ、分散角増幅用レンズによって分散角を増幅し、その後ろに設けたアパーチャを通り抜ける電子線のみを使って観察用試料の顕微鏡像を作成する。 (もっと読む)


【課題】電子顕微鏡に於いて、引出電極や加速電極の電位を固定のままでクロスオーバの位置を自由に調整できる機能を実現する。
【解決手段】光軸に添って配置された、3つの電極により構成される第1電極ユニット24の第1電極4と第3電極9を所定の第1電位、第2電極8を可変の第2電位とし、更に3つの電極より構成される第2電極ユニット26を備え、第5電極16を可変の第3電位とする。また、第1加速装置17と第2加速装置18を、それぞれ第4、第5の電位に設定する。 (もっと読む)


【課題】 共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び3次元断層像観察方法に関し、薄層状試料における異なった深さにおける原子配列を一画像で観察可能にする。
【解決手段】 電子を放出する電子源と、電子源から放出された電子を加速する手段と、加速された電子線を試料上に収束させる収束レンズと、電子線を試料表面上に走査するための走査コイルと、試料表面に焦点を合わせるための対物レンズと、試料により散乱された電子線の取り込み角度を制御するための投影レンズと、走査顕微鏡像を取得するための走査顕微鏡像検出器と、試料の組成および電子状態を分析する分析装置と、試料厚さを計測するための計測部と、対物レンズの焦点深度を調整する焦点深度調整手段とを有し、対物レンズの前段に対物レンズの球面収差を補正する球面収差補正装置と、対物レンズの色収差を補正および調整する色収差補正装置とを設けるとともに、対物レンズの色収差係数を調整するための制御部と、色収差係数を測定する測定部とを設ける。 (もっと読む)


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