説明

国際特許分類[H01J37/153]の内容

国際特許分類[H01J37/153]に分類される特許

41 - 50 / 217


【課題】 今日市販されている高分解能の透過電子顕微鏡(HR-TEM)及び走査型透過電子顕微鏡(HR-STEM)には、所謂対物レンズの軸球面収差Csを補正する補正装置が備えられている。他の収差は制限をかける収差となることは避けられない。ローズ補正装置としても知られている六重極型の補正装置では、当該補正装置によって導入される、A5としても知られている6回軸非点収差及びD6としても知られている6回スリーローブ収差も、制限をかける収差になることが知られている。
【解決手段】 本発明は、六重極間のクロスオーバーに弱い六重極を加えることによって、A5又はD6のないローズ様補正装置又はクリュー様補正装置の作製を可能にする。あるいは本発明は、弱い六重極と十二重極の両方を加えることによって、A5とD6のいずれも存在しない補正装置を作製する。 (もっと読む)


【課題】リフォーカス用の静電レンズの電極の配置誤差に起因する収差及び照射位置ずれを補正可能な電子ビーム露光装置を提供すること。
【解決手段】電子ビーム露光装置は、電子ビームを放射する電子銃と、電子ビームを試料面上へ結像させる投影レンズと、投影レンズの上方に設置され、電子ビームの焦点を補正する静電多重極電極からなるリフォーカスレンズと、リフォーカスレンズの各電極に対して光軸の回りに回転させて配置した静電多重極電極からなる寄生収差補正用レンズと、電子ビームの断面の面積に応じた電圧を、リフォーカスレンズを構成する電極及び寄生収差補正用レンズを構成する静電多重極電極に印加する制御手段とを備える。寄生収差補正用レンズを構成する多重極電極は、リフォーカスレンズを構成する電極に対し、隣接する2つの当該電極間の角度の1/2だけ光軸の周りに回転させた位置に配置される。 (もっと読む)


【課題】補正器付荷電粒子装置において、補正器の電源ノイズがある場合でも、常に高分解能の条件で使用できる荷電粒子装置を提供する。
【解決手段】あらかじめ補正器電源1つあたりの単位変動に対する像移動量を測定し、電源リップル安定度からノイズ量を推定し、比較候補の補正条件でのビーム径の計算にその値を取り入れる。より高分解能の見込める収差補正器の使用条件をシミュレーションし、収差はあるが補正器電源ノイズのない場合のビーム径の計算値と比較し、最良の分解能の条件を決めて装置を自動調整する。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、荷電粒子線装置において、左右の視差画像を上方向からだけでなく、斜め方向から取得する取得手段を提供することにある。また、立体観察方法を切り替えることのできる視差画像表示手段及び操作画面を提供することにある。
【解決手段】本発明は、荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を集束する対物レンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記一次荷電粒子線の走査によって試料から発生する信号粒子を検出する検出器と、前記検出器の信号粒子を用いて試料像を取得する荷電粒子線装置において、前記一次荷電粒子線の試料への照射角を偏向する偏向器と、当該偏向器に電流を流す独立した第一及び第二の電源を備え、前記一次荷電粒子線の走査の一ライン単位又は一フレーム単位で、当該2つの電源から印加する電圧を切り替えるスイッチを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子線装置による観察において、目視では確認が困難とされる観察画像上の歪みを評価する方法を提供する。
【解決手段】観察画像内に境界線と基準画像内の基準線とを特定し、観察画像のX軸上で基準画像を移動させて、その移動量に対する各境界線と基準線とのX軸上の距離を求める。この距離の変化を井自治関数で近似して各境界線の間隔を算出する。観察画像上の各歪み量は各間隔と平均間隔との差として算出される。 (もっと読む)


【課題】
複合型電磁界レンズにおいて投影レンズの収差を抑制する荷電粒子線描画装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子線を投影する投影系を有し、投影された荷電粒子線で基板にパターンを描画する荷電粒子線描画装置であって、投影系は、磁場を発生する対称型磁気ダブレットレンズと、対称型磁気ダブレットレンズが発生する磁場の中に電場を発生する静電レンズとを備え、静電レンズは、物体面側に配置された第1円筒電極と、像面側に配置された第3円筒電極と、第1円筒電極と第3円筒電極との間に配置された第2円筒電極と、を含み、第1円筒電極および第3円筒電極には、基板の電位と同一の電位を与え、第2円筒電極には、対称型磁気ダブレットレンズの瞳面に入射する荷電粒子線を加速する電位を与え、第2円筒電極は、対称型磁気ダブレットレンズの光軸の方向に分割された2つの円筒電極を含む、ことを特徴とする荷電粒子線描画装置。 (もっと読む)


【課題】
倍率色収差の影響を考慮し、精度を落とすことなく色収差の測定およびに補正にかかる時間を短縮することができる荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】
色収差を補正する収差補正器を備えた荷電粒子線装置において、倍率色収差量と色収差量とを所定の閾値以下となるまで、夫々の収差を補正する制御部を備え、倍率色収差量の閾値を、測定した色収差量を元に設定又は更新する。 (もっと読む)


【課題】高倍率観察でも収差補正が容易な電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡において、球面収差補正装置14と、前記球面収差補正装置14と対物レンズ17との間に設けられる伝達レンズ系15と、前記球面収差補正装置14の前段に、光軸2に対して移動可能に設けられる開口絞り13と、前記伝達レンズ系15の主面又はその近傍に前記光軸2に対して移動可能に設けられ、電子線の開口角を調整する開口角絞り16とを備える。 (もっと読む)


【課題】画像コントラストをさらに改善し、しかもその際に許容できないエラーの原因とならないようにすることである。
【解決手段】少なくとも1つの歪像(6、6’)を形成および補償するために、当該歪像(6、6’)の前方および後方に配置された四重極場(Q’、Q’、Q12’、Q14’)を用い、該四重極場の光軸(10)方向における拡がりがそれらの焦点距離の少なくとも2倍に相当するようにし、前記軸光線(xα、yβ)の少なくとも1つが、中間画像(5)の倍率Mの相応の選択によって四重極場(Q’;Q12’)に、前記少なくとも1つの歪像(6、6’)の前方で1/Mの勾配で入射し、当該歪像(6、6’)の長さ(7)は許容可能なエラー範囲内に留まるようにする。 (もっと読む)


【課題】電子放出顕微分光装置の電子光学カラムの非点収差を補正するための方法を提供すること。
【解決手段】本方法は、・撮像されるべき対象とする構造を含む試料の表面上に参照構造(100b)を形成するステップと、・二次電子を用いておよび内殻準位光電子を用いて顕微分光装置によって参照構造を撮像するステップと、・二次電子を用いるおよび内殻準位光電子を用いる参照構造の撮像中に現れる非点収差欠陥を除去するステップとを含み、参照構造の材料は、内殻準位光電子撮像中に、参照構造の材料の平均強度Iaと試料の材料の平均強度Ibとの間のコントラストCが、


であるように選択される。 (もっと読む)


41 - 50 / 217