サンプル（２６）を画像化する電子ビーム（３０）とともに使用される装置（１０）。装置は、サンプルに入射する電子ビームによって発生する電子顕微鏡信号（３２）を検出するように構成されたダウンコンバージョン検出器（１４）と、ダウンコンバージョン検出器に隣接し、電子顕微鏡信号を検出するように構成された直接衝撃検出器（１６）と、ダウンコンバージョン検出器および直接衝撃検出器を電子顕微鏡信号に選択的に暴露する機構（１８）とを有する。また、装置を使用する方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、荷電粒子線を試料へ照射して画像を得る装置において、特にビーム傾斜時のように、垂直ビームとは異なる条件にてビーム条件を調整するのに好適なビーム条件調整方法、及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】荷電粒子線を傾斜して照射する場合に、複数方向の非点補正強度を調整可能な非点補正器について、複数方向の調整強度の組み合わせ毎に評価値を求め、評価値の高い調整強度の組み合わせに基づいて、非点補正器の調整強度の組み合わせを決定する方法、及び装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】左右視差角分のビーム傾斜により得られる画像から立体画像（ステレオ画像）を構築する走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
試料に入射する荷電粒子線を左右視差角分に相当する傾斜角に設定する。この構成に、1ライン単位で視差角分のビーム傾斜走査を実行する制御部を設けて、左右の傾斜ビームで試料上を走査し、画像を取得する。また、レンズの振り戻し作用を利用した複数段レンズの光学系で総合的に相殺させる手段と、視差角ビーム制御を組合せることにより、分解能劣化を抑えた立体画像を実時間(リアルタイム)に表示する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、測定倍率や試料に依存しないで、また、できる限り照射ビームを少なくして試料損傷低減を図り、自動的に非点収差補正を行うことができる電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、電子顕微鏡により画像を取得し（第１の画像）、第１の画像を基に倍率や試料によって設定する微小量（例えば０.０１〜１０pixel程度）だけ移動した画像を生成し（第２の画像）、第１の画像と第２の画像との相互相関処理を行い、微小量の移動する方向を変化して得られる相互相関値を変数として、第１の画像が有する非点収差の方向とその量を導出することに関する。本発明によると、基本的には電子顕微鏡で撮像する画像は一枚で済む為、試料損傷低減が図れ、また、短時間で処理できる。 （もっと読む）

【課題】収差補正器の機械的構造が予め決っていたとしてもコマフリー面転写部の設計の自由度を保証し、補正器外部との柔軟な調整マージンを有する収差補正器を提供する。
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明による収差補正器は、試料面（対物レンズ物面）から発する電子線軌道を、多極子レンズ（ＨＥＸ１＿１８）に平行入射させ、対物レンズコマフリー面又は５次収差最小面（対物レンズの中心）から発する電子線軌道を、４ｆシステムの多極子レンズ中心面に結像させるようにしている。これにより、４ｆシステムで球面収補正を行うよう２つの多極子レンズ（ＨＥＸ１＿１８、ＨＥＸ２＿１９）間で反対称な転写を行い、コマ収差又は５次収差の発生を抑制するためのコマフリー又は５次収差最小面の転写を行っている。 （もっと読む）

【課題】本発明は収差補正集束イオンビーム装置に関し、色収差拡大時にエミッション電流の変動を抑制することができる収差補正集束イオンビーム装置を提供することを目的としている。
【解決手段】正の加速電圧が印加されているイオン源１５と、加速電圧よりも低い電位が印加されている引出電極４と、引き出されたイオンビームの開き角を制御する開き角制御レンズと、色収差や球面収差等を補正するための収差補正装置と、イオンビームを試料上に集束するための対物レンズを備えた収差補正集束イオンビーム装置において、加速電圧の変化に伴いイオン源１５と引出電極４間の電圧を一定にするように、又は少なくとも加速電圧を変化させた場合よりもイオン源１５と引出電極４間の電圧変化が小さくなる方向に加速電圧と引出電圧の２電圧を同時に変化させ、色収差を拡大させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】長焦点用収差補正機能と短焦点用収差補正機能の両方の機能を実現できる収差補正の構成を提供する。
【解決手段】２つの多極子レンズの間に２つの回転対称レンズを配置するという従来の収差補正装置の構成を有しつつ、対物レンズと多極子レンズの間には従来２つの回転対称レンズを配置していたものを３つの回転対称レンズを配置する。対物レンズの焦点距離が長い状態で使用する場合は対物レンズと多極子レンズの間に配置した３つの回転対称レンズのうち、２つを使用することで収差を補正する。また、高分解能観察など、対物レンズの焦点距離が短い状態で使用する場合には対物レンズと多極子レンズの間の３つの回転対称レンズのうち、長焦点の場合とは異なる組み合わせの２つの回転対称レンズを使用することで収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】デフォーカス及び非点収差を観察中に補正可能で、且つ原子分解能が得られる走査型透過電子顕微鏡の収差補正装置及び収差補正方法を提供する。
【解決手段】走査型透過電子顕微鏡に備えられた複数の電子光学系のうち少なくとも1つの設定値を変えることによって得られる、少なくとも２枚の画像のそれぞれに対する自己相関関数を算出する自己相関関数算出手段４０と、各前記自己相関関数の等強度線に収差関数をフィッティングし、得られた各前記収差関数に基づいて収差係数を算出する収差係数算出手段４１と、前記収差係数に基づいて前記電子光学系へのフィードバック制御を行うフィードバック制御手段４２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 物点に対して偏向コイル3により入射ビームを傾斜させ，1枚の画像からビーム傾斜時のデフォーカス量と非点量を高速に測定し，得られた結果を最小二乗フィッティングすることで，ビーム傾斜前の収差係数の絶対値を求め、収差補正器の調整をする。 （もっと読む）

【課題】当該発明は、像の質を改善するための補正器（３３０）及びコントラストを改善するための位相板（３４０）を備えたＴＥＭに関係する。
【解決手段】改善されたＴＥＭは、対物系のレンズ及び位相板の間に完全に置かれた補正系を具備すると共に、位相板における回折平面の拡大された像を形成するために補正器のレンズを使用する。 （もっと読む）