【課題】本発明は荷電粒子ビームにおける軌道補正法に係わり、従来の収差補正システムの問題を解決し低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作り、ビーム軌道を斜入射させてレンズ作用を利用して曲線軌道とし、その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。またビーム入射軸や結像位置は通常のレンズ・偏向器で操作することで実現できる。 （もっと読む）

【課題】さらに高次の妨害収差を導入することなく３次の非点収差を除去する。
【解決手段】本発明は、粒子−光学式システムの軸上及び軸外ビーム経路のための補正器に関し、当該補正器は、光軸上のビーム経路に、一方が他方の後方に配置された第１及び第２の補正部を備え、各補正部は、中央平面に関して対称に且つ以下のフィールドを伴って配置された四つの連続する多極子要素をそれぞれ備え、多極子要素のうち、第１及び第４の多極子要素は、４極子フィールドを発生させるために用いられ、第２及び第３の多極子要素は、８極子フィールド及び４極子フィールドを発生させるために用いられ、後者は重畳された磁気及び電気フィールドであり、全四つの多極子要素の４極子フィールドは互いに９０°回転させられている。
【効果】本発明に従い、中央平面に配置された中央多極子要素が８極子フィールドを発生させることにより、３次の非点収差が補正され得る。 （もっと読む）

【課題】試料に対してビームを傾斜しても分解能低下の少ない荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】複数のレンズ６，７に対して一次ビーム４の軌道を軸外に通し、その軸外軌道を制御することにより、ビーム傾斜時に対物レンズ７で発生する収差を他のレンズ６の収差でキャンセルする手段を備え、対物レンズを含む複数のレンズの励磁を同時に変調する手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は焦点補正と非点補正を短時間で効率よく行なうことを目的としている。
【解決手段】試料を走査して電子検出器で電子顕微鏡像を取得する第１の工程と、取得された画像に対して所定の角度方向に対する画像積算値を角度毎に求める第２の工程と、得られた画像積算値の標準偏差を求める第３の工程と、対物レンズの励磁を所定量変更して焦点距離を変更する第４の工程と、画像を指定枚数取得したかどうかをチェックする第５の工程と、を有し、画像を指定枚数取得していない場合には第１のステップに戻り、画像を指定枚数取得した場合には、前記画像積算値の極大値を焦点条件に対してプロットする第６の工程と、前記第６の工程で得られた標準偏差のプロットから各角度に対する前記極大値を極座標とする楕円を求め、該楕円から焦点及び非点補正値を求める第７の工程と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差を小さくして、高スループットで試料の評価を行う。
【解決手段】電子銃１-1から放出された電子ビームが１次電子光学系を介して試料７-1上に照射され、それにより試料から放出された電子が２次電子光学系を介して検出器１２-1において検出される。軸上色収差補正用の多極子レンズからなり、２回結像するウィーンフィルタ８-1が、２次電子光学系の拡大レンズ１０-1と１次電子ビーム及び２次電子ビームを分離するビーム分離器５-1との間に配置され、対物レンズ１４-1で生じた軸上色収差を、ウィーンフィルタ８-1で補正する。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡または走査透過型電子顕微鏡における色収差および開口収差を除去する。
【解決手段】光路（９）に連続的に配置された４つの多極子要素を備え、第１の多極子要素（１）および第４の多極子要素（４）は４極子フィールド（５，６）を作るために使用され、第２の（２）および第３の多極子要素（３）は８極子磁場フィールド（７，８）および４極子フィールドを作るために使用され、前記全４つの多極子要素の４極子フィールドは連続的に互いに９０°回転しており、
第２（２）および第３の多極子要素（３）は、１２極子フィールド（２５，２６）を使用して、１２極子要素として設計され、追加の１２極子要素（１３）が、第２の（２）と第３の多極子要素（３）との間に挿入され、かつ、追加の１２極子要素（１３）には、８極子フィールド（１４）が１２極子フィールド（１５）によって重畳される。 （もっと読む）

【課題】非対称な高次の収差を発生させずに色収差，球面収差を補正することのできる荷電粒子ビーム反射装置と電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】直線光軸上１０Ａに所定間隔を隔てて配置されるとともに、電子銃１１から直線光軸上１０Ａに沿って放射された荷電粒子ビームを通過させる通過穴２１ａ，２２ａを有し、印加電圧に応じて荷電粒子ビームを反射させたり、通過穴２１ａ，２２ａを通過させたりする機能を有する少なくとも２つの静電ミラー２１，２２と、この２つの静電ミラー２１，２２に印加する電圧を制御する制御装置３０とを備え、この制御装置３０は、反射機能を与える反射電圧を静電ミラー２１，２２にそれぞれ所定のタイミングで印加し、電子銃１１からの荷電粒子ビームを静電ミラー２１，２２の間で複数回反射させる。 （もっと読む）

【課題】特にアライメント補正用のパターンを備えた試料でなくても、自動的にアライメント補正が行える場合にはアライメント補正を自動的に行えるようにする。
【解決手段】電子線装置の補正に際して、対物レンズの励磁状態に対応した複数のパターン像データを取得するパターン像データ取得ステップ（ＳＴ１１）と、観察領域のシフト量を求めるシフト量取得ステップとパターン像データが前記観察領域でレンズアライメントの補正に適しているかを判定する補正適否判定ステップ（ＳＴ１３，１６）と、前記シフト量取得ステップで求めたシフト量に基づいてレンズアライメント補正を実行する必要があるかどうかを判定する補正実行判定ステップと（ＳＴ１８）、前記シフト量からアライメント補正量を求める補正量算出ステップ（ＳＴ１９）と、前記アライメント補正量に基づいてアライメント補正を行うアライメント補正ステップ（ＳＴ２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】大きな収差係数を有する軸対称レンズの球面収差を打ち消す球面収差補正レンズ系および球面収差ゼロの軸対称プローブ形成レンズを提供する。
【解決手段】荷電粒子光学レンズ系は、４段の四極子レンズと、３つの開口電極から構成される。八極子レンズ作用を誘起する開口電極は、1段目と2段の間、２段目と３段目の間および３段目と４段目の間に配置する。四極子レンズの励起制御は、XZ面で凹凸凹凸レンズ作用、YZ面で凸凹凸凹レンズ作用を発現するように作動させ、YZ面の荷電粒子軌道が２段目と３段目の四極子レンズの間で一度光軸に交差し、かつ、荷電粒子レンズ系が軸対称レンズ条件を満たすように最終段の四極子レンズの後方でXZ面とYZ面の荷電粒子軌道が軸と交差するように個々の四極子レンズレンズの励起強度を調整する。 （もっと読む）

【課題】負の球面収差を生じさせ、且つ高次の収差を補正する電子顕微鏡用の収差補正装置を提供する。
【解決手段】光軸に対してそれぞれが三回対称場を生じる三段の多極子２１、２２、２３を備え、中段の多極子２２は、光軸に垂直な面内において三回対称場を生じさせ、後段の多極子２３は、光軸に垂直な面内において三回対称場を生じさせ、どの二段の多極子同士も三回場を打ち消す方向に配置されていないが、三段では三回非点を打ち消すように配置させる。 （もっと読む）