【課題】電子顕微鏡本体に付属するコンピュータなどを直接ネットワークに接続することなく、電子顕微鏡の画像を遠隔地に表示可能な電子顕微鏡遠隔表示装置を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡１２の画像表示部１６ａに表示される画像データをキャプチャ可能なキャプチャ手段１８を備えたキャプチャ部２０と、キャプチャ部２０にネットワーク２６を介して接続され、キャプチャ手段１８によってキャプチャされた画像データを表示可能な遠隔画像表示手段２２ａを備えた遠隔表示部２２とを備えた電子顕微鏡遠隔表示装置１０である。 （もっと読む）

【課題】電子線を走査して試料を観察するにあたって、高い分解能を有するとともに、電子線の走査に要する時間を短くできる試料観察装置を提供する。
【解決手段】ステージに載置された試料ＳＭに電子線ＩＢを照射して、試料ＳＭからの電子線を検出することにより試料を観察する電子線検査装置に於いて、１つの電子筒体５０は、試料ＳＭに照射される複数の電子線ＩＢ及び試料ＳＭからの電子線が通る電子線路を形成する複数の電子線照射検出系により構成される。ここで、複数の電子線照射検出系を同時に用いることで、検査の高速化を実現する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置の制御回路と制御対象機器との間で偏向信号及び検出信号に対するノイズが生じる。一方で、ノイズ対策のために制御回路と制御対象機器とを接続するケーブルを短くすると試料室内部のメンテナンスが困難になる。本発明の目的は、メンテナンス性を損なうことなく、ノイズの影響を低減した高画質の画像が得られる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】荷電粒子線を試料に照射するカラムと、前記カラムの内部の機器を制御する制御ユニットと、前記制御ユニットを移動させる移動機構とを備えることを特徴とする。制御ユニットを荷電粒子線照射による画像取得時にはカラムの近傍に配置し、保守時にはカラムから離れるように移動可能にする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程におけるプロセスマージン評価において、人手による作業負担を軽減すること。
【解決手段】ウェーハ上の観察対象の画像から得られた情報に基づいて前記観察対象の良否を自動的に判定し、判定結果を画面に表示するステップ４０２、観察対象の良否をユーザの指示に基づき修正することが必要な観察対象を判定結果の中から抽出して表示するステップ４０３、抽出して表示された観察対象に対する判定結果をユーザの指示に基づき修正する処理するステップ４０４を実行する。 （もっと読む）

【課題】近年、走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置はユーザの裾野が広がっている。そのユーザの誰もが手動調整技術を習得することが求められているが、観察のためのパラメータ全てを適切な値に調整することは非常に困難である。このため初心者にとっては装置の性能を十分に発揮させることが難しかった。本発明は誰もが容易に手動調整技術を習得するためのパラメータ調整練習機能を備えた荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記課題を解決するため、フォーカス調整および非点調整の練習手段を設ける。ユーザの操作に応じて対物レンズのフォーカス条件とＸ方向非点補正器とＹ方向非点補正器の制御条件を設定し、設定されたフォーカス条件とＸ方向非点補正条件とＹ方向非点補正条件の組に応じて、当該制御条件に対応した練習用画像を記憶装置から読み出し、画面に表示することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
ＳＥＭを用いて試料を撮像するための撮像レシピの自動生成において、（１）検査を要する箇所が増大すると，撮像レシピの生成に膨大な労力と時間を要する。（２）生成された撮像レシピの正確さ，そして生成時間が問題となる。（３）作成時に予想できなかった現象により，作成した撮像レシピによる撮像あるいは処理が失敗する場合がある。
【解決手段】
試料上の複数の評価ポイントの座標を入力するステップと、撮像時のスループットに基づき該複数の評価ポイントを撮像するための撮像シーケンスを決定するステップと、を有する撮像方法である。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡装置を操作するための使用しやすいユーザ・インタフェースを提供すること。
【解決手段】低倍率基準画像と高倍率画像とを同一スクリーン上で組み合わせて、電子顕微鏡の高倍率画像に慣れていないユーザが、サンプル上のどこで画像が得られているかを容易に判断し、その画像とサンプルの残りとの関係を理解できるようにする走査型電子顕微鏡装置を操作するためのユーザ・インタフェース。タッチ・スクリーンを介してユーザが指示を入力することにより、電子画像の視野を変えてサンプルの異なる画像を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、異なる種類の複数の検出器を有した走査電子顕微鏡において、任意の観察条件で操作者が所望する観察画像を容易に取得する手段を提供することにある。
【解決手段】前記目的を達成するために、任意の観察条件を連続的に変化させながら画像をリアルタイムに表示させ、操作者はリアルタイムに表示される画像から、最適と感じる画像を選択することで容易に画像を取得することができる。観察条件には、ワーキングディスタンス，真空度，複数に分割された反射電子検出素子の検出信号の加減算操作、低真空二次電子検出器のバイアス電極に印加する電圧、ミキシング画像を表示する際の信号の混合比がある。 （もっと読む）

【課題】傾斜した試料の表面をチルトビームおよび左右視差角像で、焦点を連続的に補正しながら観察する際に、発生する視野ずれを抑制することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 試料１０表面に一次荷電粒子線の焦点を結ばせる対物レンズ７と一次荷電粒子線をチルトさせる傾斜角制御用偏向器５３の中間に、視野補正用アライナー５４を設置し、傾斜角制御用偏向器５３のチルト角、レンズ条件、対物レンズ７と試料１０までの距離からもとまる補正量にて、一次荷電粒子線のチルト時に発生する視野ずれを、対物レンズ７の焦点補正に連動して補正する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置には、様々な画像データが大量に発生する。このため、これら画像データの管理の効率化が望まれる。
【解決手段】荷電粒子線装置で取得される画像データと共に生成される属性データに着目し、当該属性データの内容と一対の関係を有するディレクトリ階層を有する所定のフォルダで画像データを管理する。 （もっと読む）