本発明は、放射線検出器用の低干渉センサヘッド（３０）及び低干渉センサヘッドを備えた放射線検出器に関する。本発明の放射線検出器は、好ましくは、Ｘ線検出器である。本発明はまた、低干渉センサヘッドの使用又は荷電粒子のための光学系を用いた顕微鏡検査法における放射線分析、特に（エネルギー分散）Ｘ線分析のための放射線検出器、特にＸ線検出器の使用に関する。
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【課題】 電子線照射により試料から発生するＸ線を検出する分析方法において、試料が電子線照射により損傷を受ける前に測定を自動的に停止させる。
【解決手段】 電子線照射により試料から発生したＸ線、二次電子等をそれぞれＸ線検出器２４、電子検出器２３で検出し経過時間情報、座標位置とともに時系列的に組み合わせた時系列データとして記憶部３４に格納する。測定しながら、測定開始から一定の時間間隔で記憶部３４からＸ線信号を抽出しＸ線スペクトルを再生する。スペクトル全体又は任意に指定したエネルギー範囲のＸ線強度の時間経過に伴う変動をモニタし、異常を検知したら手動又は自動的に測定を中止する。 （もっと読む）

【課題】検出能力が向上したＸ線検出器を提供すること。
【解決手段】試料室内に環状に配置された複数の検出器が大きな捕集立体角を提供する。これらの検出器は、検出器の表面での氷の形成を低減させるシャッタおよびコールド・シールドを含むことが好ましい。サンプルを取り囲む検出器を提供することによって、検出を向上させる大きな立体角が提供され、サンプルの傾斜方向にかかわらずＸ線が検出される。 （もっと読む）

【課題】コストを上昇させることがなく，且つ高速の振動にも追従することが可能な制振機能に優れたビーム照射装置を提供すること。
【解決手段】加速器より射出されるイオンビーム若しくは電子ビームを，電界及び／若しくは磁界による質量分離装置及びビーム収束装置を備えたビームラインを経てチャンバ中の試料に入射するビーム照射装置に関する発明であり，前記ビームライン中を通過するビームの前記試料に対する振れを直接または間接的に検出し，検出されたビームの試料に対する振れに基づいて振れを消去するように質量分離装置及び／若しくはビーム収束装置を制御するビーム照射装置。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡の超微小焦点より発生するＸ線を用いて、Ｘ線拡大撮影を行うこと。
【解決手段】 電子顕微鏡で用いられる電子線の超微小焦点の位置に、台形の金属ターゲットを設置し、加速された電子をターゲットにあてることにより、発生する制動Ｘ線を、電子顕微鏡の加速筒（鏡筒）と直角方向に置かれたアダプター内に導き、ターゲットの近傍に設置された試料に当てる。透過したＸ線は、ターゲットから遠くに置かれたＸ線検出器によって拡大画像を得る。照射する電子線の焦点のターゲット上の位置を変えることにより、観察する試料部位と拡大率を決める。 （もっと読む）

【課題】中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器を提供する。
【解決手段】本発明による中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器は、イオンを発生させるイオン源１０と、イオンを平行ビームとするコリメータ（collimator）２０と、平行ビームを加速する加速器３０と、加速されたイオンビームをパルス化するイオンビームパルス発生器４０と、パルス化されたイオンビームを試片１に集束させる集束対物レンズ５０と、集束されたイオンビームが試片１で散乱されたイオンビームパルスの分光信号を検出する検出器６０と、検出器６０により検出された分光信号を分析処理するデータ分析器７０と、を含んで構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多価イオンを用いて、試料表面の分析を高精度で短時間に行うことができる表面分析装置を提供する。
【解決手段】表面分析装置１は、試料５を搭載する試料台６と、試料台６に搭載した試料５に価数が１５以上の多価イオンビーム４を照射する多価イオン発生源３と、試料５に多価イオンビーム４を照射することにより生じる二次イオン７を検出する質量分析部８と、試料５に多価イオンビーム４を照射することにより生じる二次電子９を検出する二次電子検出部１０と、二次電子検出部１０からの二次電子検出信号を受け分析開始信号を生成し質量分析部へ送信する質量分析制御部１２を、備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】元素像を生成する機能を有する電子顕微鏡において、高Ｓ／Ｎかつ高空間分解能の弾性散乱電子像や特性Ｘ線による元素像や電子線エネルギー分光による元素像を測定できるようにする。
【解決手段】分析対象試料を透過した弾性散乱電子の検出と同時に連続して、特性Ｘ線信号と電子線エネルギー損失スペクトルの測定、あるいは観察元素のコアロスを含む複数のエネルギーフィルタ信号を測定し、連続観察した弾性散乱電子像を基にした位置ずれを補正しながら、特性Ｘ線や電子線エネルギー分光による元素像を積算する。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、液体金属イオン源、二次質量分析計、および対応する分析方法、ならびにこれらの利用に関する。特に、ジェントルＳＩＭＳ（Ｇ−ＳＩＭＳ）法に基づく質量分析方法に関する。
上記の目的を実現するべく、原子量が１９０Ｕ以上の第１の金属と、原子量が９０Ｕ以下の第２の金属とを有する液体金属イオン源を利用する。
本発明によれば、Ｇ−ＳＩＭＳ法に基づき、一次イオンビームから２つの種類のイオンのうち一方を交互にフィルタリングで取り出し、質量高純度一次イオンビームとしてターゲットに当てる。 （もっと読む）

高透過およびエネルギー分解能を同時に可能にする荷電粒子エネルギー分析計が記載されている。この分析計は、内側電極表面および外側電極表面（ＩＳ、ＯＳ）それぞれを有する同軸の内側電極および外側電極（１４、１５）を含む電極構造（１１）を有する。この内側電極表面および外側電極表面は、電極構造（１１）の縦軸に対称に直交する子午表面を有する回転楕円体の表面によって、少なくとも部分的に画定されている。内側電極表面および外側電極表面は、それぞれ異なる半径Ｒ_２およびＲ_１（Ｒ_２はＲ_１より大きい。）を有する２つの非同心円の弧の縦軸回りの回転により生成される。それぞれの子午面における縦軸からの外側電極表面の距離は、Ｒ_0１であり、そしてそれぞれの平面における縦軸からの内側電極表面の距離は、Ｒ_０２およびＲ_１、Ｒ_２、Ｒ_０１であり、そしてＲ_０２は、規定された関係を有する。
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