【課題】 コンパクトな光学系で高分解能なＸ線分光器を備えた電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子（１２）が配置されるとともに、端部にＸ線検出器（１４）が取り付けられた分光室を有するＸ線分光器（１０）をゲートバルブ（４）を介して電子顕微鏡の側壁に取り付けたものであって、電子線が照射された試料から放出される特性Ｘ線を不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折Ｘ線をＸ線検出器で検出するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】取付位置の制約の大きいＷＤＸを備える電子顕微鏡としても、搭載できる試料のサイズや試料の移動範囲および観察範囲の大きい電子顕微鏡としても利用できる電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明による電子顕微鏡では、試料室８の一部にアダプタ取り付け用の開口部１４を設け、ＷＤＸ１１を備える電子顕微鏡として利用する場合には、当該開口部１４に、試料３に対するＸ線取出し角を常に一定に保ち、ローランド円Ｘを満足する位置に試料３とＷＤＸ１１を配置することができる、ＷＤＸを取付可能なフランジを備えるアダプタ１２を取り付ける。試料３のサイズや試料３の移動範囲および観察範囲の大きい電子顕微鏡として利用する場合は、試料室８の一部を構成し、試料室８の空間を大きくし、搭載できる試料のサイズや試料の移動範囲および観察範囲を大きくすることができるアダプタ１３を取り付ける。これにより試料室８そのものを交換しなくても容易に試料室８の形状を変更できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 収差補正カソード・レンズ顕微鏡機器を提供すること。
【解決手段】 収差補正顕微鏡機器が提供される。機器は、第１の非分散電子回折パターンを受け取るように配置された第１の磁気偏向器を有する。第１の磁気偏向器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に第１のエネルギー分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に配置された静電レンズ、並びに、第１の磁気偏向器と実質的に同一の第２の磁気偏向器を有する。第２の磁気偏向器は、静電レンズからの第１のエネルギー分散電子回折パターンを受け取るように配置される。第２の磁気偏向器はまた、第２の磁気偏向器の第１の出射面に第２の非分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器は、１つ又は複数の収差を補正するように構成された電子鏡も有する。電子鏡は、第２の磁気偏向器の第２の出射面に第２のエネルギー分散電子回折パターンを投射するために第２の非分散電子回折パターンを第２の磁気偏向器へ反射するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 超高分解能で且つ非常に短時間での非破壊検査が可能であると共に、ターゲット切替機能、高精度の電子プローブ制御機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの優れた機能を搭載したＸ線顕微検査装置を提供する。
【解決手段】 電子銃の電子発生部の近傍に磁界発生部が配置された磁界重畳レンズと、異なる波長のＸ線を発生する複数のＸ線発生用ターゲットとを具備し、検査目的に応じて前記Ｘ線発生用ターゲットを切替えて当該波長の特性Ｘ線を発生できるように構成する。更に、電子プローブ制御機能、電子線軸合わせ機能、ＣＴ機能、元素分析機能などの機能を搭載する。 （もっと読む）

【課題】固体表面の化学状態を分析するオージェ電子分光分析装置のオージェ電子分光分析法の感度係数測定方法に関する。
【解決手段】
電子線を走査し、試料表面から放出されるオージェ電子を検出するオージェ電子分光分析装置で、試料表面から検出される複数の元素の強度から該試料表面の元素濃度を得るための各元素間の感度係数を求める感度係数測定方法であって、以下の工程からなることを特徴とするオージェ電子分光分析法の感度係数測定方法である。
１）前記電子線の走査範囲に単元素からなる固体材料を２種以上配置する工程、
２）該走査範囲におけるスペクトル測定し、前記固体材料を構成する元素の強度を得る工程、
３）走査範囲における前記固体材料の面積比を得る工程、
４）前記スペクトル測定から得た元素の強度と前記固体材料の面積比から、前記各元素間の感度因子を求める工程。 （もっと読む）

イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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【課題】荷電粒子ビームの軌道の調整作業を容易化して調整精度を向上させることができる軌道位置ずれ検出装置，組成分析装置及び荷電粒子ビームの軌道調整方法を提供すること。また，エネルギー分解能や散乱粒子の取得効率を容易に変更することができる組成分析装置を提供すること。
【解決手段】絞り部３１と超音波モータ３２と駆動軸３３とを備えて構成された開口状態変更装置３０により，基準ビーム軸上の所定の位置に配置され荷電粒子ビームを通過させる開口部３１ａの開口径（開口状態）を変更可能とする。
また，上記開口部３１ａを通過した或いは該開口部３１ａから外れた上記荷電粒子ビームの強度を測定し，該荷電粒子ビームの強度に基づいて上記荷電粒子ビームの軌道と上記基準ビーム軸との位置ずれの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】
集束イオンビーム形成装置において、加速器と集束レンズ系を一体化とすることにより小型化を実現するとともに、加速器の加速管も集束レンズ系の一部とすることで装置全体の縮小率も最大化することで、ナノビームを形成する。
【解決手段】
加速器が、折り返し型タンデム加速器であるため、高電圧ターミナル部に１８０°分析電磁石を置き、高エネルギー側の加速管の入口部にエネルギー分析及び発散制限スリット機能を有するスリットを設置し、再度、単孔レンズ効果を有する加速管によりビームを加速するとともに、集束を行い、ＭｅＶ領域高エネルギーイオンナノビームを形成する。 （もっと読む）

【課題】レンズの個数を増やさずに焦点距離を長く設定することができる電子ビーム制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 集束レンズ１４と絞りレンズ１５との間にはクロスオーバを形成せずに、絞りレンズ１５と対物レンズ１６との間にクロスオーバＣを形成するビームモードを採用する。集束レンズ１４と絞りレンズ１５との間にはクロスオーバを形成しないので、アパーチャ１５ａの絞りによる絞りレンズ１５の焦点距離を長く設定することができる。したがって、弱い励起強度で用いることが可能となる。また、絞りレンズ１５と対物レンズ１６との間にクロスオーバＣを形成するので、絞りレンズ１５を縮小モードで使用することになる。したがって、レンズの個数を増やして縮小率を確保せずとも、縮小モードによって十分な総合レンズの縮小率を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析装置を備える電子顕微鏡において専門的な知識や能力がなくても試料の観察および分析において精度の高い結果を得ることができるようにする。
【解決手段】 ＳＥＭハードウェア１と、Ｘ線検出器およびエネルギー分散型Ｘ線分析装置で構成されるＥＤＸハードウェア２とを制御するコンピュータ３に、ＳＥＭ制御データ８,７１の通信を高速化し、ＥＤＸ側の測定結果をフィードバックしてＳＥＭ側の条件をリアルタイムに制御するデータ共有オブジェクト７を追加して、ＳＥＭアプリケーション５を介さずに、ＳＥＭ制御データ８,７１を直接ＥＤＸアプリケーション６へ送信する構成とした。 （もっと読む）