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国際特許分類[H01J37/252]の内容

電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 電子管または放電ランプ (32,215) | 放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの (7,637) | 電子またはイオンによるスポット分析のための管;マイクロアナライザー (90)

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【課題】極微量の欠陥や不純物から、高い輝度のCL信号を得、大電流まで制御可能な電子ビームを発生させる電子銃を提供する。
【解決手段】カソードルミネッセンス検出装置の電子ビーム照射系で使用される電子銃であって、6桁のダイナミックレンジを持つ電子ビーム電流制御(6×10-7マイクロアンペア〜400 マイクロアンペア 以上)及び3桁のダイナミックレンジを有する電子ビームスポット径制御(0.016 マイクロメートル〜100 マイクロメートル 以上)である複数の電子銃を用意し、それぞれの熱電子銃を切り替えて活用するためのハイブリッド接続できる離脱着機構を導入したことを特徴とするカソードルミネッセンス検出装置のための電子銃。 (もっと読む)


【課題】
簡単な構成でありながら、エネルギ線の照射位置と集光ミラー部の焦点との位置調節を容易にすること及び振動などによる集光ミラー部の位置ずれを防ぐことである。
【解決手段】
エネルギ線EBを試料Wに照射することにより生じる光を測定する試料測定装置1であって、エネルギ線EBを収束させる鏡筒部23と、前記鏡筒部23及び前記試料Wの間に設けられ、前記鏡筒部23で収束されたエネルギ線EBを通過させ、そのエネルギ線EBを試料Wに照射するためのエネルギ線通路312と、その通路312の軸線上に焦点Fが設定されたミラー面311と、を有し、試料Wから生じる光Lを前記ミラー面311により集光する集光ミラー部31と、を備え、前記エネルギ線EBの軸と前記焦点Fとを一致させるように、前記鏡筒部23に前記集光ミラー部31を支持させている。 (もっと読む)


【課題】 ヨハンソン型X線分光器を用いた既存の波長分散型X線分析装置に対し、簡単な改造で以て検出感度及び波長分解能を改善させる。
【解決手段】 ローランド円5上に配置された湾曲結晶を平板結晶6に置き換え、試料2と平板結晶6との間に、入射端面側で点焦点を有し出射端面側で平行線束を出射する点/平行型のマルチキャピラリX線レンズ4を介挿する。電子線の照射に応じて試料2上の微小領域3から放出された固有X線をX線レンズ4で効率良く収集して平行線束に変換し、平板結晶6により同一波長のX線が平行線束となるように回折してX線検出器8により検出する。波長走査は、微小領域3を固定し、平板結晶6及びX線検出器8をローランド円5に沿って移動させる従来の機構をそのまま利用すればよい。 (もっと読む)


【課題】 試料に照射されるときの電子ビームの開き角をより正確に制御することができる電子ビーム制御方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 動作曲線は、総合レンズ倍率Mおよび開き角αの相関関係を規定する曲線である。したがって、このような動作曲線に基づいて各レンズの励起強度NIcl,NIirisを操作すれば、従来のように試料に照射されるときのビーム電流値や電子ビームの輝度を直接的に求めなくても、最適な開き角を実現することができる。その結果、試料に照射されるときの電子ビームの開き角をより正確に制御することができる。 (もっと読む)


【課題】 EPMA等、試料上の微小領域から発生するX線を分光分析する装置におけるエネルギー分解能を向上させる。
【解決手段】電子線の照射によりX線を放出する微小領域2に入射側端面の点焦点を合わせたマルチキャピラリX線レンズ6によりX線を効率良く収集し、平行光化して四結晶型分光器30に導入する。四結晶型分光器30はそれぞれ2枚の平行な単結晶を有するチャンネルカット結晶40、41を2個含み、入射されたX線を高精度で分光し、入射X線と平行な方向に出射する。マルチキャピラリX線レンズ6からの出射X線は若干の広がりを有しているが、四結晶型分光器30はその入射X線の広がり角の影響を受けることなく高い波長分解能で以てX線を分光する。そのため、高いエネルギー分解能と高い分光強度とを達成できる。 (もっと読む)


【課題】 磁場の発生領域(平行磁場領域)内に設置された試料に対してイオンビームを照射する際に,前記試料の測定部に対して前記イオンビームを十分に収束させた上で照射することにより,前記照射半径を小さくすることが可能な散乱イオン測定装置,散乱イオン測定方法を提供すること。
【解決手段】 イオンビーム2の進行方向に沿って複数の収束電磁石7を配列し,前記平行磁場領域の境界面状において前記イオンビーム2を収束させる。これにより,前記平行磁場領域には前記イオンビーム2の再収束点が形成されるので,試料1をその測定部が前記再収束点と一致するように配置する。 (もっと読む)


【課題】
同心円筒鏡型のエネルギー分光器を有するオージェ電子分光分析装置を用いた固体表面の化学状態を分析法において、運動エネルギーの高い成分の検出する分解能を向上させる装置及び方法を提供することである。より具体的には、CMA型のAES装置を用いて、運動エネルギーの高いオージェ電子を測定する際に、運動エネルギーの低いオージェ電子を測定したときと同程度の分解能を備えた分析方法及び分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
測定中の試料に、グランドに対して正のバイアス電圧を印加したところ、試料から検出されたオージェ電子の運動エネルギーが、負の方向に平行移動したように減少した。このため、従来運動エネルギーの高いオージェ電子を検出する成分においても、運動エネルギーの低い領域でオージェ電子が検出することができた。 (もっと読む)


【課題】 ウィーンフィルタの持つ収差補正の特性を十分に生かし、アナライザで損失する電子を低減して感度の低下を抑えることができるウィーンフィルタ型アナライザの提供を目的とする。
【解決手段】 ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、電極13とヨークレスコイル14による磁極を12極にしている。このため、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、2次収差、3次の開口収差までを消去できるような電場Eと磁場Bを発生することができるようになった。ヨークレスコイル14は、磁極をコイルのみに置き換えたものであり、コイル受け台15上に配設されている。磁極をヨークレスコイルに置き換えたことにより、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、アナライザの内径を大きくすることができ、感度を向上させることができた。また、磁性体を用いていないため、磁性体のヒステリシスを考慮しなくて良く、再現性の良い磁場を得ることができた。 (もっと読む)


【課題】 電子励起によるX線分析において、所望の分析感度に対する最適な分析条件を簡単かつ精度良く与える。
【解決手段】 装置の加速電圧に対して、X線分光器感度のデータ、照射電流と電子線径との関係データ、X線発生領域の広がりDxのデータを予めデータベース18に準備する。分析対象元素と所望のX線強度を入力装置19から入力すると、指定された特性X線種に応じてデータベース18から必要なデータが読み込まれ、計算手段17cにより所望のX線強度に対応する加速電圧と照射電流Ipxが求められ、計算手段dによってIpxに対応する最小電子線径Dpxが求められ、計算手段17eによってDpxとX線発生領域の広がりDxの加算値(Dpx+Dx)が求められ、決定手段17fによって(Dpx+Dx)の最小値を与える加速電圧と照射電流の組み合わせが求められる。これにより、所望の分析感度に対する最適分析条件が精度良く簡易に決定される。 (もっと読む)


【課題】 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で絶縁された導電体試料の分析・評価を高感度・高精度に行うことができる新規な元素分析・評価方法とその装置を提供する。
【解決手段】 2から100keVの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素及び重元素の少なくともいずれかの元素を含む絶縁された導電体試料3へ照射することにより、導電体試料3中に含まれる軽元素又は重元素から4keV以下の低エネルギー特性X線を発生させ、発生した特性X線を検出することにより導電体試料3中に含まれる軽元素又は重元素の分析・評価を行うこととする。 (もっと読む)


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