【課題】透過電子顕微鏡像の観察時に試料が受ける磁場の影響を低減することができる透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡１００は、電子線源２と、照射レンズ４と、対物レンズ６と、第２対物レンズ８と、制限視野絞り１６と、投影レンズ１０と、検出器１２と、少なくとも照射レンズ４、第２対物レンズ８、および投影レンズ１０を制御する制御部と、を含み、第１面１７は、第２対物レンズ８と投影レンズ１０との間に位置し、制御部２２は、試料Ｓに電子線Ｌが照射されるように照射レンズ４を制御し、試料Ｓの回折パターンが第１面１７に結像されるように第２対物レンズ８を制御し、第２対物レンズ８で結像された試料Ｓの透過電子顕微鏡像が第２面（受光部１３）に結像されるように投影レンズ１０を制御する第１処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 電子線の遮断による像情報の欠落の問題を低減し、かつ電位分布が異方的となる問題を改善した、電子顕微鏡に用いる位相板を提供する。
【解決手段】 一つにつながった開口部２３を持ち、開口部に、開口部の外郭部から開口部中心へ向かう複数の電極１１を配置する。それぞれの電極１１の断面は、導体もしくは半導体でなる電圧印加層２４を、絶縁層２５を介して導体もしくは半導体からなるシールド層２６で覆った構造とする。これにより、電極１１による電子線遮断を低減し、さらに電位分布が異方的となる問題を改善する事が可能な位相板を構成する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、試料観察領域への干渉磁界の影響を軽減する装置及び方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡１０の試料チャンバー２０のチャンバー壁２１に、Ｘ、Ｙ、Ｚそれぞれの方向の磁界補償コイル４１を収容する領域を設け、試料３０やレンズアパーチャ１８近傍の高感度領域に於ける外部の干渉磁界を磁気センサー４２により計測して、それぞれの磁界補償コイル４１の磁界を調整し補償する磁界補償用のシステム４０を構成する。 （もっと読む）

【課題】ノイズなどを含む不完全な回折パターンに対しても、オリジナルに近い実像を再構成することができる、フーリエ反復位相回復法を提供する。
【解決手段】フーリエ反復位相回復法の基本アルゴリズムによって得られる複数の計算結果をもとに、フーリエ空間の振幅に対して平均操作を行い、得られた振幅平均を新たな振幅とし、この新たな振幅をもとにして前記基本アルゴリズムを適用し、位相を求める。 （もっと読む）

【課題】球面収差補正器を備えることにより副次的に生じる２回対称３次スター収差（Ｓ３）と４回対称３次非点収差（Ａ３）とを独立して補正することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第１と第２の多極子レンズ９、１３と、その間に伝達レンズ１０、１２を含む球面収差補正装置を備えた荷電粒子線装置において、第１の多極子レンズ９へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ１に対し、第２の多極子レンズ１３へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ２が連動して変化するように、第１の偏向手段８と第２の偏向手段１１とを制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、TEMにおける直接電子検出器の保護方法に関する。
【解決手段】 本発明は、新たなビームパラメータの設定前に、検出器上での電流密度を予測する手順を有する。ビームパラメータとはたとえば、収束レンズ(104)と投影レンズ(106)の励起、及び/又はビームエネルギーの変化である。予測は、光学モデル又はルックアップテーブルを用いることによって行われる。前記検出器の予測された露光が所定値未満であるとき、所望の変化が行われ、さもなければ、警告メッセージが発生して、設定の変更は延期される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、電子線の光軸調整を容易にし、高コントラストな暗視野像を容易に観察できるようにする。
【解決手段】電子源１０３からの電子線１０４を照射系レンズ１０５及び偏向コイル１０６，１０７を介して試料１１０に照射し、該試料１１０を透過した電子線を結像レンズ１０８を介して暗視野検出器１１１及び明視野検出器１１４で検出する電子顕微鏡において、電子線像を蛍光板１１２に形成し、この蛍光板１１２の電子線像をカメラ１１３で撮影し、このカメラ１１３の画像データから前記電子線の重心座標を求め、前記暗視野検出器１１１の中心と合わせるように、前記電子線又は前記暗視野検出器の位置を偏向コイル制御装置１１８又は暗視野検出器制御装置１１８を用いて制御することで、光軸調整を容易にし、高コントラストな暗視野像観察を実現する。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ法によって得られる３次元像の像質を向上させることが可能な、電子顕微鏡および３次元像構築方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡試１００は、像取得部２４は、マーカーが形成される前の試料Ｓの透過電子顕微鏡像を、傾斜角度ごとに取得することにより、第１傾斜像シリーズを取得する第１処理と、マーカーが形成された試料の透過電子顕微鏡像を、傾斜角度ごとに取得することにより、第２傾斜像シリーズを取得する第２処理と、を行い、３次元像構築部２６は、第２傾斜像シリーズに基づいて、第１傾斜像シリーズを構成する複数の透過電子顕微鏡像間の位置あわせを行うアライメント処理を行い、位置合わせされた第１傾斜像シリーズを構成する複数の透過電子顕微鏡像に対して、３次元構築処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ法によって得られる三次元像の画質を向上させることが可能な、電子顕微鏡及び三次元像構築方法を提供すること。
【解決手段】試料を複数段階に傾斜させる試料傾斜手段と、前記試料傾斜手段によって設定された各傾斜角度θにおいて得られる透過電子顕微鏡像ＴＩを取得する像取得手段と、取得した傾斜角度θ毎の透過電子顕微鏡像ＴＩに基づき試料の三次元像を構築する三次元像構築手段とを含み、試料の三次元像の構築に用いる透過電子顕微鏡像ＴＩの領域の幅ｂを、傾斜角度θに応じて傾斜軸に垂直な方向に変化させる。 （もっと読む）

【課題】燃料電池の触媒層についての透過型電子顕微鏡による観察において、視野内に含まれる触媒粒子のうち、一定数の触媒粒子を選んで粒子径評価を行うことでは、相対的な粒子径分布は得られるものの、触媒粒子に関する定量的な解析を行うことは困難であった。
【解決手段】燃料電池触媒層から切り出した試料の厚さを、燃料電池触媒層の導電性担持体である炭素粒子の直径と同等の10nm以上200nm以下の一定の厚さまで薄くし、透過型電子顕微鏡像で炭素粒子に担持した触媒粒子の重なりが少なくなるので、個々の触媒粒子を区別して評価できる。透過型電子顕微鏡観察用試料を作製する際に、厚さを測定し、試料の厚さと透過型電子顕微鏡で観察した視野とを乗じた体積で規定される触媒層中に含まれる触媒粒子の粒子径および個数を求めることができるため、一定体積中に含まれる白金量を定量的に評価できる。 （もっと読む）