国際特許分類[H01J37/31]の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 電子管または放電ランプ (32,215) | 放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの (7,637) | 物体の局所的な処理のための電子ビームまたはイオンビーム管 (1,896) | 切断または穴あけのためのもの (33)
国際特許分類[H01J37/31]に分類される特許
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電子ビーム装置
【課題】
ビーム幅を狭め、直線性を向上した装置の提供。
【解決手段】
スリット104が設けられた陽極電極103を備え、陽極電極の一側に対向配置される複数のディップ101を備え、陽極電極の他側に被加工物を配置し、被加工物には、前記複数のディップ101から放出されスリット104を通過した電子ビームが照射される。また電子の放出方向に磁場を印加する手段を備えてもよい。
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試料検査方法及び試料検査装置
【課題】 本発明は探針による試料電位分布像の取得方法及び装置に関し、試料の微小電圧変動を捉えることが可能な探針による試料電位分布像の取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料14のパターン面に接触させる第1の探針と第2の探針とからなる2本の探針11,12と、試料14上を電子ビーム又はイオンビームで走査する走査手段と、試料14上の任意の位置の電位を前記2本の探針を用いて検出する電位検出手段18と、該電位検出手段18の出力と電子ビーム又はイオンビームとを同期させて試料電位分布像を取得する取得手段21とを有して構成される。
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試料加工ホルダー及び試料加工ホルダーシステム
【課題】 透過電子顕微鏡用試料の挿入長を一定にするのが容易な試料加工ホルダーを提供する。
【解決手段】 試料加工ホルダーHLを、下部保持部材10と上部保持部材12と締め付け具14とで構成し、この締め付け具14で下部保持部材10と上部保持部材12との間隔を調整可能にする。これにより、下部保持部材10の下方挟持部10aと、上部保持部材12の上方挟持部12aとで、透過電子顕微鏡用試料30を挟んで保持することができるようにする。下部保持部材10には、下方挟持部10aよりも一段高い、当接部10bを形成する。この当接部10bが、透過電子顕微鏡用試料30を挿入する際の位置決めストッパとしての役割を果たすので、透過電子顕微鏡用試料30の挿入長を一定にすることができる。
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