【課題】Ｃ６０クラスターを含む重イオンが得られるイオンビーム用質量フィルタを提供し、また重イオンビームのイオンビーム装置を小型で経済的に製作できるようにする。
【解決手段】イオン源側に、光軸に垂直な面内で回転する所定の偏向角の回転電界を作る第一の偏向電極１１を配置すると共に、イオンビームＩＢの放出側には前記第一の偏向電極１１の回転電界と同じ周波数で所定の偏向角の回転電界を作る第二の偏向電極１２を配置している。第一及び第二の偏向電極１１、１２間には、複数の円筒状電極１４から１６よりなるレンズシステム１３を設けて回転電場型の質量フィルタ１０を構成する。第一の偏向電極１１のイオン源側及び第二の偏向電極１２のイオンビーム放出側に、それぞれアパーチャ２０を配置し、また、レンズシステム１３の略軸方向の中間部には、イオンビーム通路の中央部分を遮蔽する遮蔽手段１７を配置する。 （もっと読む）

【課題】
測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】
真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。
この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う
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