【課題】別個の電源を必要とせずに、電子衝撃方式にて効果的にグリッドをデガス処理し得る低コストの四重極型質量分析計を提供する。
【解決手段】本発明は、フィラメント４２及びグリッド４１を備えたイオン源４と、４本の円柱状の電極を周方向に所定間隔で配置してなる四重極部３と、四重極部を通過した所定のイオンを捕集するイオン検出部２とを有する。フィラメントに直流電流を通電する電源Ｅ１と、グリッドに対してフィラメントより高い電位を印加する電源Ｅ２と、グリッドとフィラメントとの間に所定の電位差をつくるためにフィラメントに所定の電位を与える電源Ｅ４と、四重極部の相対する電極に、正、負の直流電圧と交流電圧とが重畳した電圧を印加する電源Ｅ３と制御ユニットＣとを備える。四重極部用の電源を介して正、負の両電圧間の電位差に相当する電圧をグリッドに印加し得るように構成される。 （もっと読む）

【課題】各部のパラメータ調整を所定の手順に沿って順次実行するオートチューニング機能を有する質量分析装置において、全箇所のチューニングを行うのに長時間を要することがある。
【解決手段】質量分析装置において、パラメータ調整が必要な箇所をブロック単位に分けて考え、予め定められたブロック順にチューニングを実行する。各ブロックにおいては、まず該ブロックの代表部のチューニングを行い、その結果を過去のチューニング結果と比較する。両者の値が所定の範囲内に収まっている場合には、そのブロックに含まれる他の箇所のチューニングを省略する。 （もっと読む）

【課題】 外部電源が無い場所や移動しながらでも、環境負荷ガスを高感度に検出する。
【解決手段】 バッテリーボックス２０と環境測定装置３０をワンボックスカー１０に載せる。環境測定装置３０は、一つのフレームにより車内に固定される。環境測定装置３０は、バッテリー２１又は外部電源からの電力の供給を受けて動作する。環境測定装置３０では、レーザー発生部３１で発生した紫外光３５を真空紫外光発生部３３で真空紫外光３７に変換してイオン化部３８に導入する。イオン化部３８には大気ガス導入部５０で取り込まれた測定対象ガスも導入する。イオン化部３８に導入された測定対象ガスは真空紫外光３７によりイオン化され、飛行時間型質量分析部３４でイオン７３の質量スペクトルを測定する。 （もっと読む）

【課題】最大使用圧力を高圧化する。
【解決手段】試料ガスをイオン化するとともに、そのイオンを外部に導出するための開口部２１１Ａを有するイオン化部２１１と、イオン化部２１１の開口部２１１Ａ外側に設けられて、イオンを引き出すイオン引き出し電極２１２と、イオン引き出し電極２１２によりイオン化部から導出されたイオンを選択的に通過させる四重極部２１３と、四重極部２１３を通過したイオンを検出するイオン検出部２１４とを備え、イオン化部２１１の開口部２１１Ａの開口サイズが、四重極部２１３を構成する４つのポール電極２１３Ｐ全てに内接する仮想内接円ＩＣよりも小さく構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板上の試料分子の質量に関する情報を取得するための質量分析装置において、試料成分やマトリックスより産出されるプロトンを無駄なく捕獲し、該プロトンを飛翔中の中性試料分子に有効に付着させることにより、試料分子の検出感度を向上させる質量分析装置を提供すること。
【解決手段】一次ビームの軌跡を一次ビーム軸とし、該一次ビーム軸と基板上の試料表面が交わる点を中心点とし、中心点を通り基板法線方向に延びる軸を中心軸としたときに、中心軸に対し該一次ビーム軸と線対称をなす軸に対して３０度の角度で円錐状に広がる領域内に電極を配置する。この電極を使い発生させた電界により、一次ビームの照射により飛翔するプロトンを捕獲し、該プロトンを同様に飛翔する中性試料分子に付着させる。 （もっと読む）

【課題】熱電子を生成するフィラメントの変形を抑制することでイオン化効率の低下を防止するとともにフィラメントの長寿命化を図る。
【解決手段】強磁場中に置かれるフィラメント２のコイル部２１を折返し部２１ｂで折り返された２重螺旋構造とする。或る一方向に加熱電流Ifが流れるとき、磁場の作用でコイル部２１の前半部２１ａと後半部２１ｃとにそれぞれ掛かる力のうち、ｙ方向の成分は打ち消す合うために同方向への変形は抑えられる。一方、ｘ方向の力の成分はコイル部２１の伸縮方向であるために、ばね性によって強い抵抗が働き変形が抑えられる。それによって、フィラメント２が変形せず、熱電子の生成位置が空間的にずれないためにイオン化に十分な量の熱電子がイオン化室内に供給され、高いイオン化効率を維持できる。 （もっと読む）

【課題】高分子材料を高感度に分析可能であり、且つ、質量スペクトルと高分子の種類の選択性も高いレーザイオン化質量分析装置を提供する。
【解決手段】高分子材料をイオン化してその質量を分析するレーザイオン化質量分析装置は、試料台１０とイオンビーム源２０とレーザ光源３０と分析部４０とからなる。試料台１０は、高分子材料が配置される。イオンビーム源２０は、試料台に配置される高分子材料にイオンビームを照射する。レーザ光源３０は、試料台の表面に平行にレーザ光を照射するものであり、イオンビーム源からのイオンビームにより試料台に配置される高分子材料から放出される高分子材料由来の分子にレーザ光を照射し、高分子材料由来の分子をイオン化する。分析部４０は、レーザ光源からのレーザ光によりイオン化される試料を質量分析する。 （もっと読む）

【課題】 イオンの真空部への導入損失率を低減し、感度を上昇させる。
【解決手段】 バリヤー放電、および、バリヤー放電で生じた励起分子またはイオンと試料との反応による試料のイオン化を、大気圧よりも低圧下で行う。 （もっと読む）

【課題】照射面の二次元情報を保持したまま高質量数の二次イオンをパルス化できるガスクラスターイオンビームを用いた飛行時間型二次イオン質量分析装置を提供する。
【解決手段】
分析試料５の照射面から放出される二次イオンは、照射面の二次元情報を保持したまま引出電極１５で引き出され、パルスゲート電極部に入射する。第一の通過孔２３ａから第一、第二の電極２１ａ、２１ｂ間に進入した二次イオンはパルス電圧により加速される。第二の通過孔２３ｂを通過した二次イオンは空間的・時間的収束をおこなう複数の扇形静電型分析器からなる分析器４０に進入する。パルスゲート電極部で加速された二次イオンのみが選別されるとともに同一の電荷質量比を有する二次イオンは照射面の二次元情報を保持したままイオン検出器５０に同時に入射して位置と時刻が検出されるように複数の静電型分析器が配置される。 （もっと読む）

【課題】 小型・簡単な構成で、質量分析部へイオンを高効率に導入して分解能を向上させる。
【解決手段】 質量分析部へ試料を導入する試料導入配管部と質量分析部との間に、間欠的にガス導入を行って試料通過を制御するための開閉機構を設け、試料導入配管部の高圧側、つまり、開閉機構に対して質量分析部とは反対側の圧力が100Pa以上10,000Pa以下となるように排気するポンプ機構を備えた質量分析装置。 （もっと読む）