質量弁別のための分析装置を開示する。分析装置は、気体試料を保持するための試料チャンバと、試料チャンバから試料気体を受け取るように構成された分析チャンバと、分析チャンバ内で試料気体から発生したイオン種を弁別するように構成された質量弁別器と、試料チャンバを分析チャンバから分離する壁とを含み、壁は、破断しそれによって試料チャンバから分析チャンバに試料気体を放出するように制御可能な破断ゾーンを含む。１実施形態では、破断ゾーンは、電流または機械的力を加えると破断するように適応される。壁はミクロ機械加工することができる。質量弁別の方法も開示する。 （もっと読む）