【課題】メンテナンス作業後、及び、装置稼動前に行う装置性能の校正作業を迅速に安価に行えるようにする。
【解決手段】（１）イオン源８に流入させる試料ガス流量を常に一定にするため、イオン源、及び、質量分析部を有する真空チャンバー１３に設けた真空計２０ａ，２０ｂの真空度変化からバルブ６の絞り部径、オリフィス１５の径などを求め、基準値との差分を補正するため、試料導入部、イオン源、真空チャンバーの真空度を変化させる手段を有する。
（２）イオン源でのプラズマ生成状態を一定にするため、放電電圧、放電電流、プラズマ発光強度を計測し、現状の状態を把握し、基準値との変化分を補正するため、放電電圧などの放電条件を変化させる手段を有する。
（３）質量分離部に流入するイオン量を常に一定にするため、オリフィス径の変化分を補正するため放電時間などの放電条件を変化させる手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ＣＩＤガスの供給に問題が生じていることや加熱キャピラリの目詰まりなどの装置不具合を事前に検知して分析者に知らせる。
【解決手段】中間真空室４内及びコリジョンセル１２が配設された分析室１０内にそれぞれ真空計３１、３２を設置し、ガス圧判定部３４は分析に先立って真空計３１、３２で検出したガス圧がそれぞれ閾値以下であるか否かを判定し、閾値以下である場合に警告を出す。コリジョンセル１２内へのＣＩＤガスの供給が滞ると分析室１０内に流出するＣＩＤガス量が減るため、分析室１０内の真空度が高くなり過ぎる。一方、加熱キャピラリ３が目詰まりすると大気圧雰囲気であるイオン化室１から中間真空室４内へ流れ込むガス量が減るため、中間真空室４内の真空度が高くなり過ぎる。従って、いずれもガス圧が低過ぎることを検知することで、不具合を認識することが可能である。 （もっと読む）

本発明は、低真空段（１６）から高真空段（４４）まで流体連通状態にある複数個の質量分析計段（１６，１８，２０，４４）を含む質量分析計（１２）を有する質量分析システム（１０）を提供する。分割流多段ポンプ（１４）が質量分析計段を排気する。ポンプは、ポンプエンベロープ（２８）を有し、このポンプエンベロープ（２８）内では、複数個のポンプ輸送段（２０，３２，３４）が流体を主ポンプ入口（３６）から主ポンプ出口（３８）にポンプ輸送するために質量分析計段内における流れ方向にほぼ平行な軸線Ｘ回りに回転可能に支持されている。高真空段（４４）の少なくとも一部は、ポンプエンベロープ内で主ポンプ入口のところに配置されている。
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本発明の実施形態は、質量分析を行うための装置および方法を特徴とする。装置の一実施形態は、低圧の領域と高圧の領域との間の第１の壁に取り付けるための流入ハウジングを備える。流入ハウジングは、試料のプルームに基づいて調整可能な、あるいは代替えの流入ハウジングと差し替えることによって変更可能な通路と絞りを有する。
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【課題】プログラム更新時やＣＰＵ暴走時などに真空ポンプが一旦停止して真空雰囲気が解除されることを回避する。
【解決手段】プログラム更新時にパソコン４０の指令によりＣＰＵ３１がプログラムを更新すると、リセット要求信号を出力し、リセットロジック回路３４がリセット要求信号を受けて自己リセット信号を生成してＣＰＵ３１に返す。これにより、ＣＰＵ３１はリセット・再起動する。この間も、真空ポンプ２２は真空ポンプ制御ロジック回路３６の設定により動作を継続し、再起動により初期化されたＣＰＵ３１は真空ポンプ２２の動作状態を示すステータス情報を読み込んで、その状態から再び必要に応じて真空ポンプ２２の制御を開始する。ＣＰＵ暴走時等にリセットスイッチ３５が操作された場合も同様の経路でＣＰＵ３１はリセット・再起動される。 （もっと読む）

【課題】水素ガスをチャンバから効率良く排気して、分析装置チャンバ内での放電他の悪影響を防止することができるよう改良された分析装置を提供する。
【解決手段】分析装置１０の真空排気系は、粗引ポンプ５０、及び低真空側段３２と高真空側段３１とを含むターボ分子ポンプ３０を有する。粗引ポンプ５０に結合された本体２０は、実質的に粗引ポンプ５０によって減圧される第１チャンバ２４と、その直後でターボ分子ポンプ３０の低真空側段３２に結合され、水素ガスが導入される第２チャンバ２５と、さらに後段でその高真空側段３１に結合される第３チャンバ２６とを含む。低真空側段３２の中間位置に、水素ガス等の軽いガスを実質的に含まず、分子量が大きい追加ガスが導入され、排気の平衡時における低真空側段３２の排気側端３７の位置での水素分圧が低減される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高感度なイオントラップ飛行時間型質量分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】マルチポール部５のイオン量の分布に応じて、ＰＵＳＨ電極６に印加する高電圧パルスの周期を可変させることにより、イオンは飛行時間型質量分析部９（飛行時間型質量分析手段）を飛行し、効率的にＭＣＰ（検出器）８へ輸送される。イオンを効率的に、ＭＣＰ（検出器）８へ輸送し、高感度なマススペクトルが得られるイオントラップ飛行時間型質量分析装置を実現する。 （もっと読む）

【課題】 恒温槽内の微小な温度変化による真空チャンバを介したイオン光学系への輻射熱を軽減し、真空内の温度を安定させて質量分析の再現性を向上させることのできる飛行時間型質量分析装置を提供する。
【解決手段】 恒温槽１６に収容された真空チャンバ１０の内部に、低熱伝導率材料から成る保持部材２１によりフライトチューブ２０を保持し、このフライトチューブ２０にイオン加速器１２及びイオン検出器１３（往復型の場合は、リフレクトロン１４も）を固定すると共に、真空チャンバ１０の飛行分離部１０ｂの外壁を断熱材２７で被覆する。 （もっと読む）

【課題】イオン源側真空領域内のイオン軌道部周辺の部品を大気中に取り出して、洗浄等の操作を行なっても、短時間で装置の再使用が可能となり、また、アイソレーション・バルブを設けても、安定した測定が可能となるようなＯＡ−ＴＯＦＭＳを提供する。
【解決手段】イオン源と、イオン源で発生したイオンを輸送させる空間とを配置した、真空度の低い第１の領域と、該領域から輸送されてきたイオンをパルス的に加速して取り出すためのイオン溜と、該イオン溜から取り出されたイオンを質量分離する飛行時間型分光部とを配置した、真空度の高い第２の領域とを備えた垂直加速型飛行時間型質量分析装置において、前記２つの領域を連通する孔部に隔離弁を設け、両領域を遮断できるようにした。 （もっと読む）

差圧ポンプ型質量分光計システムは、複数の圧力チャンバを有する質量分光計と、質量分光計に取付けられかつ少なくとも３つのポンプ入口を有する真空ポンプと、第一ポンピングセクションと、第一ポンピングセクションから下流側の第二ポンピングセクションと、第二ポンピングセクションから下流側の第三ポンピングセクションとを備え、比較的低圧の第一チャンバからの出口が第一ポンプ入口に連結されており、第一ポンプ入口を通って流体が第一チャンバからポンプに流入しかつ第一ポンピングセクション、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションだけを通ってポンプ出口へと流れることができる。分光計の第二中間圧力チャンバが第二ポンプ入口に連結され、第二ポンプ入口を通って流体がポンプに流入できる。分光計の第三の最高圧力チャンバの出口が第三ポンプ入口に連結され、第三ポンプ入口を通って流体がポンプに流入することができ、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションを通過する。第三ポンピングセクションの少なくとも一部だけがポンプ出口に向っている。バッキングポンプは、使用時に、分光計からポンピングされる流体質量の少なくとも９９％が、真空ポンプおよびバッキングポンプの両方を通って流れるようにポンプ出口に連結されている。
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