【課題】 部品点数の増加を招くことなく確実に圧力を把握でき、リークディテクタの使用継続時間に関係なく、正確にリーク値を測定することに最適なリークディテクタ用の質量分析管を提供することにある。
【解決手段】 磁場偏向型の質量分析管２は、ガス導入口２２が開設された管体２１を有し、この管体内にフィラメント２３ａとグリッド２３ｂとを有してガス導入口から導入されたガス分子をイオン化するイオンソース２３と、ヘリウムイオンを捕集する第１のイオンコレクタ２５と、管体内でイオンソースとイオンコレクタとの間に介設され、このイオンソースから所定の加速電圧下で放出されたイオンをその質量数に応じて偏向させる磁場を形成してヘリウムイオンのみをイオンコレクタへと導くマグネット２４とを備え、イオンソースの周囲に第２のイオンコレクタ２７が付設され、この第２のイオンコレクタにイオンソースによりイオン化された正イオンを捕集する。 （もっと読む）

【課題】必要なパラメータ（質量、エネルギー、価数）を有する複数の種の荷電粒子を選択し伝送する装置及び方法を提供する。
【解決手段】対称面１７０２から間隔をあけて２つの平行なイオンビーム１７０１を生成し、平面１７００間に設けられたモジュールに進入させる。これらのイオンビームは、対称面と平行な面において偏向され、永久磁石の列状体１７１６のフリンジ磁界を斜めに通過する。パラメータについて異なる値を有する必要な複数の種のイオンは、一連の焦点１７０８〜１７１１に至り、分解構造体（１７０７の開口及び１７０５−１７０６間の分解開口）を通って伝送され、ビームストッパ１７０４の両側において磁石の列状体を出る。２つのビームを実質的に間隔をあけて配置することによって、１）複数の種のイオンが伝送可能になり、２）軽量イオンであるプロトンの伝送を阻止し、３）従来の約２倍のビーム電流を提供することができる。 （もっと読む）

第１及び第２のソレノイドコイルとスチールヨークの配置を有するリボンビーム分析器である。第１及び第２のソレノイドコイルの各々は、イオンリボンビームが走行する空間を画定するほぼ「レーストラック」構造を有する。第１及び第２のソレノイドコイルはリボンビームの走行方向に沿って離して置かれる。第１及び第２のソレノイドコイルの各々は、広いリボンビームの質量分解能を付与するために均一の磁場を生成し、イオン源から生成されるイオンの所望の像を生成する。
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質量弁別のための分析装置を開示する。分析装置は、気体試料を保持するための試料チャンバと、試料チャンバから試料気体を受け取るように構成された分析チャンバと、分析チャンバ内で試料気体から発生したイオン種を弁別するように構成された質量弁別器と、試料チャンバを分析チャンバから分離する壁とを含み、壁は、破断しそれによって試料チャンバから分析チャンバに試料気体を放出するように制御可能な破断ゾーンを含む。１実施形態では、破断ゾーンは、電流または機械的力を加えると破断するように適応される。壁はミクロ機械加工することができる。質量弁別の方法も開示する。 （もっと読む）

本発明は、ガスサンプル中の特定の分子量を有する物質の総積算濃度を測定するためのイオンゲージ１０に関し、イオンゲージ１０は、イオン化源１の近傍のイオン化領域と、イオン化された分子の流れＩを生成する加速器２，３，４と、流れを中断して前記範囲に入る分子量を有するイオンをイオン化された分子から分離する質量フィルタ８と、ガスサンプル中に存在するそのようなイオンの総積算濃度を表す信号を生成する検出器７とを備える。本発明はさらにリソグラフィ装置とガスサンプル中の所定範囲内に入る分子量を有する物質の総積算濃度を測定する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】低下した検出感度を簡単にもとに戻すことができるヘリウムリークディテクタを提供すること。
【解決手段】加速スリット対向壁１４の一部の面Ｓ１や中間隔壁１３の一部の面Ｓ２にカーボンが厚く付着した場合、分析管１０の内部を密閉する容器２０から容器部分２０ａを取り外す。そして、中間隔壁１３を中心として左右反対になるように、容器部分２０ａを回転させる。そして、そのまま容器部分２０ａを取り付ける。 （もっと読む）

【課題】人為的ミスを生じることなく校正を短時間に正確に行うことができるイオン注入装置用の質量分析システムとその校正方法を提供する。
【解決手段】ビーム中のイオン種の質量を測定する質量分析器１０と、２種以上の既知の不活性ガスからなる校正用ガス１１が充填された校正用ガスボンベ１２ａと、校正用ガスボンベからイオン注入装置のイオン源として校正用ガスを遮断可能に供給する校正ガスライン１３と、校正用ガスを用いて校正用ガスのイオンビーム２を発生させて質量分析器１０の校正を行う校正処理装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出感度の低下を抑制し、測定制度の高いヘリウムリークディテクタを提供すること。
【解決手段】Ｃ_ｍＨ_ｎイオンなどのＨｅイオンより重たいイオンが照射される位置に補正電極１８を設ける。補正電極１８は、中間隔壁１３などの分析管１０の内部とは絶縁されている。補正電極１８は電源１１１に接続されている。電源１１１は、補正電極１８に印加する電圧の電圧値を可変にできる。電源１１１は、分析管１０の内部に付着したカーボンが偏向軌道Ａに及ぼす静電力を相殺するように補正電極１８に電圧（たとえば、−７０〜０Ｖ）を印加する。これにより、Ｈｅイオンの偏向軌道Ａの歪を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単であり、磁石の小型・軽量化を図ることができ、広い範囲に均一磁場領域を発生させることができ、ビーム厚さ方向寸法の大きいイオンビームにも対応できる質量分離電磁石を提供する。
【解決手段】本発明の質量分離電磁石１７における偏向用コイル２０は、イオンビーム１の長方形断面の長手方向に配置された複数のコイル２１，２２，２３からなる。各コイルは、湾曲形状を描くイオンビーム軌道の内側に配置された内側コイル部２０ａと、イオンビーム軌道の外側に配置された外側コイル部２０ｂとからなる。導入位置Ａと導出位置Ｂとの間の途中位置における内側コイル部２０ａと外側コイル部２０ｂの間隔は、導入位置Ａ及び導出位置Ｂにおける間隔よりも広い。 （もっと読む）

【課題】ヘリウムを含む複数のキャリアガスによるリーク検査を作業性良く行うことができるリークディテクタの提供。
【解決手段】ヘリウムガスと水素ガスとの混合ガスが充填された校正用標準リーク６を装着して校正動作を行うことにより、ヘリウムガスおよび水素ガスの各検出感度をいっぺんに取得することができる。取得された各検出感度は記憶部７２に記憶される。そして、いずれのキャリアガスでリーク検査を行うかが操作部７１により指示されると、指示されたキャリアガスが検出できるように分析管５の加速電圧が設定され、指示されたキャリアガスの検出感度を用いてリーク量が算出される。その結果、キャリアガスの異なるリーク検査を切り替えて行う場合に、リーク検査作業時間の短縮を図ることができる。 （もっと読む）