【課題】多極磁場中の多相交流放電プラズマを紫外発生光源へ応用し、水銀や希ガス以外の一般的な分子性ガスを用いて、高輝度で高効率な紫外線を発生させる。
【解決手段】平面容器３内を真空排気し、放電発光に用いる窒素希釈一酸化窒素ガス1Torr以下を封入あるいは流入する。次に、１２枚の分割電極１に１ｋｗ以下の位相制御１２出力交流電源を接続して放電電気エネルギーを供給する。これにより、バリア層２に覆われた分割電極１の表面に沿って安定な交流グロー放電によるプラズマＰが生じる。放電の結果、紫外線を含む窒素希釈一酸化窒素ガス特有の波長を持つ光が放射され、光取り出し窓３２より外へ取り出される。 （もっと読む）