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国際特許分類[H01J61/52]の内容

電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 電子管または放電ランプ (32,215) | ガスまたは蒸気放電ランプ (5,257) | 細部 (4,670) | 冷却装置;加熱装置;放電空間のガスまたは蒸気を循環させる手段 (232)

国際特許分類[H01J61/52]に分類される特許

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【課題】遮光マスクがなくてもパネルにダメージを与えることなく必要な波長の光をパネルに照射することができる光照射装置、およびメタルハライドランプを提供すること。
【解決手段】メタルハライドランプと二重管と酸化膜とを有する。メタルハライドランプは、筒状、石英ガラス素材の発光管を有する。二重管は、メタルハライドランプの発光管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第1の管である内管と、内管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第2の管である外管とを備え、第1の管と第2の管との間の空間に流体を流し得るようにその間の空間が閉じられた空間である管である。酸化膜は、二重管の外管の外面上、または二重管の内管のメタルハライドランプに対向する面上に形設された、膜厚が0.4μm以上、1.0μm以下の、チタン、シリコン、ビスマスまたはセリウム、およびタンタルを含有する膜である。 (もっと読む)


【課題】光源の特徴に対応して、光源の機能を好適に維持することができるように、光源の温度を調整することができる照射装置を提供する。
【解決手段】照射装置は、光源管の内面の一部分に配置されたアマルガム合金体を備える光源と、光源が内部に配置されているチャンバーと、を備え、チャンバーは、チャンバー本体と、チャンバー本体に形成された第1気体流入口及び第1気体流出口と、記第1気体流入口からチャンバー本体内に流入する気体を、前記光源管における前記アマルガム合金体が配設された部分の外面に当たる方向に導く第1導流体と、を備える。また、光源は、放電電極を備えており、チャンバーは、チャンバー本体に形成された第2気体流入口及び第2気体流出口と、第2気体流入口からチャンバー本体内に流入する気体を、前記光源管における前記放電電極が配設された部分の外面に当たる方向に導く第2導流体と、をさらに備える。 (もっと読む)


【課題】光源からの熱がフィルムに伝達されることを抑制することができるフィルム用光照射装置を提供する。
【解決手段】一面から光を出射する扁平なエキシマランプと、このエキシマランプが収容された、当該エキシマランプの一面に対向して配置された光透過窓部材を有するケーシングとを備えてなり、前記エキシマランプの一面からの光が前記光透過窓部材を介して前記ケーシングの外部に出射されるフィルム用光照射装置であって、前記ケーシング内に、前記エキシマランプと前記光透過窓部材との間にドライエアを送風する第1の冷却手段、および前記エキシマランプにおける前記一面とは反対側の他面に向かってドライエアを送風する第2の冷却手段が設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】外套管内に長尺状のランプを挿入した光源エレメントを有する紫外線照射装置において、光照射領域の照度均一度を改善すること。
【解決手段】光源部10の光源エレメント20は、光透過性を有する長尺状の外套管24内に、長尺状のランプ25を挿入したものであり平行に等間隔で並列配置される。冷却ファン42によって作られた冷却風は、第1の導風路43Aを介して一端側から、光源エレメント20の冷却風流通路24Aに導入され、ランプ25を冷却しながら右から左に流れて他端側から排出される。排出された冷却風は、第2の導風路43Bから熱交換器43に導かれて冷却される。光源部10とワークステージ60の間には内面に反射面を有する筒型ライトガイド51が配置され、筒型ライトガイド51の冷却風の排出される側に設けた反射面の一部に反射する光の量を低下させる反射光量低下手段55が設けられる。 (もっと読む)


【課題】 複数の棒状の高圧放電ランプが、各々のランプ中心軸が一方向に延びる状態で、当該一方向に並んで配置された構成のものにおいて、ランプ点灯初期時と同様の均一な照度分布が長時間の間安定して得られる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、各々バルブの内部に一対の電極が対向配置された複数の棒状の高圧放電ランプが、各々のランプ中心軸が一方向に延びる状態で、当該一方向に並んで配置された構成のものにおいて、隣接する2つの高圧放電ランプの各々の端部には、遮光体が設けられており、当該2つの高圧放電ランプの一方の高圧放電ランプが他方の高圧放電ランプに対して、均一な照度分布が得られるよう前記一方向に調整された位置に配列されている。 (もっと読む)


【課題】複数の光源素子を一方向に並べ、この光源素子列を必要に応じて複数列配置して構成されたランプユニットに使用される光源素子において、ランプの陰極周囲の発光部を効果的に冷却することを目的とする。
【解決手段】ショートアーク型のランプと、該ランプの光を反射するリフレクタとを備える光源素子において、
前記リフレクタの光出射開口側に配置され、前記リフレクタの内部に空気を流すための第1の空気取入口が設けられた空気取入部材を備え、
前記光源素子を前記リフレクタの光軸を含む平面で切断した断面において、前記第1の空気取入口の上端縁及び下端縁のそれぞれの中央部を結ぶ直線の延長線上に、前記ランプの光出射側に位置する電極が配置されるように構成する。 (もっと読む)


【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置を提供する。
【解決手段】発光部を形成するガラス管25とこれに連結された口金部26とを有する放電ランプ1と、口金部26を介して放電ランプ1を保持する取り付け装置31とを備えた光源装置であって、口金部26は、取り付け装置31の位置決め板50と当接するフランジ部26aと、フランジ部26aを位置決め板50に押圧する押圧力が付勢される固定部26hとを有し、取り付け装置31は、圧縮コイルばね44Aによって固定部26hを付勢する固定用アーム55Aを有する。 (もっと読む)


【課題】放電ランプの口金部材に対する冷却作用が大きい光源装置を提供する。
【解決手段】放電用の電極を収納したガラス管(25)と、ガラス管(25)に連結された口金部(28)とを有する放電ランプと、連結ケーブル(72)とを備え、連結ケーブル(72)のリング状部材(74A)が放電ランプの口金部(28)に取り付けられるとともに、リング状部材(74A)に冷風用の送風路(74Ac)が形成され、連結ケーブル(72)の電力ケーブル(33D)及びリング状部材(74A)を介して電源(32)から口金部(28)に電力を供給し、連結ケーブル(72)の送風用配管(35D)及びリング状部材(74A)を介して送風装置(34)から口金部(28)に冷風を供給する。 (もっと読む)


【課題】放電管に外管が被嵌された高圧放電ランプの外周に水冷管が設けられた高圧放電ランプの両端に、保持ブロックが着脱自在に設けられてなる水冷式放電ランプユニットにおいて、保持ブロックを樹脂製としても、水冷管の端部から紫外光が放射されて保持ブロックの壁面を劣化させることのないようにした水冷式放電ランプユニットを提供することである。
【解決手段】前記保持ブロックは樹脂製であって、該保持ブロックの壁面に対向する前記水冷管の端部には紫外光遮蔽部材が設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】フラッシュランプを冷却しつつ、発光管の破損を防ぐことができる閃光照射装置を提供すること
【解決手段】、発光管が石英ガラスより構成されたフラッシュランプと、フラッシュランプの冷却機構とを備えた閃光放射装置において、前記閃光放射装置は、前記発光管の表面に設けられた温度測定手段と、冷却機構を制御する制御部とを備え、発光管の表面の温度を300〜500℃に制御すること (もっと読む)


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