国際特許分類［H01J65/08］の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 電子管または放電ランプ (32,215) | うつわ内部に電極をもたないランプ；うつわ外部に少なくとも１つの主電極をもつランプ (1,053) | スクリーンまたは被覆がうつわ内部におかれた放射能材料によって励起され発光するランプ (1)
国際特許分類［H01J65/08］に分類される特許
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プラズマ光源とプラズマ光発生方法
【課題】有効波長領域（１３．５ｎｍ近傍）のＥＵＶ光を発する励起準位の輻射冷却時間を実質的に短縮し、ＥＵＶ光の高出力化を達成できるプラズマ光源とプラズマ光発生方法を提供する。
【解決手段】１３．５ｎｍ近傍に発光ラインを持つプラズマ媒体６と、１３．５ｎｍ近傍に発光ラインを有しかつプラズマ媒体より輻射冷却時間が短い添加物７とを同軸状電極１１間に供給し、１対の同軸状電極間に管状放電２を形成してプラズマ８を軸方向に封じ込め、プラズマ８内において励起されたプラズマ媒体６のイオンと励起していない添加物７のイオンとの間で共鳴エネルギー移転を生じさせ、プラズマ媒体６と添加物７の両方から１３．５ｎｍ近傍のＥＵＶ光を発光させる。
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