【課題】従来に比して、二次電子発生効率を向上することができ、且つ、二次電子発生効率の経時劣化を低減することができる二次電子発生電極の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る二次電子発生電極の製造方法は、表面に二次電子発生層を有する二次電子発生電極の製造方法において、基板１０上に、二次電子発生層４０を形成するための触媒金属が基板１０へ拡散することを防止するための拡散防止層２０を形成する拡散防止層形成工程と、拡散防止層２０上に触媒金属からなる触媒層３０を形成する第１触媒層形成工程と、基板１０の温度を上昇して、触媒金属を拡散防止層２０上にアイランド状に分布する第２触媒層形成工程と、触媒金属を触媒として拡散防止層２０上に酸化マグネシウムからなる二次電子発生層４０を形成する二次電子発生層形成工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】フォトカソードの分光感度曲線の概要を、その製造時にリアルタイムで知ることができるとともに、一定品質を得るための製造条件を特定しやすく、さらには研究開発にも寄与できるフォトカソードの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体結晶からなる光吸収層上に、アルカリ金属又はこれらの酸化物などからなる被覆層を形成してなるフォトカソードの製造方法において、前記被覆層の形成中に、ピーク波長が互いに異なる複数の単波長光を交互に照射し、各単波長光からの光照射による放出電流にそれぞれ基づいて、前記被覆層の形成態様を制御するようにした。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、２つの平行電極が誘電体スペーサ要素によって間隔を置いて配置された、なだれ粒子検出器の増倍ギャップを製作するための改良された方法に関する。２つの互いに平行な金属電極に挟まれた誘電材料からなるバルク層を含む箔が用意され、金属層の１つにフォトリソグラフィによって孔が形成される。次いで、金属層の１つに形成された孔を通して、バルク材料の注意深く制御されたエッチングにより、バルク層内に増倍ギャップが形成される。本発明は簡単化された製作プロセスを提供するだけでなく、空間分解能およびエネルギー分解能が向上された検出器をもたらす。
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【課題】アルカリ金属部材の加熱を安定して行うことができるアルカリ金属発生源を提供する。
【解決手段】アルカリ金属発生源１は、第１のケース部２８と第２のケース部３０とで構成されたケース２０に、アルカリ金属蒸気を発生させる原料を含有するペレット１６を収容したものである。ケース２０には、ペレット１６の他に、裏面１８ｂ又は内部に抵抗加熱部２１が設けられたセラミックス基板１８が収容され、抵抗加熱部２１には通電ピン２４が電気的に接続されている。セラミックス基板１８は、第１のケース部２８と第２のケース部３０とで挟まれるようにしてケース２０に収容され、セラミックス基板１８の表面１８ａ側には、ペレット１６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】アルカリ金属部材の加熱を安定して行うことができるアルカリ金属発生源を提供する。
【解決手段】アルカリ金属発生源１は、アルカリ金属蒸気を発生させる原料を含有するペレット１６をケース２０に収容したものである。ケース２０には、裏面１８ｂ又は内部に抵抗加熱部２１が設けられたセラミックス基板１８が収容され、セラミックス基板１８の裏面１８ｂからは、基端側がセラミックス基板１８に固定された通電ピン２４が突出している。通電ピン２４は抵抗加熱部２１に電気的に接続されると共に、その基端側の面２４ａがセラミックス基板１８の表面１８ａよりも内側に位置している。ペレット１６は、セラミックス基板１８の表面１８ａ側に位置している。このような構成により、通電ピン２４からの電流はペレット１６には流れず、抵抗加熱部２１だけに流れることになる。 （もっと読む）

【課題】実効的な量子効率について高い値を示すことができる光電面、それを備える電子管、及び光電面の製造方法を提供すること。
【解決手段】 光電面１０は、入射光を透過する基板１２と、ＨｆＯ_２からなる中間層１４と、下地層１６と、アルカリ金属を含む光電子放出層１８とを備える。すなわち、光電面１０は、基板１２と光電子放出層１８との間に形成された中間層１４を備える。 （もっと読む）

【課題】 製造工程における管理負担が軽減されるとともに、高感度の光電面を形成することを可能とするアルカリ金属発生材、さらには、このアルカリ金属発生材を用いたアルカリ金属発生器、それにより形成される光電面、それを用いた光電子増倍管を提供する。
【解決手段】 クロム酸セシウム（Ｃｓ_２ＣｒＯ_４）とモリブデン酸セシウム（Ｃｓ_２ＭｏＯ_４）を混合して酸化剤としたアルカリ金属発生材を用いて活性化することにより光電面を製造する。ここで、モリブデン酸セシウムの比率を１０〜４５％とすると、良品率、感度の点から好ましく、さらに、この比率を２０〜５０％とすると、特に良好な感度が得られて好ましい。 （もっと読む）

マイクロチャネルプレート50と多層セラミックボディユニット80の嵌合面には、所望の温度及び圧力において最適に拡散するように選択された適当な金属を使って、隆起84を有する薄膜が蒸着される。その後、金属化されたマイクロチャネルプレート50と多層セラミックボディユニット80は、所望の上昇温度で拡散接合を開始するためにコンポーネントへ印加するのに必要な力を与える接合固定具F内に位置合わせして配置される。その後、接合固定具Fは、マイクロチャネルプレート50と多層セラミックボディユニット80との間での拡散接合処理を加速するために、真空熱チャンバV内に配置される。
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マイクロチャネルプレート（ＭＣＰ）（５０）と誘電絶縁体（８０）は、最適な拡散のために選択された適当な金属を使って薄膜蒸着される。その後、金属化されたＭＣＰ（５０）及び誘電絶縁体（８０）は位置合わせされて、拡散接合を開始するのに必要な力を与える接合固定具（３６）内に配置される。その後、接合固定具（３６）は、ＭＣＰ（５０）と誘電絶縁体（８０）との間の拡散接合処理を加速させるために真空熱チャンバ内に配置される。 （もっと読む）

【課題】 輝度および干渉性の両方が格段に高く、ＴＥＭ等の電子顕微鏡、加速器、Ｘ線発生装置等用の電子線源として利用した場合、それらの性能を飛躍的に向上させることのできるフォトカソード型電子線源を実現する陰極先端部への高量子効率物質の局所被覆装置を提供する。
【解決手段】 この出願の発明の局所被覆装置は、フォトカソード型電子線源の陰極先端部（１５）に高量子効率物質を被覆するものであり、陰極先端部（１５）と、高量子効率物質被覆物の構成物質が放出される放出源（４１、４２）との間に、陰極先端部（１５）への被覆領域を制限するための穴を有する絞りを配置したことを特徴とする。 （もっと読む）