【課題】チャンバにおける熱源を構成する複数の棒状ランプを介して被処理体と対向する天面部が過熱されることを抑制することができると共に、長期間にわたって高い加熱効率を安定に得ることのできる加熱装置を提供すること。
【解決手段】加熱装置は、チャンバ内に、熱源を構成する複数の棒状ランプが、一平面内において互いに離間して平行に、かつ被処理体に対向するように配置されており、前記複数の棒状ランプには、各々、被処理体とは反対側に位置する領域にセラミックス製反射膜が形成されており、当該複数の棒状ランプにおける互いに隣接する棒状ランプ同士の間には、基材にセラミックス製反射膜が形成された反射部材が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ３本以上のランプをコンパクトに保持しつつ、ショートを抑制することが可能なランプ装置および連結部材を提供する。
【解決手段】
実施形態のランプ装置は、端部にピンチシール部１１２を有する３本以上の管状ランプ１と、溝部２４を３つ以上有し、それぞれの管状ランプ１の管軸が略平行になるように、溝部２４にそれぞれのピンチシール部１１２を収容可能なベース２と、を具備するものであり、溝部２４は、隣接配置される管状ランプ１の管軸に対して直交する断面における中心Ｃ同士を結んだ線を第１の線Ｌ１、ピンチシール部１１２の管軸に対して直交する断面における長手方向に平行な線を第２の線Ｌ２としたとき、第１の線Ｌ１と第２の線Ｌ２によって形成される角度αが、５°≦α≦３０°を満たすように形成されており、溝部２４にはピンチシール部１１２が収容されるとともに、セメント３が注入され、管状ランプ１とベース２とが接続されている。 （もっと読む）

【課題】Ｓ波及びＰ波の両方に共鳴を生じさせスペクトル幅の狭い電磁波を放射する電磁波放射装置を提供する。
【解決手段】電磁波放射体が加熱機構に加熱され、電磁波放射体の放射面から電磁波が放射される。放射面には周期構造が露出する。周期構造においては、単位構造が周期方向に周期的に配列される。単位構造の各々は、負誘電率部及び正誘電率部を備える。負誘電率部の複素比誘電率の実部は負である。正誘電率部の複素比誘電率の実部は正である。負誘電率部及び正誘電率部は周期方向に交互に配列される。放射面における実効的な波長λ_eが周期構造の周期Ｐに一致する電磁波を考え負誘電率部の表皮厚Δを当該電磁波の電界の法線方向振動成分の強度が表面の１／１０に低下するまでの厚さと定義した場合に正誘電率部の幅Ｔがλ_e／２≦Ｔ≦Ｐ−Δを満たす。 （もっと読む）

【課題】スペクトル幅が狭い電磁波を放射する電磁波放射装置を提供する。
【解決手段】電磁波放射体が加熱機構に加熱され、電磁波放射体の放射面から電磁波が放射される。放射面には周期構造が露出する。周期構造においては、単位構造が周期方向に周期的に配列される。単位構造の各々は、負誘電率部及び正誘電率部を備える。負誘電率部の複素比誘電率の実部は負である。正誘電率部の複素比誘電率の実部は正である。負誘電率部及び正誘電率部は周期方向に交互に配列される。正誘電率部の各々により共振器が形成される。周期構造の周期は、当該共振器の共鳴周波数の電磁波の放射面における実効的な波長の自然数倍である。 （もっと読む）

【課題】スペクトル幅が狭い電磁波を放射できスペクトル幅の調整の範囲が拡大する電磁波放射装置を提供する。
【解決手段】周期構造が電磁波放射体の放射面に露出する。周期構造においては単位構造が周期方向に周期的に配列される。複素誘電率の実部が負である負誘電率部及び複素誘電率の実部が正である正誘電率部を単位構造の各々が備える。単位構造の各々において正誘電率部及び負誘電率部が周期方向に配列される。周期構造は周期方向についての反転対称性を持たない。電磁波放射体は加熱機構に加熱され、放射面からは電磁波が放射される。 （もっと読む）

【課題】 口金の中心軸線と反射鏡及び電球の中心軸線の不一致を抑制可能なランプを提供する。
【解決手段】 ランプ11は、口金12、反射鏡21、電球31、接着剤25、及び少なくとも３個のセンタリング凸部17を具備する。口金12は、一端が開口された大径部13aの他端に小径部13bを設けた口金ハウジング13を有する。反射鏡21は、凹面状の反射面22aを有した反射面部22と、これに連続し大径部13aの内側に挿入されたネック部23を備える。口金12に電気的に接続して反射鏡21に収容される電球31をネック部23に支持し、大径部13aとネック部23をこれらの間に設けた接着剤25で接着する。各センタリング凸部17を、大径部13aとネック部23のうちの一方に周方向に互に離れてかつ他方に向けて突設する。各センタリング凸部17の先端を前記他方に接触若しくは近接させて、口金12と反射鏡21及び電球31とのセンター合わせしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】近接露光を利用したパターニング、凹凸を形成するエッチング、反射膜の膜厚コントロール、などにおいて広い許容幅で製作できる浅い溝の回折格子を利用して、鋭い波長選択性と共に特定波長を出射することができるエネルギー利用効率の高い赤外光源を提供する。
【解決手段】反射型回折格子と、発熱体によって昇温する素子を有し、前記反射型回折格子の一部のみが前記発熱体によって昇温する素子と向き合っていることを特徴とする赤外光源。 （もっと読む）

【課題】被処理物を収容する空間を備えるチャンバと、該チャンバ内に配設され、発光管とその両端部のシール部とを有するフィラメントランプを備えた加熱装置において、前記フィラメントランプ、特にそのシール部の冷却を効果的に行えて、該フィラメントランプへの高入力化を実現できる構造を提供しようとするものである。
【解決手段】前記チャンバを貫通して配設され、両端が前記チャンバの外部に開放され、内部に冷却風を流通させるガラス管と、該ガラス管と前記チャンバとの間を封止する封止部材を備え、前記フィラメントランプが、前記ガラス管の内部に配置されていることを特徴とする。また、前記ガラス管は、その表面において前記封止部材に対応する領域に赤外線反射膜が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 低温封止のハロゲンランプを真空環境下でも支障なく使用可能とする。
【解決手段】 ハロゲンランプ加熱装置において、ハロゲンランプ１の発光部１ａと電極部１ｂとの間を横切る位置に端部反射板７が配設されている。端部反射板７には切欠き８が形成されてその切欠き８内に電極部１ｂが、端部反射板７とは非接触に挿通されている。端部反射板７は、多重板構造でもよい。 （もっと読む）

【課題】フィラメントからの光が口金碍子に反射されて生じるハレーションが抑制され、スポットライトの光源とした時漏れ光が少ない白熱電球。
【解決手段】筒状のバルブ11と、バルブ11の一端のシール部を取り囲む筒状の口金碍子40と、バルブ11内において平面状に形成されたフィラメント20とを有し、バルブ11のシール部が下方を向くよう配置したときに、口金碍子40の周壁は、フィラメント20に係る平面Ｆを境界として、正面側の領域部分40ａが背面側の領域部分40ｂより高く、フィラメント20の中心Ｏからフィラメント20に係る平面Ｆに垂直な正面側の方向に光中心距離と同じ距離だけ離れた点Ｓと、フィラメントに係る平面Ｆからそれに垂直な方向に伸びる直線と口金碍子40の正面側の領域部分40ａの上端の外周縁との交点をＰとを通過する基準直線Ａの高さレベルより、背面側の領域部分40ｂの上端が下方に位置されている。 （もっと読む）