国際特許分類[H01L21/04]の内容

電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置,他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置 (183,847) | 半導体装置またはその部品の製造または処理 (125,986) | 少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置 (97,574)

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【課題】半導体装置の製造において、作業効率を向上させることのできる技術を提供する。
【解決手段】 半導体装置の製造工程のうち、ペレット選別工程や組立工程に作業者や製造ラインの管理者がみることができるコミュニケーションボード(表示部)を設ける。そして、このコミュニケーションボードに目標設定エリア4、優先処理エリア5および適正仕掛かりエリア6を設けて、生産目標を示す目標データ、優先して処理すべきロットを示す優先処理データおよび各工程における適正仕掛かり量からのずれを示す差分データを一画面上に表示する。 (もっと読む)


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