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国際特許分類[H01L21/208]の内容

国際特許分類[H01L21/208]に分類される特許

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【課題】フラックス法を用いた結晶成長装置において、実用的な大きさの結晶の均一性その他の品質を確保しつつ、結晶成長装置を小型化・簡略化する。
【解決手段】結晶の原料原子を含む液体を収容する容器と、前記液体と接する液体接触面に、弾性波を進行波として伝搬させる弾性波伝搬手段と、を有する結晶成長装置を提供する。前記液体接触面として、前記容器の内面が例示できる。前記弾性波伝搬手段が、前記容器に接して配置された圧電体を有してもよく、前記圧電体に交番電界を印加することにより、前記液体接触面に前記弾性波を伝搬させることができる。前記圧電体を複数有してもよく、前記複数の圧電体のそれぞれに印加する交番電界の位相を調整することで、前記弾性波を進行波として伝搬させることができる。 (もっと読む)


【課題】周期表第13族金属窒化物半導体結晶の製造に用いられる反応容器等の部材は、繰り返し及び/又は長時間の使用によって、変質及び/又は劣化が進行することがあり、交換することが必要となるが、頻繁に新しい部材に交換することとなると製造コストの増大を招くことになる。
【解決手段】変質及び/又は劣化した部材を、色彩値(L*値)及び/又は膨張率が特定
の範囲の数値になるように処理することによって、第13族窒化物半導体結晶の製造に再利用できるように部材に再生することができる。 (もっと読む)


【課題】CBD法による光電変換素子のバッファ層の製造方法において、反応液中における粒子の発生を抑制して低コスト化を図ると共に、バッファ層成膜工程の短時間化を実現する。
【解決手段】基板保持部20に、成膜用基板10を装着し、基板10をヒーター30により温度T[℃]となるように加熱して、加熱状態を保ったまま、温度Tよりも低い温度T[℃]に温調された反応液2に、少なくとも光電変換半導体層13の表面を接触させることによりバッファ層の成膜を開始し、バッファ層の成膜中は基板10を温度T、反応液2を温度Tに維持する。 (もっと読む)


【課題】IV族半導体ナノ細線の製造方法並びに構造制御方法を提供する。
【解決手段】気相−液相−固相(Vapor-Liquid-Solid : VLS)成長法により、SiとGeの混晶ナノ細線を成長し、酸化濃縮法によりSiO膜で被覆されたGeナノ細線を作製する。また、気相-液相-固相成長法により、Si結晶およびSiとGeの混晶からなる超格子ナノ細線を作製し、酸化濃縮法を利用してナノメートル(nm)スケールでサイズ制御された、SiとGeの混晶から成るナノディスク又はナノドットを周期的に配列したナノ細線を作製する。 (もっと読む)


【課題】固着、熱歪、転位の発生を抑制して、高品質で均一な単結晶炭化珪素エピタキシャル膜を形成する技術を提供する。
【解決手段】カーボン原料または単結晶炭化珪素基板の片面にシリコン薄膜を形成する工程、カーボン原料と単結晶炭化珪素基板との間にシリコン薄膜が配置されて所定の式を満たすように、坩堝内に下からシリコン基板、支持台、単結晶炭化珪素基板を積層して配置すると共に、坩堝蓋側からカーボン原料支持台、カーボン原料を接合して配置する工程、坩堝蓋をかぶせた坩堝をシリコンの融点温度以上に加熱してシリコン基板およびシリコン薄膜を融解させると共に坩堝蓋を坩堝の内壁高さまで下降させる工程、単結晶炭化珪素エピタキシャル膜の成長温度以上に加熱してシリコン融液の表面張力により懸垂保持された単結晶炭化珪素基板上に単結晶炭化珪素エピタキシャル膜を形成させる工程を備えている単結晶炭化珪素基板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】量子ドットの配列パターンを制御可能であり、多大な工数を要することなく量子ドット層を形成可能な新たな手段を提供する。
【解決手段】量子ドットの配列パターンに対応するパターンのレーザ光を、量子ドット材料の薄膜により形成されたソースフィルム25bに照射し、該レーザ光が照射された部位から前記量子ドット材料の微小液滴26を放出させ、ソースフィルム25bに対向配置した基板30に量子ドット材料の微小液滴26を固着させて、基板30上に前記配列パターンで複数の量子ドットを形成する。 (もっと読む)


【課題】酸素などの不純物濃度が低い窒化物半導体結晶を速い成長速度で製造する方法を提供する。
【解決手段】反応容器内で超臨界および/または亜臨界状態の溶媒3存在下にて窒化物半導体結晶2の成長を行う際に、鉱化剤としてハロゲン化亜鉛を使用する。なお、ハロゲン化亜鉛以外の化合物であるハロゲン原子、アルカリ金属、アルカリ土類金属、または希土類金属を含む化合物を併用してもよい。また、反応容器は、白金族又は白金族を含む合金からなるカプセルである。 (もっと読む)


【課題】太陽電池に用いられる化合物半導体膜においてはおり大面積・均一・低コストの生産性の高い製造プロセスが求められている。本実施例では、これらの化合物半導体膜の低温での大面積薄膜製造を可能ならしめる新しいプロセスを見出した。
【解決手段】我々は超臨界流体を反応溶媒として用いることで、低毒性な有機化合物を添加元素ソースとして、金属膜の変換による化合物半導体膜の製造プロセスを低温で行うことに成功した。一例として、セレン化プロセスをあげると、300℃という低温環境下において、添加元素ソースとして、毒性の低いジエチルセレンを用い、CuIn前駆体合金膜をセレン化することによりCuInSe化合物半導体膜を1時間程度の短時間で作製することに成功した。 (もっと読む)


【課題】高い発光強度を有するコアシェル構造の半導体ナノ粒子を製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体ナノ粒子の製造方法は、13族元素含有脂肪酸塩と、13族元素含有ハロゲン化物と、アルカリ金属アミドとを含む第1溶液を加熱して13族元素含有窒化物からなるナノ粒子コアを得るコア形成工程と、ナノ粒子コアと、13族元素含有脂肪酸塩と、アルカリ金属アミドとを含む第2溶液を加熱してナノ粒子コアが13族元素含有窒化物からなるシェル層により被覆された半導体ナノ粒子を得るシェル形成工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、新規な半導体シリコン膜及びそのような半導体シリコン膜を有する半導体デバイス、並びにそれらの製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明の半導体シリコン膜(160)は、複数の細長シリコン粒子(22)が短軸方向に隣接してなる半導体シリコン膜である。ここでは、細長シリコン粒子(22)は、複数のシリコン粒子の焼結体である。また、このような半導体シリコン膜(160)を製造する本発明の方法は、第1のシリコン粒子分散体を、基材(100)上に塗布し、乾燥し、光(200)を照射して、第1の半導体シリコン膜(130)を形成する工程、第2のシリコン粒子分散体を、第1の半導体シリコン膜(130)に塗布し、乾燥し、光(200)を照射する工程を含む。ここで、この方法では、第1のシリコン粒子分散体の第1のシリコン粒子の分散が5nm以上である。 (もっと読む)


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