国際特許分類[H01L21/326]の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置,他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置 (183,847) | 半導体装置またはその部品の製造または処理 (125,986) | 少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置 (97,574) | 不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置 (83,040) | 21/20〜21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理 (43,387) | 電流または電界の付加,例.エレクトロフォーミング用 (1)
国際特許分類[H01L21/326]に分類される特許
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III族窒化物系化合物半導体のp型活性化方法
【課題】p型半導体層のキャリヤー濃度を従来よりも高めて、p型半導体層のp型活性化を促進させること。
【解決手段】発光ダイオード100は、少なくとも上記のp型半導体層103の上面(コンタクト面103a)が電解液2に浸されている。対向電極3はカーボン又は白金から形成されており、配線4,5によって定電圧電源Eを介して上記の負電極104に接続されている。以上の構成により、コンタクト面103aの近傍及び対向電極3の近傍において、それぞれ以下の化学反応が促進されるため、これにより、p型半導体層103から多数の陽子(H+ )を離脱させることができる。
(コンタクト面103aの近傍): 2H+ + 2OH- → 2H2 O
(対向電極3の近傍): 2H2 O + 2e- → 2OH- + H2 ↑
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