説明

国際特許分類[H01L21/48]の内容

電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置,他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置 (183,847) | 半導体装置またはその部品の製造または処理 (125,986) | 少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置 (97,574) | 装置の組立に先立つ,部品,例.容器,の製造または処理であって,サブグループ21/06〜21/326の一つに分類されない方法を用いるもの (5)

国際特許分類[H01L21/48]に分類される特許

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【課題】接合工程での位置決め精度が高く、量産適用が可能な電子部品用積層体の製造手法を提供する。
【解決手段】接合工程では、リードフレーム21となる金属板21Aと、パターン化金属箔25Bを有する両面金属張積層体40と、スペーサー33となる金属板33Aとを、ろう接により形成した金属層を介して接合する。この際、金型121のピン121aを、治具111及び両面金属張積層体40に設けられた位置決め用の孔111c及び40aに挿入し、治具111に固定されたリードフレーム21となる金属板21Aと、両面金属張積層体40のパターン化金属箔25Bと、スペーサー33となる金属板33Aとが上下に重なり合うように配置した状態で、加熱しながら当接させる。 (もっと読む)


【課題】生産設備の認識センサの交換などの投資を掛けずに、アイランドを高密度に形成することのできる部品搭載用部材と、製品管理方法を提供する。
【解決手段】部品搭載用部材100は、短辺方向の同一列上の各アイランド11〜16に対応する良否識別マーク41〜52が、複数の短辺方向の列の延長上片側又は両側の領域に分散されて配置されており、短辺方向の同一列上の各アイランドに対応する良否識別マークの各位置は、部品搭載用部材を長辺方向に1ピッチずつ移動させた場合に重ならないように配置されている構造を有しているので、同一列上の各アイランドに対置する良否識別マーク同士の配置間隔を大きくとることができる。これにより、認識センサ3のサイズからくる高密度化に対する制約を受けにくくなり、生産装置の認識センサの交換など、投資を掛けることなく部品搭載用部材にアイランドを高密度に形成することができる。 (もっと読む)


アルミニウム充填ビアディスクは、対応するいくつかのグラファイト鋳型を伴う、積み重ねられ相互に配置されたアセンブリにおいて、金属缶の中へ設置される複数の穿孔された基板を利用して製造される。アルミニウム浸透インゴットが追加され、缶は、インゴットを溶融する温度まで過熱される。溶融されたアルミニウムは、ビアに流入するように加圧される。次いで、基板は、冷却され、缶から除去され、グラファイト鋳型間から分離され、平面の表面は、充填されたビアを曝露するように、研削および研磨される。
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【課題】空気漏れのないテープ状基板用のプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理空間を形成するチャンバの蓋部2にテープ状基板6の表面の電子部品構成部5の非形成箇所となる縁部6bに密着して所定の個数の電子部品構成部5を囲繞する第1のシール部材10を備え、基部3に第1のシール部材10と相対してテープ状基板6の裏面に密着する第2のシール部材を有する基部を備え、第1のシール部材10が、テープ状基板6の長さ方向に延伸された第1の辺10cと幅方向に延伸された第2の辺10dによって矩形枠状に形成され、テープ状基板6の縁部6bに第1の辺10cをそれぞれ密着させてプラズマ処理空間を密閉する。 (もっと読む)


【課題】キャリアに接着保持された電子部品のピックアップ作業を安定して高い生産性で行うことができる電子部品ピックアップ方法および電子部品搭載方法ならびに電子部品搭載装置を提供することを目的とする。
【解決手段】シート5に粘着層5aによって接着保持されたチップ6を保持ツール20によってピックアップする電子部品ピックアップ方法において、粘着層5aとして、紫外線を照射することにより窒素ガスを発生する化合物を含有した粘着剤を用いる。ピックアップ動作においては、チップ6の上面に保持ツール20を接触させるとともにチップ6の下方に光照射部8を位置させてこのチップ6の裏面側に位置する粘着層5aに対してシート5の下面側から紫外線を照射し、粘着層5aから発生した窒素ガスがチップ6の裏面と粘着層5aとの接合界面にガス層Gを形成した状態で、保持ツール20を上昇させてピックアップする。 (もっと読む)


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