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国際特許分類[H01L21/50]の内容

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【課題】追加機構が少なく低コストで、工程処理時間を長く確保することができるとともに、電子部品の搬送効率及び処理効率に優れた電子部品の工程処理技術を提供する。
【解決手段】電子部品Sを保持する複数の吸着ノズル110を備え、進行及び停止させるサイクルを繰り返しながら電子部品Sを搬送する搬送部100と、吸着ノズル110から渡された電子部品Sに、工程処理を施す処理機構1A〜4Bを備えた処理部200とを有する。吸着ノズル110は、電子部品Sを一つおきに保持するとともに、一つおきの処理機構1A〜4A(若しくは1B〜4B)へ電子部品Sを同時に渡し、これと異なるタイミングで、他の処理機構1B〜4B(若しくは1A〜4A)から処理を終えた電子部品Sを同時に受け取るように設定されている。 (もっと読む)


【課題】ステージ上に格子状に置かれている個片化された電子部品を、効率よくテーブルの上に搬送して千鳥状に配置し、更にテーブルの上から効率よく搬送することである。
【解決手段】個片化された電子部品の搬送装置のテーブルTAに、複数の電子部品Pのうち市松模様の一の色に相当する位置にある電子部品Pを収容する第1の収容部S1と、市松模様の他の色に相当する位置にある電子部品Pを収容する第2の収容部S2とが、隣接して設けられている。また、テーブルTAに2pのピッチで千鳥状に収容された複数の電子部品PのうちX方向に沿う1ライン分(5個)の電子部品Pを、一括して吸着して搬送する搬送機構が設けられている。搬送機構には、1ライン分の電子部品Pを各々吸着する複数の吸着機構が2pのピッチで設けられている。 (もっと読む)


【課題】設置スペースを小さくすることができる移載装置を提供する。
【解決手段】移載動作の開始を指示されると、移載装置100は、ベーステーブル112をX軸方向に適宜移動させるとともに、下テーブル113をY軸方向に適宜移動させることにより、下テーブル113に載置されたウェーハリング801に保持された移載対象チップの位置決めを行う。次に、チップ保持部120を下降させて、フィンガー部121で移載対象チップを把持することによって、移載対象チップをピックアップする。次に、ベーステーブル112をX軸方向に適宜移動させるとともに、上テーブル114をY軸方向に適宜移動させることにより、上テーブル114において移載対象チップを載置する位置の位置決めを行う。次に、チップ保持部120を下降させて、ピックアップした移載対象チップを所定の位置に載置する。 (もっと読む)


【課題】回路基板とモールド樹脂との剥離を抑制する。
【解決手段】電子部品14が実装された樹脂製の回路基板12と、回路基板12が載置されたリードフレーム18と、これらを一体に封止するモールド樹脂24と、を備えた樹脂封止型電子部品装置10において、回路基板12には、板厚方向に沿って形成されると共に板厚方向中間部にリードフレーム18側を向く段差部32を有して構成された樹脂充填部30が設けられ、モールド樹脂24の一部26は、樹脂充填部30に充填されている。この構成によれば、回路基板12とモールド樹脂24との密着性を向上させることができるので、モールド樹脂24に応力Sが作用した場合でも、回路基板12とモールド樹脂24とが剥離することを抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】部材の配列ピッチの異なる搬送治具間での部材の移動を可能にする配列ピッチ返送治具を提供する。
【解決手段】U字形状をした複数の大きさの異なるU字部同士が互いに入れ子状に配置されている。入れ子状に配置されたすべてのU字部を横方向に貫いて軸が挿入、配置されている。U字部の上部には、棒状部材を載置するための溝等で構成された部材保持部が形成、若しくは接合されている。複数の棒状部材を部材保持部で保持したまま、前記軸を回転中心として前記U字部を展開し、若しくは、展開した状態から閉じることにより、棒状部材同士の配列ピッチを変更することができる。
これにより、棒状部材の配列ピッチを変更して、搬送治具間での部材の移動をすることができる。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェーハのチップ搬送効率の大幅向上、部品点数の削減、装置のコストダウンをはかる。
【解決手段】ウェーハ1から切り出されたチップ4をピックアップ位置6からトレイ8のプレイス位置9に搬送するチップの搬送方法において、チップをウェーハからピックアップするコレット部12を、Z軸駆動機構によりわずかにウェーハに対して接近又は離脱するZ軸方向に往復運動させると共に、θ軸回転機構14により往復搖動回転するアーム部材45により並進運動させ、並進運動するコレット部によりわずかなZ軸方向の運動とアーム部材の往復搖動運動とによりチップをピックアップ位置からプレイス位置まで搬送する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構造で安価に製作でき、搬送時の発塵を抑制することができる搬送フレームおよび電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース層材3と、枠層材2と、電子部品を収容する複数の開口1aを有する位置決め層材1とによりフレーム本体5が構成される。位置決め層材1とベース層材3との間の枠層材2で囲まれた中空部6にばね層材4が装着される。ばね層材4の各開口4aには、位置決め層材1の開口端との間で電子部品を挟圧する弾性力を付与する小ばね部4bがばね層材4と一体的に形成されている。また、ばね層材4の長手方向の一端部には、装着状態で枠層材2の内面に当接して長手方向に沿った弾性力を付与する大ばね部4eがばね層材4と一体的に形成されている。本構成では、ばね層材4のみで、全電子部品が一括して位置決め固定される。 (もっと読む)


【課題】バイメタルを用いて、ワークにダメージを与えないように、ワークを微小な力で挟持することができ、かつ、信頼性、実用性及び生産性などに優れた挟持装置及びこの挟持装置を有する設備の提供を目的とする。
【解決手段】挟持装置1は、平行リンク機構の固定リンクとしてのベースプレート11と、原節としての一対のバイメタル13と、連接棒としての当接部材14とを有し、温度変化によりバイメタル13が変形すると、平行リンク機構により当接部材14が挟持方向に移動してベアチップ3を押圧し、ベアチップ3を挟持する。
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【課題】供給時において、板状ワーク同士の付着を確実に分離する。
【解決手段】部品組立装置のカセット内に積層される板状ワーク100aを取り出して所定の搭載位置まで搬送するワーク搬送装置140が、吸着ノズル142と、ノズル移動機構146と、吸着ノズル142を振動させる超音波振動子150と、吸着ノズル142が板状ワーク100aを吸着保持して移動する際に超音波振動子を振動させる制御装置160と、を備えるようにした。 (もっと読む)


【課題】連続方式のめっき層形成工程において、トラブル等によって搬送手段が停止した場合であっても、所定の合金組成の範囲内でめっき層を形成する。
【解決手段】リードフレーム11に搭載された半導体素子を封止する封止体1から導出されるリード部にめっき装置30を用いて錫系鉛フリー半田層をめっき形成する工程を備える半導体装置の製造方法で、めっき装置30は、複数の半導体チップが搭載されたリードフレーム11を保持しつつ、めっき処理部を所定の速度で、所定の方向に移動させる無端ベルト(リードフレーム搬送手段)36と、リードフレーム11の搬送中に、めっき処理部内に配置されためっき電極間(陽極41と無端ベルト36の間)に第1電流量を通電させる電源42とを備え、電源42は、無端ベルト36が停止している間は第1電流量よりも低い第2電流量をめっき電極間(陽極41と無端ベルト36の間)に通電させる。 (もっと読む)


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