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国際特許分類[H01L21/50]の内容

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【課題】この発明は板状部材を挟持して搬送するチャック機構と、その後端を押圧して搬送するプッシャ機構を1つの駆動モータで駆動する搬送装置を提供することにある。
【解決手段】板状部材を移動可能に支持する第1のガイドレール1と、第1のガイドレール1の側方に平行に配置された第2のガイドレール4と、第2のガイドレールに移動可能に設けられた可動体5と、可動体に設けられた板状部材を挟持して搬送するチャック機構14及びチャック機構によって所定の位置まで搬送された板状部材の後端を押圧して第1のガイドレールから排出するプッシャ機構30と、チャック機構が挟持した板状部材を第1のガイドレールの所定の位置まで搬送させてから、板状部材の後端をプッシャ機構で押圧させて第1のガイドレールから排出させるよう可動体を第2のガイドレールに沿って駆動する第1の駆動モータ11を具備する。 (もっと読む)


【課題】ウエハ片を良好に、かつ効率的に粘着シートから剥離して移載する。
【解決手段】複数に分割された状態でウエハシート8a(粘着シート)上に保持されているチップ部品7a(ウエハ片)を剥離して目標地点に移載する方法において、出力制御されたレーザー光を、前記ウエハシート8aのうち移載対象となるチップ部品7aが保持されている部分に照射することにより当該部分を収縮又は膨張させ、移載ヘッド4によりチップ部品7aを吸着することにより前記ウエハシート8aから剥離し、目標地点に移載するようにした。 (もっと読む)


【課題】供給装置において供給材の供給の迅速化と供給機構のコンパクト化を図る。
【解決手段】本発明の供給装置10は、複数の供給材16を縦に積み重ねて収容可能で、その端部に供給材を取り出すための取り出し口15cを備えた収容体15Aと、収容体の前記取り出し口に磁力により吸着保持される蓋体15Bと、収容体を着脱可能に装着する装着部13と、装着部に装着された収容体の取り出し口と対向する表面12aを備え、表面上に供給材に嵌合可能に構成された供給用収容凹部12c及び蓋体に嵌合可能に構成された蓋体用収容凹部12bを有し、少なくとも、蓋体用収容凹部が取り出し口に対向する初期位置、供給用収容凹部が取り出し口に対向する取出位置及び供給用収容凹部に嵌合した供給材を供給する供給位置の間を装着部に対して往復動作可能に構成された可動部材12と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】簡易な方法により半導体装置に含まれる複数の半導体チップの情報を管理し、複数の半導体チップを備える半導体装置の管理を可能にする。
【解決手段】半導体製造装置102は、ROMを搭載した複数のROM付き半導体チップのパターンを持つROM付き半導体ウェハ104と、ROMなし半導体ウェハ106を作成する。また、半導体製造装置102は、ROMに、ROM付き半導体チップの個別認識情報を書き込む。組立装置108は、ROM付き半導体ウェハ104から取り出した半導体チップと、ROMなし半導体ウェハ106から取り出した半導体チップをリードフレーム118に実装する。実装の際に、組立装置108は、ROMチップ情報114と通常チップ情報116とを製造システムサーバ112に送る。製造システムサーバ112は、ROMチップ情報114と通常チップ情報116とを組み合わせて、組み合わせ情報112として格納する。 (もっと読む)


【課題】重い部品を保持しつつ、迅速な部品搭載動作が確保でき、部品の端子状況に関らず安定した保持をして、部品を回路基板に搭載する際には、部品の回路基板に対する角度や部品内での加圧量などの搭載条件を調整可能とする。
【解決手段】部品102を吸着ノズル108で吸着して、該部品102を移動させて回路基板104に搭載する部品搭載方法において、1つの部品102に対して吸着する吸着ノズル108が、複数からなると共に、互いに独立した駆動源116、117を備え、前記駆動源116、117のうちの前記回路基板104に垂直方向の移動機構の駆動源116に制御指令を伝えて、該複数の吸着ノズル108を外乱オブザーバ200と軸ねじれ反力推定オブザーバ202とを用いて共振比制御する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構造で、容易に位置決めすることができ、反りや曲がりを矯正した状態を保つことができる位置決め治具の提供。
【解決手段】端部に素子固定部を有するリードと、前記リードを複数連設するタイバーとを備えてなるリードフレームの位置決め治具であって、前記リードが直立した状態で挿入され、前記リードフレームが狭着固定されるリードフレーム挿入用溝が形成された支持部材を有し、前記支持部材は、その上面が前記素子固定部の外側底部と当接する上部当接面を有することを特徴とするリードフレームの位置決め治具。 (もっと読む)


【課題】スプロケットホールの間隔より狭いピッチでフレキシブル基板を搬送できるフレキシブル基板の搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置は、スプロケットホールを有するフレキシブル基板1を搬送する装置であり、スプロケットピン3aを有するスプロケットガイド3と、円周上に前記一定ピッチの1/N倍ピッチ(N:2以上の整数)で配置された切欠き6aを有するガイド板6と、スプロケットガイド3及びガイド板6を同じ回転速度で回転させる回転機構と、切欠き6aに対向するように配置され、ガイド板6を回転機構によって回転させた際に切欠きが通過した数を検出する検出部7と、検出部によって検出した切欠きの通過した数に基づいて回転機構を制御することにより、スプロケットガイド及びガイド板それぞれの回転量を制御する制御部と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】幅広リードフレーム用の半導体パッケージ製造装置及びこれを利用した半導体パッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】第1面とその反対側の第2面とを有するリードフレーム70を両方向へ移送するインデックス・レール120、インデックス・レール120の一端部に連結されてインデックス・レール120にリードフレーム70を供給するローダ部110、インデックス・レール120の一端部の反対側端部に連結されてリードフレーム70を第1面に対する垂線を中心に回転させるフレーム駆動部140、及びインデックス・レール120に供給されたリードフレーム70に半導体チップを付着するダイアタッチ部130を備える半導体パッケージ製造装置である。 (もっと読む)


【課題】 粘着剤層と各チップとの接着面にエアが混入したとしても、該チップを該粘着剤層からピックアップする際のピックアップ力を安定させ、ピックアップミスを少なくすることができ、チップを保管、搬送する際には該チップが脱落することのないダイソートテープを提供すること。
【解決手段】 本発明のダイソートテープは、基材フィルムと、その上に形成された粘着剤層と、前記粘着剤層の表面に仮着された剥離フィルムとからなり、前記粘着剤層の23℃における貯蔵弾性率が1×10〜1×10Paであり、そのプローブタック値が50〜3920mNであり、前記剥離フィルムの粘着剤層側表面の表面粗さ(Ra)が10μm以下であることを特徴とする。
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【課題】電子部品を直接吸着して保持し、しかも形状や寸法の異なるICチップのハンドリングに適応することができるバキュームハンドを提供する。
【解決手段】ロボットアームに支持されて移動するハンド本体10と、ハンド本体10に着脱可能に接続する延長手段20と、延長手段20下部の挿入空間21e内に収容され下端から突出した状態から引っ込んだ状態になる吸着筒体30と、ハンド本体10と延長手段20とを接続する接続手段40と、を有する。ハンド本体10は、空気吸引通路1aとなる貫通孔が設けられた垂下状の筒体13を有する。延長手段20は、挿入空間21e下端に一段大きい収容空間21cを有し、ハンド本体10の筒体13下端にアダプタ41aを介して装着したアタッチメント41bに着脱可能に接続される。吸着筒体30は、空気吸引通路1aと連通するように取り付けられる。 (もっと読む)


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