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国際特許分類[H01L21/60]の内容

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【課題】接続端子を用いた接合において接続不良や回路の不良を防止する
【解決手段】半導体装置1の電極7に電気的に接続される接続端子8を有する。接続端子8は、他の部品との接合に用いられるもので、金属端子10の先端に加熱によって溶融する溶融金属11が配置されている。溶融金属11は、第1の溶融金属12と、第2の溶融金属13との積層構造を有し、第2の溶融金属13の融点は第1の溶融金属12の融点より低い。第1及び第2の溶融金属12,13を電解めっき法で順番に形成した後、マイクロ波を照射して第2の溶融金属13のみを溶融させ、ドーム形状に整形する。 (もっと読む)


【課題】シリコンよりなるシリコン部品の一面側に設けられたワイヤボンディング用のパッドに、ウェッジボンディングによりワイヤを接続するワイヤボンディング方法において、パッドの下地であるシリコンよりなる基部を傷つけることなく、接合後のワイヤに対して確実にワイヤカットを行えるようにする。
【解決手段】ワイヤカット工程では、ワイヤ30を加熱して溶融させるプラズマ照射手段200を用い、ワイヤ30における外れ部30bがシリコンよりなる基部21の一面21aから浮いた状態となるように、外れ部30bをワイヤ30における接合部30aよりも上方に引っ張り上げつつ、プラズマ照射手段200のトーチ210によって、基部21の一面21aと平行な方向Yから外れ部30bにプラズマを照射して加熱を続けながら、外れ部30bを溶融させて接合部30aから引きちぎるようにした。 (もっと読む)


【課題】微細化及び狭ピッチ化に対応して、精度良くバンプ電極を形成することができる半導体チップ接続用バンプ電極の形成方法を提供すること。
【解決手段】フリップチップ半導体パッケージ基板の半導体チップとの接続用バンプ電極2形成手段であって、前記基板の金属配線によって電極パッド8を構成し、ソルダーレジスト層7とめっきレジスト層15を一括で開口し、電極パッド8を露出させた後に給電層14を形成し電解めっきにより金属層22を形成する。次に開口の内部以外の電解めっき層22及び給電層14を除去し、めっきレジスト15を除去し、電極バンプ23を完成させる。電極バンプ23はソルダーレジスト7開口との位置ズレがなく、ソルダーレジスト7開口と同じ径で形成されるので、微細化、狭ピッチ化に適したパッケージ基板を提供できる。 (もっと読む)


【課題】 3次元実装のプロセスに親和性のある、高精度のアライメントを提供すること。
【解決手段】 複数のシリコンチップ間においてはんだバンプが溶融した場合に、複数のシリコンチップ同士の横方向の相対的な動きを規制する複数のスタッド(40)の組合わせであって、複数のシリコンチップ間に配置される複数のはんだバンプ(10)のピッチに従い、これらの横方向の位置をリファレンスにして横方向位置が決定されていて、複数のシリコンチップが横方向に相対的に移動した場合に相対的に動きが規制されて、複数のシリコンチップのそれぞれに設定された複数のはんだバンプ同士の横方向位置が(高さ方向において)整列するように、一方のシリコンチップおよび他方のシリコンチップにおいて複数のスタッド(40)が設けられる。 (もっと読む)


【課題】最近半導体チップの電極部に形成するハンダバンプが微小化してきており、ハンダボールを用いて印刷する場合にハンダボールも微小化されている。このため印刷ハンダボールを精度良く印刷することが求められている。
【解決手段】ハンダボールの印刷するための充填ヘッドが回転軸に設けた8角形の固定部材の各面毎に、スキージホルダを固定し、該スキージホルダに複数の線材からなるスリットスキージを取り付け、所定の押付力でマスク面に押し付けながら回転軸を回転させながら充填ヘッドを移動させることでハンダボールを効率よくマスク開口部に充填する構成とした。 (もっと読む)


【課題】従来の回路基板より厚みの薄いガラス基板と半導体素子との接続に用いられた場合でも、優れた接続信頼性を維持しつつガラス基板の変形を抑制でき、しかもフィルム形成性にも優れる接着剤フィルム回路接続用接着フィルムを提供すること。
【解決手段】本発明は、接着剤組成物4b及び導電粒子5を含有する導電性接着剤層3bと、接着剤組成物4aを含有し、導電粒子を含有しない絶縁性接着剤層3aと、を備え、絶縁性接着剤層3aの厚みTiと、導電性接着剤層3bの厚みTcとが、下記式(1)の関係を満たす回路接続用接着フィルム10に関する。
Ti/Tc≧1.5 ・・・(1) (もっと読む)


【課題】部品実装装置において、装着ヘッドが部品を基板に装着する際の部品の下降ストロークを短くして部品実装装置全体のコンパクト化を実現するとともに部品の装着精度を向上させることができる反転ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】両端が支持されて水平方向に延び、水平軸CX回りの回転が自在であるとともに側面にノズル20aを保持したノズルホルダ34が、両端が支持されて水平方向に延び、内部に真空路が形成されたノズルベース51、ノズル20aをノズルベース51の側面に係止してノズル20aとノズルベース51内の真空路(ノズルベース内真空路72)とを連通させるノズル係止部材53及びノズルベース51の両端部の外方からノズルベース51の両端部にスライド装着されてノズル係止部材53をノズルベース51に固定する一対の固定部材54を備える。 (もっと読む)


【課題】ICチップのプロセスばらつきによって高周波特性がばらついた場合でも、回路特性を最適化できるICチップを基板にフリップチップ実装する無線装置を提供する。
【解決手段】無線装置は、マイクロ波、ミリ波帯の電力増幅器用高周波ICチップ100、バンプ102、入力端子103、出力端子104、基板105、アンダーフィル106、プロセスばらつき検出部110を有する。プロセスばらつき検出部は、プロセスばらつきによる回路特性の変動量をモニタし、モニタされた回路特性の変動量を用いて、算出されたパラーメータを有するアンダーフィル106が、基板105とミリ波帯の電力増幅器用高周波ICチップ100との間に充填されることで、プロセスばらつき及びアンダーフィルの影響があっても、所望の回路特性が得られる無線装置を提供できる。 (もっと読む)


【課題】電子デバイスを小型化、低背化し、且つコストを低減する手段を得る。
【解決手段】電子デバイスは、第1の電子素子20と、第1の電子素子20を搭載する絶縁基板11と、を備えた電子デバイスであって、絶縁基板11は一方の主面に第1の電子素子20を搭載する電極パッド12を有すると共に、他方の主面に実装端子13を備え、第1の電子素子20に設けた端子と電極パッド12とは、接続用導電部材15を介して導通接続されている。 (もっと読む)


【課題】接着剤が付着した半導体チップ個片を効率的に得ると共に、半導体チップと配線基板とを良好に接続する。
【解決手段】半導体デバイスの製造方法は、半導体ウェハ6の回路面6aがダイシングテープ9側を向くように、ダイシングテープ9、接着剤層3及び半導体ウェハ6がこの順に積層された積層体60を準備する。半導体ウェハ6の裏面6bから回路面6aの回路パターンPを認識することによってカット位置を認識する。少なくとも半導体ウェハ6及び接着剤層3を、積層体60の厚み方向に切断する。切断後、ダイシングテープ9と接着剤層3とを剥離させることによって半導体チップ26を作製する。この半導体チップ26の突出電極4と、配線基板40の配線12とを位置合わせする。配線12と突出電極4とが電気的に接続されるように、配線基板40と半導体チップ26とを接着剤層23を介して接続する。 (もっと読む)


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