国際特許分類［H01L21/67］の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置，他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置 (183,847) | 製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置；半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置 (11,346)
国際特許分類［H01L21/67］の下位に属する分類
特に適合するキャリアを使用するもの (993)
移送のためのもの，例．異なるワ―クステーション間での移送 (4,133)
位置決め，方向決め，または整列のためのもの (1,768)
支持または把持のためのもの (4,099)
国際特許分類［H01L21/67］に分類される特許
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ワーク検出機構
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ＬＥＤチップもしくはＬＤチップの粘着シートからの剥離搬送装置
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部品供給装置および部品位置認識方法
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ウエハ関連データ管理方法及びウエハ関連データ作成装置
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部品移載装置および部品移載装置における吸着位置調整方法
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半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置
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チップ部品支持装置及びその製造方法
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半導体チップ突き上げ駒，半導体チップ突き上げ装置，及び半導体チップの突き上げ方法
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板状体の検出装置とケースポート及び保管装置
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基板処理システム、基板搬送方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
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