【課題】 数枚の基板を載置できる基板搬送トレイであって、ＣＶＤ成膜装置内で用いた場合に異常放電が発生しにくい基板搬送トレイを提供する。
【解決手段】基板搬送トレイ１は、複数の凹部１１がその一方面１２に形成され、凹部に基板Ｓが載置されて搬送される基板搬送トレイであって、基板搬送トレイの一方面に絶縁膜２１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板ホルダの識別情報を管理して、基板貼り合せ装置の故障を防止する。
【解決手段】複数の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、複数の基板をそれぞれ保持し、固有の識別情報が割り当てられた複数の基板ホルダと、前記複数の基板ホルダに保持された前記複数の基板を貼り合わせる貼り合わせ部と、前記複数の基板ホルダに割り当てられた前記識別情報を認識する認識部と、前記認識部により認識された識別情報が重複する場合に、その旨を出力する出力部とを備える基板貼り合わせ装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】容器本体の側壁の撓み変形や歪みを抑制でき、ガラス基板等の板状体の撓みを防ぎ、溝外れ及び干渉による破損を防止でき、板状体の薄肉化にも対応できる、板状体の搬送容器を提供する。
【解決手段】相対向する側壁１２ｂの内面に板状体の側端部を支持する支持用溝１３を設けた容器本体１と、蓋体３と、中蓋５とを備え、中蓋５を、四周各辺部５１ａ，５１ｂを側壁上端部の内側に嵌合することにより容器本体１の側壁１２ａ，１２ｂの変形を抑制できる板体よりなるものとし、少なくとも一方の相対向辺部５１ｂの側端面に突設した突縁５ａ，５２ｂを、容器本体１の側壁上端部の内側に形成された切欠段部２２ａ、２２ｂに嵌合して所定位置に位置決めするように設ける。 （もっと読む）

【課題】張設部材によって外周部分を固定されて張設状態とされた弾性フィルムに被分割体を貼付した状態で当該被分割体を分割してなる分割個片群を、観察・評価その他のために良好に供することができる搬送方法を提供する。
【解決手段】当該分割個片群を搬送する方法が、中央部にくりぬき部を有する平板状をなし、かつ、少なくとも一方の主面が弾性フィルムに対して直接または間接に貼付固定可能な貼付部とされてなる搬送用治具を準備する準備工程と、くりぬき部に分割個片群が位置するように搬送用治具の貼付部を弾性フィルムに貼付固定する貼付工程と、貼付部が弾性フィルムに貼付された状態で搬送用治具の外周端部よりも外側で弾性フィルムをカットし、カット位置より内側の部分を被搬送体として得る取得工程と、被搬送体を搬送する搬送工程と、を備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】ウエーハ及び／又は搬送手段を破損させてしまう恐れのないウエーハ収容カセットを提供することである。
【解決手段】複数のウエーハを収容可能なウエーハ収容カセット３２であって、対向する一対の側壁３３ａ，ｂの内面にウエーハを収容する左右で高さの揃った複数対の収容棚５６が形成されるとともに、該収容棚５６にウエーハを出し入れする開口部５４を前面に有するカセット本体３３と、該カセット本体３３に着脱自在に装着されて該開口部５４を覆うとともに、該複数対の収容棚５６に対応する複数の貫通スリット６４を有するウエーハ入れ補助板６２と、該カセット本体３３と該ウエーハ入れ補助板６２とを着脱可能に係合する係合手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであり、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供する。
【解決手段】 正面に開口部を有する容器本体と、容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部材とを備える。各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成される。一対の支持部の高さが同じ支持板によって規制板を載置させるともに、規制板を載置する支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる。規制板は、平面的に観た場合、収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される簡易な構成の位置規制手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透明性に優れ、しかもアウトガスの発生が少ない新規な樹脂成形品及び樹脂成形品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】素材Ｐとしてのポリプロピレン系樹脂組成物を、加熱筒２の上流側から間欠的に供給し、供給された素材Ｐを加熱筒２の軸心に沿って加熱筒２内に配されたスクリュー３を回転させることによって加熱筒２の上流側から下流側に順次輸送し、加熱筒２を加熱すると共に加熱筒２内を減圧することによって、素材Ｐからガス成分を遊離させつつ、ベント孔４を介して除去する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップトレイと半導体チップの搬送方法において、搬送時に半導体チップが不良品になるのを防止すること。
【解決手段】交互に重ねたときに半導体チップ２を収容する空間Sが形成される半導体チップトレイであって、表面２０ｘに半導体チップ２を収容するポケット２０ａが形成されたと共に、裏面２０ｙに半導体チップ２を覆うキャビティ２０ｂが形成され、ポケット２０ａの開口端２０ｅとキャビティ２０ｂの開口端２０ｆとを平面視で交差させた半導体チップトレイ２０による。 （もっと読む）

【課題】本発明は、密閉型容器内部の雰囲気に起因する反応物の生成を抑制することを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置１は、被処理物であるウエーハ１０、ウエーハ１０を収納する密閉型容器のＦＯＵＰ２０、半導体処理装置であるエッチング装置３０及びＦＯＵＰ２０とエッチング装置３０との間を密閉状態でウエーハ１０の搬送を行うＥＦＥＭ４０を有する。ＦＯＵＰ２０は、前面扉２０ａ、内側に温度と湿度とガス濃度との少なくとも一つを検知するセンサ部２１及びこのセンサ部が検知した情報を送信する送信装置２５を有する。受信装置３１は、送信装置２５からの情報を受信し、その情報をパージ部４３に供給する。パージ部４３は、ＦＯＵＰ２０内の温度などが予め定めた基準値を満足するまでパージを行う。 （もっと読む）

【課題】基板のセット時や搬送時の衝撃により被処理基板の被処理面に傷や割れが発生することを抑制できる基板ホルダー及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】被処理基板を支持するホルダー本体が、被処理基板Ｓの被処理面を露出させる第１開口２１２を有し、被処理基板Ｓの被処理面側の外周部に当接するマスク部材２１と、第１開口よりも広い第２開口１１３を有し、マスク部材の外周部に当接して被処理基板の被処理面を第１開口を介して第２開口から露出させた状態でマスク部材を支持して被処理基板を支持する支持部材１１と、支持部材とマスク部材とが当接する領域に設けられた衝撃吸収性を有する緩衝材１２とを備える。基板搬送装置はこれを有する。 （もっと読む）