【課題】ラベル貼り機を用いて半導体デバイス上にラベルを貼る際、半導体デバイスをぐらつかないよう固定する。
【解決手段】半導体デバイス３を載せたICトレー２の上にデバイス固定板４を搭載する。デバイス固定板４をICトレー２の上に搭載すると、デバイス固定板４の突起がICトレー２と半導体デバイス３の隙間に入り込み半導体デバイス３の位置が補正される。ICトレー２上の半導体デバイス３の位置が固定されることになり、ラベルを貼る位置が半導体デバイス毎に変わることがなくなる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの支持構造を効率的に検討し、検討に要する時間を短縮できる半導体ウェーハの支持構造検討装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハよりも大きいベース板１０に、半導体ウェーハの周縁部に干渉するサポート具２０を設けた支持構造検討装置であり、ベース板１０に、半導体ウェーハの周縁前部に対して進退動可能なスライダ１２を配置する。また、サポート具２０を、半導体ウェーハの周縁後部を挟持する第一のサポート具２１と、半導体ウェーハの周縁両側部を支持する第二のサポート具３０と、半導体ウェーハの周縁前部を挟持する第三のサポート具３２とから構成し、ベース板１０とスライダ１２のいずれか一方には、スライダ１２の進退動量を検出する変位検出器４０を設置し、スライダ１２に、第一、第三のサポート具２１・３２に挟持された半導体ウェーハ用の荷重検出器４１を設置する。 （もっと読む）

【課題】ウェハキャリアに挿入される枚数に関係なく半導体ウェハに均等なクッション効果を発生することができるキャリアテーブルを提供する。
【解決手段】ウェハキャリアａの開口した底部に位置して挿入される半導体ウェハｂの下縁部に中空で柔軟なウェハクッションｉが接触する。ウェハクッションｉに流体ポンプｆが流体を加圧して供給する。ウェハクッションｉに供給される流体の圧力を圧力計ｈが検出する。ウェハキャリアａに挿入される半導体ウェハｂの枚数に対応してウェハクッションｉに供給される流体の圧力を加圧量演算器ｇが制御する。 （もっと読む）

【課題】研磨後の多数枚のウェハを効率的に省スペースで水没させて保管し、また、ウェハの表面にウォータマークが形成されず且つ傷がつかないウェハ収納装置を提供する。
【解決手段】水槽５の水面より上部に置かれたカセット４を水平にし、且つリンス機構９のノズルバー９ａをカセット４の後部へ移動して、研磨後のウェハ３をカセット４に上下方向多段に個別に効率よく収納する。全てのウェハ３がカセット４に収納されたら、傾斜手段８によってカセット４を１°〜２０°の範囲で傾斜させ、ノズルバー９ａによってウェハ３の表面にリンス水を噴射させる。次に、カセット昇降機構７によって、カセット４を水槽５の内部の水中へウェハ１枚分の間隔で沈める。カセット４を水槽５から引き上げるときも、傾斜手段８によってカセット４を傾斜させながら引き上げる。これにより、ウェハ３が傷ついたりウォータマークが形成されることなく、効果的にウェハ３の収納・洗浄・搬送を行える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ収納容器洗浄後のブリージングフィルターユニット内部の水分の除去を容易にすると共に、N_２ガスパージの開始前にブリージングフィルターユニット内部、パージ装置のノズルユニット、バルブ、配管に付着している塵を事前に除去する。
【解決手段】筒状筐体４１の上方に開口された上端開口部４６にフィルター６を備える一方、前記筒状筐体４１の底部４２に、N_２ガス供給側通気開口7と残留ガス排気側通気開口８の２個の通気開口をそれぞれ開口すると共に、前記N_２ガス供給側通気開口７にブリージングフィルターユニット１の内部にN_２ガス３０が供給されるときだけ開くシャッター手段１０と、前記残留ガス排気側通気開口８に前記ブリージングフィルターユニット１内の残留ガス３１が、該通気開口より排出されるときだけ開くシャッター手段と１１を設置する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ収納および取り出し性能を損なうことなく、輸送中のウェハ把持能力を上げることで、輸送中の振動から発生する異物によるウェハの汚染を抑制をできるウェハボックスを提供する。
【解決手段】複数の半導体ウェハ１２を間隔を隔てて保持するスリット溝１７が両側面に複数形成されたウェハカセット１３と、半導体ウェハ１２を保持したウェハカセット１３を収納するケース１４とからなるウェハボックス１１において、両側面の間隔を半導体ウェハ１２の外径より狭く形成して、スリット溝１７から半導体ウェハ１２の径方向両端１８を突出させて保持するウェハカセット１３と、両側面とケース１４との間に挿入されると共に、エアＧが注入されて膨張し半導体ウェハ１２の径方向両端１８をウェハカセット１３と共に把持する一対のエアバッグ１９とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にも拘わらず、たとえ異なる方向から観ても、容易に基板収納容器を区別できるように構成した基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有しこの開口を通して基板を収納する容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器である。容器本体の第１外壁面とこの第１外壁面と隣接する第２外壁面との稜線部に、識別プレートが第１外壁面側および第２外壁面側に延在された幅を有して取り付けられている。識別プレートは着色されている。 （もっと読む）

【課題】搬送や輸送の際に薄い半導体ウェーハが損傷したり、破損するおそれを有効に排除することのできる基板用保持具を提供する。
【解決手段】保持リングの可撓性を有する粘着層５にバックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持させる基板用保持具１であり、保持リングを第一、第二の保持リング２・２Ａとし、この第一、第二の保持リング２・２Ａを上下二段に積層してその近接して相対向する一対の粘着層５の間に薄い半導体ウェーハＷを挟持させ、第一の保持リング２の粘着層５と第二の保持リング２Ａの粘着層５のいずれか一方を強粘着層６とするとともに、他方を弱粘着層７とする。強粘着層６と弱粘着層７が薄い半導体ウェーハＷを全面に亘って挟持し、しかも、上下方向に撓んで搬送時等の振動や衝撃を吸収したり、減衰するので、薄い半導体ウェーハＷを十分に保護することができる。 （もっと読む）

【課題】膜の品質を低下させることなく、ウエハを保持しつつ、非接触搬送装置を用いて好適に搬送できるウエハホルダを提供する。
【解決手段】ウエハホルダ１Ａは、ウエハＷを保持し、主面５には、凹状のポケット部１０Ａが形成され、ポケット部１０Ａは、ウエハＷが載置される底部２０と、主面５及び底部２０に連なる側壁部３０とによって構成され、主面５から底部２０までの深さＤは、ウエハ厚みＨの５０％よりも深く、側壁部３０は、主面５に連なる側壁上部３２と、側壁上部３２及び底部２０に連なる側壁下部３４とを有し、底部２０の中心Ｏを通り主面５に垂直な断面において、側壁上部３２と側壁下部３４との接点である側壁接点Ｋは、底部２０からウエハ厚みＨの５０％より高く、底部２０と反対側のウエハ表面２００より低い範囲にあり、前記断面において、主面接点Ｐが側壁接点Ｋよりも中心軸Ｃから離れるように、側壁上部３２は、傾斜する。 （もっと読む）

【課題】部品などの対象物の形状やサイズが厳密に一様でなくても、対象物を固定する力が一様にかかり、十分に固定することが可能な搬送フレームを提供するとともに、金属板部材同士が良好に接合可能であり、過酷な使用環境下でも耐久性の高い搬送フレームの製造方法を提供する。
【解決手段】対象物の一時的固定のために、弾性体として平面スパイラルバネ４０、４２を用い、対象物の挿入時に平面スパイラルバネが圧縮されて効果的に対象物が２次元的に移動しつつ挿入されるようにした。表面より３nmの深さの酸素原子濃度が１５at％未満の素材からなる複数枚の金属板部材を用いて金属板部材同士が所定箇所でのみ接合されるよう、拡散接合を施し、使用時の耐久性を高めた。 （もっと読む）