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国際特許分類[H01L21/673]の内容

国際特許分類[H01L21/673]に分類される特許

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基板ケースは、回路生成プロセスが施された回路領域を有するシート状の基板が巻きつけられる軸部と、当該軸部に巻かれた状態の基板を収容するカバー部とを備え、軸部は、基板の巻き始めの一端部のうち、回路領域と異なる領域を保持する保持部を有する。
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【課題】基板収納容器の各スロットに収納されている基板の収納状態を定量的に表す指標として少なくとも基板の飛び出し量及び基板の垂れ量を簡易な構成で速やかに検出する。
【解決手段】基板11の配列方向及び基板11の搬出方向に交差する方向から見た各スロットに収納されている基板11の開口部19側の端部の画像を撮像する撮像手段3と、撮像手段3により撮像された画像に基づいて、各スロットに収納されている基板11の収納状態を定量的に表す指標として、所定の収納位置から開口部19の前方へと飛び出している基板11の飛び出し量と開口部19側の端部が垂れている基板11の垂れ量とを検出するとともに、検出された基板11の飛び出し量及び垂れ量を出力する基板収納状態検出手段61と、を備える基板収納状態検出装置。 (もっと読む)


【課題】ケース内に収納された大型ガラス基板の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送する手法を提供すること。
【解決手段】本発明では、ガラス基板搬送用ケース(10)の4辺の各周辺部のうちの対向する2辺の周辺部の中央部のそれぞれに、ガラス基板(11)を収容した状態のケースを水平面に対して傾斜可能とするための旋回治具(18a、18b)を設け、この旋回治具(18a、18b)を搬送用台車30の枠体31の柱部の頂部に設けられた治具(32)で支持し、所定の角度範囲での傾斜を可能とした。これにより、高さおよび幅方向どちらも制限された通路でもケース(10)を傾斜させて搬送することが可能となり、ケース(10)内に収納された大型ガラス基板(11)の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】
を実現する。
【解決手段】半導体基板トレー本体の所定小口径半導体基板が配置される位置に設けられ前記小口径半導体基板との接触面が碁盤目の複数の凸部の集合体で形成されるように前記半導体基板トレー本体に十文字に設けられた溝と、前記半導体基板トレー本体に設けられ前記接触面の反対面から前記溝に貫通し真空引きを行う貫通孔と、前記小口径半導体基板のオリフラの両端位置に対応して前記接触面に直交して前記半導体基板トレー本体に設けられた円柱状の第1,第2の位置決めピンと、前記半導体基板トレー本体に設けられこの第1,第2の位置決めピンと前記小口径半導体基板の3点接触位置決めをする円柱状の第3の位置決めピンとを具備したことを特徴とする半導体基板トレーである。 (もっと読む)


【課題】取り付けおよび取り外しが容易で、しかも確実に本体に固定できるハンドルを有する基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納容器は、所定の挿入方向に前記基部を擦動可能に案内する一対のレール溝7と、ストッパーリブ8とほぼ平行に形成される係合リブ9と、基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブ9に当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部14と、前記ハンドル3の基部をレール溝7に挿入して摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブ9を超えた後に、前記貫通穴に挿入される係止部材とを備え、前記係止部材の貫通穴への挿入により、当該係止部材と前記脚部で前記係合リブ9を挟持して、前記ハンドル3を前記容器本体1に固定する。 (もっと読む)


【課題】 被処理基板に傷や割れが発生することを抑制できると共に、部品点数が少なく、パーティクルが付着しにくい基板ホルダー及びこれを用いた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板ホルダー1は、被処理基板Sの被処理面側の外周部に当接する当接部112と、被処理基板の被処理面を露出させる開口113とを有し、被処理基板の被処理面を露出させた状態で当接部で被処理基板を支持する支持部材を備え、当接部112には、被処理基板の端部に対向する位置に凹部14が設けてある。基板搬送装置は、これを備える。 (もっと読む)


【課題】レチクルを保護する保護部材を設けた場合でも、レチクルを搬送して露光装置の取り付ける場合に、適当な位置に取り付け可能なレチクル搬送装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置29はレチクル1の下面に形成された位置測定用マーク26の位置を測定し、これによりレチクル1の位置を測定する。位置測定装置30は、下蓋2bの下面に形成された位置測定用マーク27の位置を測定し、これにより下蓋2bの位置を測定する。レチクル1の位置と下蓋2bの位置が分かれば、レチクル1と下蓋2bの相対的な位置ずれが分かる。よって、搬送装置によりレチクル1を搭載した下蓋2bを搬送して露光装置にセットするとき、このずれを勘案して下蓋2bの停止位置を決定することにより、レチクル1を正しく露光装置にセットできる。 (もっと読む)


【課題】ゴム系材料からなるワークの冷却切削を行う際に、ワークを効率良く冷却する搬送治具を提供する。
【解決手段】
本発明の搬送治具は、ゴム系材料を含んで構成されるワーク10の冷却切削に用いられる搬送治具100であって、第1の面においてワーク10を搭載するように構成され、第1の面とは反対側の第2の面において冷却チャック70に接触するように構成された固定板20と、ネジ25を用いて固定板20に固定された断熱板30と、固定板20に接触することなく、ネジ35を用いて断熱板30に固定されたワーク支持枠体40とを有する。 (もっと読む)


【課題】加工装置のセンサが被検出領域を誤検出するのを防ぎ、後の作業にエラーが生じたり、プロセスの停止を招くおそれを払拭できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート1上に搭載される半導体ウェーハ収納用の容器本体10と、この容器本体10の底部に形成されてロードポート1の複数の位置決めピン4上にそれぞれ嵌合する複数の位置決め芯出し具14とを備え、容器本体10の底部に、ロードポート1の位置決めピン4に位置決め芯出し具14が適正に嵌合する場合にロードポート1のセンサ3に対向して検出される被検出領域50と、この被検出領域50の周囲に位置する非検出領域51とを配設し、被検出領域50の高さを非検出領域51よりも相対的に高くしてロードポート1のセンサ3が被検出領域50を誤検出するのを防止する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、基板またはウェーハーの収容のための、および、プロセス設備内への、またはこれらプロセス設備を通っての移送のための、基板支持体に関する。本発明でもって、可能な限り広範に使用可能な、もしくは、簡単に、実際的な役目のために容易に適合可能な、および、材料を節約する基板支持体が、提供されるべきである。
【解決手段】 上記の課題は、長手方向支持体および横方向支持体2、3から形成された、フレーム1の内側で、多数の長手方向ウェブおよび横方向ウェブ4、5は、基板の直接的または間接的な収容のための基礎格子が形成されるように、互いに格子体状に交差して設けられており、且つ、互いに結合されていることによって達成される。長手方向支持体および横方向支持体2、3と同様に、長手方向ウェブおよび横方向ウェブ4、5は、形状的に係合して、互いに結合されている。
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