【課題】基板保持用枠体は、大型ガラス基板を載置し、複数枚を積層して搬送あるいは保管に用いられ、搬送時の衝撃や振動に対しての強度が求められると同時に発塵による基板への異物付着や傷による製品の品質不良の発生を防止することが求められる。２メートル角程度の大サイズ基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】少なくとも対向する２辺の金属枠部１１のそれぞれの上面に、基板保持用枠体１０を懸垂するための複数の開口部１７を有する。 （もっと読む）

【課題】粘着層にマニュピレータを圧接してその先端部を十分に埋没させ、粘着層に電子部品を適切に密着したり、電子部品のピックアップ不良を防止できるマニュピレータ用粘着トレイを提供する。
【解決手段】トレイ１に粘着性の粘着フィルム５を積層し、この粘着フィルム５の表面６に、マニュピレータ２０の一対の保持爪２１でピックアンドプレースされる複数の電子デバイス２２を着脱自在に粘着保持する粘着トレイであり、トレイ１のトレイ本体３表面と粘着フィルム５の裏面との間に、２００μｍ〜１ｍｍの厚さを有する弾性のクッション層１０を介在接着してその硬度をショアＡ硬度で７０Ｈｓ以下とし、トレイ１の厚さ方向に真空回避孔４を穿孔し、クッション層１０に通気性を付与してトレイ１の真空回避孔４からの空気を粘着フィルム５とクッション層１０との界面１１に導入可能とする。 （もっと読む）

【課題】気体を効率的に置換してその作業の迅速化や効率化を図ることができ、容器本体からの蓋体の取り外しを容易にして基板を円滑に加工等できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体１と、容器本体１の開口した正面７に嵌合される蓋体２０と、容器本体１と蓋体２０の間に介在される変形可能なシールガスケット３０とを備え、容器本体１の正面内周にシールガスケット３０用のシール形成面８を形成し、蓋体２０の裏面周縁部にシールガスケット３０用の取付溝２５を形成する。また、シールガスケット３０を、取付溝２５に嵌入される基体３１と、基体３１から突出する延出片３３と、延出片３３の先端部から伸びてシール形成面８に圧接する第一のシール片３５と、延出片３３から突出する第二のシール片３７とから形成し、第二のシール片３７を延出片３３に直交させてシール形成面８に隣接する隣接面９に接触させる。 （もっと読む）

【課題】電子部品が面方向に動いて位置ずれするのを抑制し、電子部品を適切にピックアップすることができ、各種作業の遅延や生産性の低下を防止できる電子部品保持具を提供する。
【解決手段】支持基板１に積層される可撓性の粘着フィルム４を備え、この粘着フィルム４の表面に電子部品１０を保持する電子部品保持具であり、粘着フィルム４を、支持基板１に接着される接着領域５と、支持基板１に接着されない非接着領域９とに区画し、接着領域５の少なくとも一部６を非接着領域９よりも粘着フィルム４の周縁部寄りに位置させるとともに、この接着領域５の少なくとも一部６をＸＹ方向にそれぞれ伸長形成し、非接着領域９の表面に電子部品１０を着脱自在に粘着保持させる。粘着フィルム４がＸＹ方向にずれることがないので、例え支持基板１に振動等が作用しても、電子部品１０が水平方向に動いて位置ずれするのを防止できる。 （もっと読む）