説明

国際特許分類[H01L29/788]の内容

国際特許分類[H01L29/788]に分類される特許

4,371 - 4,374 / 4,374


【構成】 基板(1)上に酸化膜(2)を介して電極(3)が積層され、さらにその上にPZT膜(4)が積層されてなる半導体装置(5)において、電極(3)が鉛を含有する白金よりなる半導体装置。
【効果】 アニール処理時にPZT膜(4)からPbOの状態で揮発し、特に電極(3)/PZT膜(4)界面で不足していたPbを、鉛を含有する白金電極(3)によって電極(3)/PZT膜(4)界面に供給することができ、深さ方向に対して組成の均一なPZT膜(4)を作製することができる。従って、信頼性の高いPZT膜を形成することが可能となる。 (もっと読む)





4,371 - 4,374 / 4,374