国際特許分類［H01L41/00］の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置，他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 圧電素子一般；電歪素子一般；磁歪素子一般；それらの素子またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置；それらの素子の細部 (18,688)
国際特許分類［H01L41/00］の下位に属する分類
細部 (4)
圧電または電歪素子 (6,814)
磁歪素子 (93)
材料の選択 (6,653)
これらの素子またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置 (5,123)
国際特許分類［H01L41/00］に分類される特許
1 - 1 / 1
圧電定数測定方法
【課題】 従来の圧電定数測定方法は、被測定体表面の微小な変位を２本の光線の干渉効果を用いて測定していたため、装置が複雑で高価になるなどの問題点があった。
【解決手段】 被測定体３にレーザビームを照射し被測定体表面で反射されたレーザビームが光電素子５に入射する際、被測定体の一端を固定し片持ち梁の状態で電圧を印加することにより被測定体を変形させ、この変形に伴う光電素子５上でのレーザビームの位置の変化量と、印加電圧から圧電定数を求める。
（もっと読む）
1 - 1 / 1
[ Back to top ]