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国際特許分類[H01L41/08]の内容

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【課題】少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させることにある。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄及びチタンを含むペロブスカイト型酸化物を形成するための圧電体前駆体溶液は、少なくとも、ビスマス塩、バリウム塩、鉄塩、並びに、チタンの部分アルコキシド(チタンにアルコキシ基及び該アルコキシ基以外の官能基が結合したチタン化合物)を含む。圧電セラミックスの製造方法は、前記圧電体前駆体溶液を塗布する工程と、該塗布した前駆体溶液を結晶化させてペロブスカイト型酸化物を含む圧電セラミックスを形成する工程と、を備える。圧電素子の製造方法は、前記圧電セラミックスに電極を形成する工程を備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、前記圧電素子の製造方法により圧電素子を形成する工程を備える。 (もっと読む)


【課題】複数の振動腕を音響結合させて、1つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子(物理量検出素子)1は、基部2と、基部2からX軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第1連結部31および第2連結部32と、駆動信号電極7を有する駆動振動腕4と、検出信号電極8を有する検出振動腕5と、を備え、駆動振動腕4は、第1連結部31の付け根6aまたは第2連結部32の付け根6bからY軸に沿った方向またはX軸に対して斜め方向へ延出した、第1駆動振動腕41乃至第8駆動振動腕48を有し、検出振動腕5は、基部2からY軸に沿った方向またはX軸に対して斜め方向へ延出した、第1検出振動腕51乃至第8検出振動腕58を有している、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】温度センサを用いず、駆動性能に影響を及ぼすことなく精度良く振動体の温度検出が可能となる温度検出用の電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置を提供する。
【解決手段】振動体に備えられた電気−機械エネルギー変換素子に交番電圧を印加して振動波を発生させて対象物を駆動する際、該振動体の温度を検出する電気−機械エネルギー変換素子を備えた振動体の制御装置であって、
振動体の温度を検出する電気−機械エネルギー変換素子は、異なる相転移温度を有する第一の電気−機械エネルギー変換素子と第二の電気−機械エネルギー変換素子とを備え、
第一の電気−機械エネルギー変換素子は、相転移温度が使用温度範囲内にあり、
第二の電気−機械エネルギー変換素子は、相転移温度が使用温度範囲外にあるように構成される。 (もっと読む)


【課題】少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含む前駆体溶液であって、水溶液とした場合にpHが7以上である前駆体溶液31を下電極20上に塗布し、塗布した前駆体溶液31を結晶化させてペロブスカイト型酸化物を含む圧電セラミックスを形成する。圧電素子の製造方法は、圧電セラミックス30に電極を形成する工程を備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電素子の製造方法により圧電素子を形成する工程を備える。 (もっと読む)


【課題】プラズマを用いたスパッタ法によって、Pb、Zr、Tiを含む誘電体薄膜を成膜する場合でも、圧電特性の高い誘電体薄膜を安定して成膜する。
【解決手段】誘電体薄膜のスパッタによる成膜中に、プラズマの発光分析を行って、上記プラズマの発光スペクトルを取得する。そして、上記発光スペクトルに含まれる、Pb(406nm)のスペクトル強度IPb、Zr(468nm)のスペクトル強度IZr、Ti(453nm)のスペクトル強度ITiをそれぞれ求める。IPb/(IZr+ITi)の値をPとしたとき、0.4<P<0.7を満足するように成膜条件を制御しながら、上記誘電体薄膜を成膜する。 (もっと読む)


【課題】強誘電体層中の金属原子がシリコン層に拡散することを抑制または防止して、小型化および特性の向上を図ることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド1は、シリコン基板2と、シリコン基板2上に形成された酸化シリコン層5Bと、酸化シリコン層5B上に形成された拡散防止膜70と、拡散防止膜70上に設けられた圧電素子6とを含む。シリコン基板2にはインク溜まりとしての加圧室62が形成されており、その天面部の薄いシリコン層5Aと酸化シリコン層5Bとが振動膜5を構成している。圧電素子6は、拡散防止膜70に接する下部電極7と、下部電極7上に設けられた圧電体層8と、圧電体層8上に設けられた上部電極9とを含む。拡散防止膜70は、圧電体層8中の金属原子の拡散を防ぐ。 (もっと読む)


【課題】振動子の故障検出精度を高めた角速度検出回路及び角速度検出装置を提供する。
【解決手段】駆動信号に基づいて励振振動する振動子10に接続され、角速度を検出する角速度検出回路5であって、振動子10から、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく自己振動成分とを含む検出信号が入力され、検出信号から自己振動成分を抽出する自己振動成分抽出手段331と、自己振動成分抽出手段331の出力信号を積分する積分手段336を含む直流変換手段332と、直流変換手段332の出力信号にオフセット値を加えるオフセット加算手段342とを含む。 (もっと読む)


【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される圧電体素子における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性を高めるとともに変位効率(駆動効率)を向上させる圧電体素子を提供する。
【解決手段】基板30上に、第1の電極32が形成され、その上に第1の圧電体膜34が形成される。さらに第1の圧電体膜34の上に拡散ブロック層として機能する金属酸化物膜36が積層され、その上に金属膜38が積層して形成される。金属膜38の上に第2の圧電体膜76が形成され、その上に第2の電極46が積層して形成される。第1の圧電体膜34の分極方向と第2の圧電体膜44の分極方向は互いに異なる。第1の電極32と第2の電極46を接地電位とし、金属膜38を含む中間電極40をドライブ電極とすることができる。各層の圧電体膜を互いに異なる組成で構成することができる。中間層40の厚みと応力値の積は100N/m未満であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】環境負荷が小さく且つ歪み量の大きい圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板110、弾性膜50、密着層56、電極60を形成する工程と、電極60の上方に、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、塗布膜を実温165℃以上185℃以下の温度で加熱する乾燥工程と、乾燥工程の後、実温330℃以上440℃以下の温度で加熱する脱脂工程と、脱脂工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させ圧電膜72を形成する結晶化工程、を具備し、所定厚さの圧電層70を形成する。 (もっと読む)


【課題】 小さな回路規模ながら共振周波数を調整して大きな発電量を得ることができる発電装置等を提供する。
【解決手段】 変形方向を切り換えて変形する変形部材104と、前記変形部材に設けられた第1の圧電素子(108、109a、109b)と、前記変形部材の変形による変位に関する情報である変位情報を生成する変位検出手段140と、前記変形部材に設けられた調整用圧電素子(114、115a、115b)を含み、制御信号に基づいて前記変形部材の共振周波数を調整する共振周波数調整手段119と、前記第1の圧電素子を含む共振回路を構成するインダクターLと、前記共振回路に設けられたスイッチSWと、前記変位情報に基づいて前記制御信号を生成し、前記変位情報に基づいて前記スイッチを所定期間導通状態とする制御手段112と、を備える。 (もっと読む)


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