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国際特許分類[H01L41/08]の内容

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【課題】酸素欠陥が少なく、圧電特性に優れた圧電体膜を形成する。
【解決手段】一般式(NaLi)NbO (0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦0.2、x+y+z=1)で表されるペロブスカイト構造のアルカリニオブ酸化物からなる
圧電体膜であって、前記アルカリニオブ酸化物は、擬立方晶、正方晶、斜方晶、単斜晶、菱面体晶、またはそれらが共存した結晶構造を有しており、前記アルカリニオブ酸化物のK原子周囲の結合状態において、K−O結合とK−Metal結合との合計を100%としたとき、前記K−O結合の割合が46.5%以上、前記K−Metal結合の割合が53.5%以下の圧電体膜である。 (もっと読む)


【課題】両側音叉型の振動ジャイロ素子において、駆動用検出腕の機械的振動漏れによる影響を解消又は軽減して検出精度及び感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子11は支持部12から互いに逆向きに延出する各1対の駆動用振動腕13a,13bと検出用振動腕14a,14bとを備え、駆動用振動腕は駆動モードでXY面内方向に共振周波数fで屈曲振動し、検出モードではY軸周りの回転によるコリオリ力によってZ軸方向に逆相で屈曲振動し、検出用振動腕がZ軸方向に駆動用振動腕とは逆相で屈曲振動する。検出用振動腕はXY面内方向に共振周波数f<fで屈曲振動するように設定され、共振周波数fは駆動モードにおいて各検出用振動腕から出力される検出信号の値S1,S2との差|S1−S2|を小さくするように設定される。 (もっと読む)


【課題】実装基板とのワイヤボンディングによる電気的接続の不具合を解消した圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュール190は、振動部34と接続部32A、32Bとを有する圧電振動基板26と、振動部34の一方の主面を覆う第1基板14と、振動部14の他方の主面を覆う第2基板48と、有する圧電デバイス10と、圧電デバイス10を実装するための実装基板192と、を備え、第1基板14と第2基板48のうち少なくともいずれか一方の基板は、接続部32A、32Bが露出するように配置され、接続部32A、32Bは、一辺を二分するように切り欠くスリット30により分離され、接続部32A、32Bは、振動部32A、32Bに電気的に接続されたパッド電極42A、42Bが設けられ、パッド電極42A、42Bは、実装基板192に配置された接続電極に導電性接着剤702を介して電気的に接続し固定されている。 (もっと読む)


【課題】圧電薄膜の下に形成された電極が薄い圧電薄膜素子を好適に製造し得る方法を提供する。
【解決手段】第1の電極3上の少なくとも一部の上に犠牲層を形成する。犠牲層の上を含め第1の電極3の上に圧電薄膜4を形成する。圧電薄膜4の上に第2の電極5を形成する。圧電薄膜4の犠牲層の上に位置する部分の少なくとも一部に貫通孔4aを形成する。このため、圧電薄膜4を確実に除去するために圧電薄膜4の厚さを超えてエッチングを行った場合であっても、圧電薄膜4の下方に位置する犠牲層がエッチングされるにとどまる。よって、犠牲層の下方に位置する第1の電極3がエッチングされることを防止することができる。その後、犠牲層を除去する。 (もっと読む)


【課題】振動ジャイロ素子の検出感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子1は、支持部2から延出する1対の駆動用振動腕3a,3bとそれとは反対側の1対の検出用振動腕4a,4bとを備え、駆動用振動腕が面内方向に逆向きに屈曲振動する駆動モードと、駆動用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつコリオリ力の作用方向と逆相で屈曲振動し、検出用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつ駆動用振動腕と逆相で屈曲振動する第1の検出モードと、駆動用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつコリオリ力の作用方向と同相で屈曲振動し、検出用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつ駆動用振動腕と同相で屈曲振動する第2の検出モードとを有し、各検出用振動腕が、第1の検出モードと第2の検出モードとにおいて同相で屈曲振動する。 (もっと読む)


【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス1は、内側に固定面101、102を有する固定部材3と、固定部材3の固定面101、102に直接または間接的に固定された少なくとも1つの電子部品7とを有し、固定部材3が、電子部品7を収容するケーシング10の一部を構成する。また、固定面101、102は、互いに直交している。 (もっと読む)


【課題】対象物にアクチュエータが当接した瞬間をロードセルを用いずに、電流の値から検出する方法を提供する。
【解決手段】積層圧電素子単体又は積層圧電素子S105と変位拡大機構の組み合わせよりなる圧電アクチュエータと、その圧電アクチュエータから所定の隙間をあけ、圧電アクチュエータに電圧を印加したときに圧電アクチュエータが当接するように配置された対象物と、圧電アクチュエータに電圧を供給する駆動回路S101と、その駆動回路から圧電アクチュエータに流入する電流の検出手段S106と、を有し、駆動回路が連続的に変化する電圧を供給するとき、流入する電流値の変化により、圧電アクチュエータが対象物に当接したことを検出することにする。 (もっと読む)


【課題】圧電性能が更に優れた圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子10は、圧電体20と、圧電体20の一方の面20bに設けられた第1の導電性エラストマー基材22と、圧電体20の他方の面20aに設けられた第2の導電性エラストマー基材24とを有する。また、圧電体20と第1の導電性エラストマー基材22との間、および圧電体20と第2の導電性エラストマー基材24との間のうち、少なくとも一方の間に電極26を設けることができる。 (もっと読む)


【課題】検出感度、検出精度などの物理量検出特性を向上させることが可能な物理量検出器の製造方法の提供。
【解決手段】ベース部10と、継ぎ手部11と、可動部12と、ベース部10と可動部12とに継ぎ手部11を跨いで架け渡された加速度検出素子13と、を備えた加速度検出器1の製造方法であって、ベース部10と、継ぎ手部11と、可動部12と、を一体で形成する素子支持体(101)形成工程と、加速度検出素子13をベース部10及び可動部12に対して位置決めする位置決め部102a,102bを、加速度検出素子13と一体で形成する加速度検出素子体(102)形成工程と、加速度検出素子13をベース部10と可動部12とに架け渡し、位置決め部102a,102bを用いて位置決めし、ベース部10と可動部12とに固定する加速度検出素子体固定工程と、位置決め部102a,102bを除去する位置決め部除去工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】実装時の応力緩和を達成しつつ、機械的強度を保ち、かつ圧電デバイスの小型化にも適した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】枠部30と枠部30の内周側に配置された圧電振動片22とを有する圧電振動基板20と、圧電振動基板20の一方の主面と対向するように配置され、枠部30に接合された第1基板12と、圧電振動基板20の他方の主面と対向するように配置され、枠部30に接合された第2基板40と、を備え、圧電振動基板20には、枠部30の外周の圧電振動片22を挟んで対向する端部に夫々配置された接続部32,36の一辺を二分するように切り欠くスリットが設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


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